Вакуумная система течеискателя

1211Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для контроля герметичности вакуумных систем и изделий, работающих при перепадах давления. 5Целью изобретения является повышение динамической чувствительности испытаний.На фиг.1 изображена вакуумная система течеискателя; на фиг,2 - О масс-спектрометрическая камера в разрезе.Вакуумная система течеискателя содержит цилиндрическую масс-спектрометрическую камеру 1, соединенные 15 с ней диффузионный насос 2 и форвакуумный насос 3, Масс-спектрометрическая камера 1 выполнена с двумя центральными отверстиями 4 на торцевых поверхностях. Вакуумная каме ра для размещения изделия 5 соединена с насосами 2 и 3 и масс-спектрометрической камерой 1 и выполнена в виде штока 6 с незамкнутой полостью 7 в центральной части для ус в 25 тановки изделия 5, фиксируемого и герметизируемого подпружиненным упором 8 и уплотнениями 9. Два шлюзовых патрубка 10 имеют каждый два кольцевых уплотнения 11, установ ленных па концах патрубков 10 на внутренних цилиндрических поверхностях. Патрубки 10 установлены на масс-спектрометрической камере 1 соосно с ней, и каждый патрубок 10 герметично соединен с краем отверстия 4 камеры 1, Шток 6 расположен в полостях масс-спектрометрической камеры 1 и патрубков 1 О соосно с ними, Полости 12, образованные поверхнос - 40 тями штока 6 и патрубков 10 и кольцевыми уплотнениями 11, соединены с форвакуумным насосом 3. Внутри штока 6 выполнен канал 13 для подвода контрольного газа, Внутри масс-спек трометрической камеры 1 установлена улитка 14 коробчатого сечения, связанная с диффузионным насосом 2. Устройство снабжено также контрольной течью 15. 50Устройство работает следующим образом.В верхнем положении штока 6 осуществляют установку испытываемого изделия 5, для чего отжимают под пружиненный упор 8, который благодаря действию пружин герметизирует изделие 5 уплотнениями 9. После это 617 2го поэтапно вводят изделие 5 в массспектрометрическую камеру 1, для чего вначале перестают откачивать полость 2, перемещают шток 6 вниздо положения, когда изделие 5 окажется в полости 12, затем ее начинают вакуумиравать и создают форвакуум, перемещают шток 6 вниз до упора. Камера 1 во время загрузки находилась в режиме высокого вакуума.Включают ионизатор не показан и,подключив контрольную течь 15, производят определение статической чувствительности течеискателя с помощью известных методик. Затем поканалу 13 в иэделие 5 пускают контрольный газ и путем сравнения с сигналом от контрольной течи 15 определяют степень суммарной негерметичности изделия 5,Извлечение изделия 5 из масс-спектрометрической камеры 1 производятв обратном порядке.Использование данного устройствапозволяет повысить динамическую чувствительность течеискателя, обусловленную исключением погрешностей,вносимых в процесс измерения самойпроверяемой системой или иэделием,соединительными магистралями и пр.Так, для течеискателя ПТИчувст -вительность испытаний увеличиваетсяс 1.О лмк/смв до 1.О--б- .О ю лмк/св, что обеспечиваетрегистрирование течений, на 3-4 порядка меньших достоверно регистрируемых течей беэ применения данного устройства,Формула изобретенияВакуумная система течеискателя содержащая цилиндрическую масс-спектрометрическую камеру, соединенные с ней диффузионный и форвакуумный насосы и вакуумную камеру для размецения контролируемого изделия, соединенную с насосами и масс-спектрометрической камерой, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения динамической чувствительности испытаний, масс-спектрометрическая камера выполнена с двумя центральными отверстиями на торцовых поверхностях, вакуумная камера для размещения контролируемого изделия н виде штока с незамкнутой полостью в центральной части, а устройство121 161 7. Уе фиг 1 снабжено двумя шлюзовыми патрубками,каждый из которых имеет два кольцевых уплотнения, установленных наконцах патрубка на внутренней цилиндрической поверхности, патрубки установлены на масс-спектрометрической камере соосно с ней и каждыйпатрубок герметично соединен с краем отверстия камеры, шток располэ жен в полостях масс спектрометриче кой камеры и патрубков соосно с ними, а полости, образованные поверхностями штока и патрубков и кольцевыми уплотнениями, соединены с форвакуумным насосом.