Масс-спектрометрический течеискатель

СООЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИЙ 11616 А 69) (10 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ТОРСИОМУ СВИД.:ТЕЛСТВУ 75/25-28 .84 ,86. Бюл. ерман и В.65.29(088. ское свиде кл. С 01 М(21) 3725 (22) 13. 0 (46), 15. 0 (2) Л,Г, (53) 620. (56) Авто В 947663,.Чирков )ельство СС3/02, 1980 4) МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕКАТЕЛЬ ЕЧЕГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ(57) Изобретение относится к испытаниям на герметичность с помощью массспектрометрического течеискателя и обеспечивает повышение надежности работы анализатора и манометрического преобразователя путем уменьшения количества продуктов, осаждающихся на электродах. Анализатор течеискателя подсоединен к корпусу охлаждаемой ловушки в нижней части со стороны дна резервуара с криогенной жидкостью, а насосная группа " в его, верхней части со стороны заливной горловины. Дно резервуара для криогенной жидкости наиболее долго сохра-. няет низкую температуру и защищает анализатор от попадания паров рабочей жидкости насосной группы. Манометрический преобразователь размещен в полости корпуса ловушки между его дном и дном резервуара, что способствует дополнительной защите ана-.лизатора вследствие расщепления часта тиц рабочей жидкости в электрическом разряде. ,Для предотвращения попадания конденсата на манометрический преобразователь поверхность. дна резервуара для криогенной жидкости выполнена вогнутой. 2 з.п. ф-лы, 1 ил,ф оИзобретение относится к испытагельной технике, а именно к испытаниям на герметичность.Цель изобретения - повышение надежности работы анализатора, а также 5манометрического преобразователя путем уменьшения количества продуктов,осаждающихся на электродах.На чертеже изображен масс-спектрометрический течеискатель. 10Течеискатель содержит последовательно соединенные устройство 1 питания и регистрации, анализатор 2,охлаждаемую ловушку 3 и насоснуюгруппу 4, Охлаждаемая ловушка 3 15выполнена в виде полого корпуса 5, вкотором размещен резервуар 6 с криогенной жидкостью, Анализатор 2 подсоединен к корпусу 5 в нижней частисо стороны дна 7 резервуара 6, а насосная группа 4 - в верхней части состороны заливной горловины 8 резервуара 6. Манометрический преобразователь 9 расположен в полости корпуса5 между его дном 10 и дном 7 резерву ара 6 с криогенной жидкостью, причемповерхность дна 7 резервуара 6, обращенная к манометрическому преобраэователк, 9, выполнена вогнутой.Течеискатель работает следующим ЗОобразом,Насосная группа 4 создает необ"ходгльй вакуум в полости анализатора 2. Пробный газ, попадающий в вакуумную полость течеискателя поступаЗ 5ет в анализатор 2, где преобразуетсяв электрический сигнал и регистрируется. Кроме пробного газа в анали-затор 2 могут поступать другие газообразные и парообразные вещества, на.40пример пары рабочих жидкостей насосной группы 4. Для их устранечия служит охлаждаемая ловушка 3, стенки резервуара 6 которой эфФективно связывают молекулы этих веществ, 45Наибольший эект работы ловушки3 сказывается при максимальном удалении защищаемых элементов манометрического преобразователя 9 и анализатора 2) от места подсоединения 50насосной группы 4. 1 асположение манометрического преобразователя 9на дне корпуса 5 ловушки 3 в непосредственной близости от резервуара 6и от входа в анализатор 2 создает Бнаиболее благоприятные условия дляего работы и работы течеискателя вцелом. Нижний конец резервуара 6 длякриогенной жидкости наиболее долгосохраняет температуру криогеннойжидкости при ее естественном испарении в атмосферу. С другой стороны,давление паров рабочей жидкостинасосной группы 4 уменьшается с увеличением расстояния по длине вакуумпровода, соединяющего насоснуюгруппу 4 с анализатором 2,Таким образом, при естественномиспарении криогенной жидкостипарырабочей жидкости, десорбирующиеся сверхнихучастков резервуара Ь, атакже проникающие из насосной группы 4, сорбируются на нижнем конце резервуара 6, сохраняющем температуру криогенной жидкости. Приэтом основной газовый поток,создаваемый насосной группой 4, помогает уменьшить давление паров рабочей жидкости в области наиболеехолодного участка резервуара 6 дпякриогенной жидкости,Размещение манометрического преобразователя 9, например магниторазрядного датчика, также вблизи наиболее охлажденной части ловушки 3способствует дополнительному понижению давления паров рабочей жидкостипутем расщепления частиц рабочей жидкости в электрическом разряде и дополнительно защищает вход в анализатор 2.Ири удалении криогенной жидкости из резервуара 6 охлаждаемой ловушки 3 или ее полном естественном испарении возможно образование конден сата парообразных веществ на стенках резервуара 6. Для предотвраще-. ния прямого попадания конденсата на манометрическийпРеобразователь 9 поверхность дна 7 резервуара 6 для криогенной жидкости со стороны манометрического преобразователя 9 выполнена вогнутой, Конденсат, образующийся на поверхности дна 7 резервуара 6, концентрируется на кромке дна 7, не попадая на манометрический преобразователь 9.Изобретение позволяет повысить надежность работы течеискателя, увеличить период между профилактическими мероприятиями по удалению с электродов осаждающихся продуктов.. Циткин 7 Тираж 778ВНИИПИ Государственного комитета ССпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб. Заказ 634/4 дписно роектная, 4 Патент", г,ужгород илиал Формула изобретения Масс-спектрометрический течеискатель, содержащий последовательно соединенные устройство питания и регистрации, анализатор, охлаждаемую ловушку, выполненную в виде полого корпуса с размещенным в нем резервуаром для криогенной жидкости, насосную группу и манометрический пре" образователь, соединенный с устройством питания и регистрации, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности работы течеискателя, анализатор подсоединен к корпусу охлаждаемой ловушки со стороны дна резервуара для криогенной жидкостиа насосная группа - со стороны егозаливной горловины.2. Течеискатель по п, 1, о т л ич а ю щ и й с я тем, что манометрический преобразователь размещенв полости корпуса между его дноми дном резервуара для криогеннойжидкости соосно с последним, 10 3. Течеискатель по и. 2, о т л ич а ю щ и й с я тем, что поверхность дна резервуара охлаждаемойловушки, обращенная к манометричес кому преобразователю, выполнена вогнутой.