Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей

(594 С 0 ГОСУДАРСТВЕННЫПО ДЕЛАМ ИЗОБ НОМИТЕТ СССРНИЙ И ОТНРЫТИЙ ЕГХ;ИЩИОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ АВТОРСКОМУ ЕЛЬСТБ 113 ери(21) 3796437/24.Б.Хорошкеев088.8)видетельство СССР 01 В 9/02, 1970. детельство СССР С 01 В 9/02, 1983. в. Сер. "Приборо-М., 1969. с112- ТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЦИЕРХНОСТЕИотносится к изм и может быть исполь зовано для контроля цилиндрическихповерхностей. Цель изобретения - раширение типоразмеров контролируемыхповерхностей. Интерферометр строится по схеме с совмещенными ветвями.Для этого эталонный оптический элемент выполнен в виде прозрачногокоаксиального цилиндра и установленпосле цилиндрической линзы так, чтоось его поверхностей совпадает сзадней фокальной линией линзы. Благодаря тому, что светоделительныйкубик установлен в гомоцентрическомходе лучей, его габариты не ограничивают длины контролируемой Поверхности вдоль оси цилиндра. 1 ил.5 1 О Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для контроля вогнутых и выпуклых цилиндрических поверхностей.Цель изобретения - расширениедиапазона типоразмеров контролируемых поверхностей, благодаря установке светоделителя в гомоцентрическом ходе лучей.На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра,Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей содержитлазер 1, систему формирования цилиндрического волнового фронта, интерференционную и наблюдательнуюсистемы. Система формирования включает последовательно расположенныерасширитель 2 лазерного пучка, мик,рообъектив 3, светоделительный кубик 4, апланатический мениск 5, коллиматорный объектив 6 и цилиндрическуюлинзу 7. Интерференционнаясистема представляет собой цилиндрический коаксиальный мениск 8. Трубка 9 служит в качестве наблюдательной системы.Интерферометр работает следующимобразом,Свет от лазера 1, расширенныйрасширителем 2 лазерного пучка, собирается микрообъективом 3 в точку О. С той же точкой оптически сопряжен Фокус объектива 6. Апланатический мениск 5 служит для уменьшения габаритов прибора. После объектива 6 плоский волновой фронт преоб 11 узуется цилиндрической линзой 7.Коаксиальный цилиндрический мениск8, ось цилиндрических поверхностейЪкоторого совпадает с задней фокальной Яинией цилиндрической линзы 7,разделяет падающий на его волновойфронт на рабочий (прошедший черезнего) и опорный (отраженный от вогнутой поверхности мениска и образующий волновой Фронт сравнения), Рабочий волновой фронт собирается в1фокальную линию О, с которой Совмещается фокальная линия контролируемой цилиндрической поверхности 10,отражается от контролируемой поверхности, идет в обратном направлениии интерферицует с опорным, Интерференционную картину, несущую информацию об ошибках, контролируемой цилиндрической поверхности, наблюдают телескопической трубкой 9. 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Благодаря установке светоделительного кубика в гомоцентрическом ходе лучей его габариты не ограничивают длины контролируемой цилиндрической поверхности, Одновременно выполнение интерферометра по схеме с совмещенными ветвями позволяет ограничиться при этом одной цилиндрической линзой, а использование апланатического мениска - сократить габариты интерферометра. формула изобретения Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей, содержащий лазер, установленную по ходу его излучения систему формирования цилиндрического волнового фронта, включающую расположенные последовательно по ходу пучка излучения расширитель лазерного пучка и цилиндрическую линзу, светоделительный кубик, установленный на оси системы формирования, оптический элемент с эталонной цилиндрической поверхностью, оптически связанный со светоделительным кубиком и расположенный так, что ось кривизны его поверхности оптически сопряжена с задней фокальной линией цилиндрической линзы, и наблюдательную систему, оптически связанную со светоделительным кубиком и установленную так, что ее оптическая ось совпадает с образуемым светоделительной гранью кубика зеркальным изображением оси расширителя лазерного пучка, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения диапазона типоразмеров контролируемых поверхностей, интерферометр снабжен последовательно расположенными по ходу пучка, выходящего из расширителя, первым объективом, апланатическим мениском, установленным так, что его передняя апланатическая точка совпадает с задним фокусом первого объектива, вторым объективом, расположенным так, что его передний фокус совпадает с задней апланатической точкой мениска, светоделительный кубик установлен между первым объективом и мениском, а элемент с эталонной поверхностью выполнен в виде прозрачного коаксиального цилиндра и установлен по ходу прямого пучка, выходящего из цилиндрической линзы.ектор Л.Пилипенко 10/28 Тираж 670 Подпи ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб