Устройство для измерения угла наклона интерференционных полос

696 СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 19) (11)51)4 С О В 21/ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСФФт ИЗОБРЕТЕН(21) (22) (46) л, 9 35 А.А. К А.И. Хар орденатут им пустиников(56) Применение спекл-интерферометрии для контроля промьппленных изделий. Методические указания. Горьковский филиал ВНИИ по нормализации в машиностроении, Горький, 1980, с, 53-58.Авторское свидетельство СССР В 1067354, кл. 6 01 В 21/22. 1982 (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛА НАКЛОНА ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ПОЛОС, содержащее оптическую систему в вице призмы Дове, установленной с воэможностью вращения, оптоэлектронную систему в виде линейки фотоэлементов, установленной на выходе оптической системы, соединенные последовательно блок усиления и формирования сигнала, суммирующий блок, блок выделения максимального сигнала, блок формирования импульса и блок измереН АВТОРСКОМУ СВ ния длительности импульса, узел формирования синхроимпульсов с модуляционным диском, закрепленным напризме Дове и соединенным с вторымвходом блока формирования импульса,о т л и ч а ю щ е е с я тем, что,с целью повышения точности измеренийи расширения функциональных возможностей за счет измерения расстояниямежду интерференционными полосами,оно снабжено соединенными последовательно вторым блоком усиления и формирования сигнала, подключенным кодному из фотоэлементов оптоэлектронной системы, вторым блоком выделениямаксимального сигнала, вторым блоком формирования импульса, к второму входу которого подключен выходпервого блока выделения максимального сигнала, вторым блоком измерениядлительности импульса, блоком согласования и регистратором, соединенным с его выходам, второй вход блокасогласования соединен с первым блоком измерения длительности импульса, а третий вход предназначен длясоединения с элементом перемещенияносителя записи интерференционнойкартины.11806Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в интерференционных измерениях, в частности при спекл-интерферометрических 5 исследованиях.Целью изобретения является повышение точности измерения и расширение функциональных возможностей устройства за счет измерения рас- О стояпия между интерференционными полосами, т.е. автоматического определения всех параметров спекл-интерФерограмм, полностью характеризующих заФиксированные на спекл-фото графии двойной экспозиции перемещения контролируемого объекта.На чертеже представлена блок-схема устройства.20Устройство состоит из установленных последовательно оптической системы в виде призмы Дове 1 и оптоэлектронной системы в виде линейки 2 фотоэлементов, установленной на выходе призмы Дове, блока 3 усиления и формирования сигнала, соединенного с выходом оптоэлектронной системы, суммирующего блока 4, соединенного с блоком 3 усиления и формирования сигнала, соединенных последователь 30 но первого блока 5 выделения максимального сигнала, первого блока 6 Формирования импульса, первого блока 7 измерения. длительности кпульса и блока 8 согласования, соединенных З 5 последовательно второго блока 9 усиления и формирования сигнала, соединенного с выходом одного из Фотоэлементов оптоэлектронной схемы, второго блока 10 выделения максималь-ф ного сигнала, второго блока 11 Формирования импульса, второй вход которого соединен с блоком 5, и второго блока 12 измерения длительности импульса, выход которого подключен к первому входу блока 8 согласования, например, с режимом работы регистратсра 13. Кроме того устройство содержит узел 14 формирования синхроимпульсов с модуляционным диском 15, 50 сигналы с которого снимаются оптронной парой, состоящей из осветителя 16 и Фотоприемника 17.Расшифрованная спекл-фотография 18 двойной экспозиции закреплена в 55 элементе 9 перемещения носителя записи интерференционной картины(спекл-фотографии) по двум коорди 96натам и проецируется с помощью оптической системы при освещении лазером 20.Устройство работает следующим образом.Когерентное излучение от лазера 20 просвечивает точку на спекл.сотографии 18 двойной экспозиции, зафиксированной на фотопластине, закрепленной в элементе 19 перемещения, а вращающаяся призма Дове 1 формирует интерференционную картину и засвечивает фотоэлементы линейки 2. Так как полосы интерференционной картины имеют одинаковый угол наклона и расположены на равном расстоянии одна от другой, причем через центр вращения всегда проходит светлая полоса, то после усиления в блоке 3 и суммирования в блоке 4 формируется электрический сигнал, максимальное значение которого соот. ветствует моменту: расположения цент. ральной светлой интерференционной полосы вдоль всей линейки 2 фотоэле. ментов. В блоке 5 вьщеляются максимальные значения этого сигнала. С помощью осветителя 16 и фотоприемника 17 в момент светового сигналаот осветителя в модуляционном диске 15 на фотоприемник 17 формируются синхроимпульсы и усиливаются в узле 14, В блоке б вырабатывается импульс, передний фронт которого совпадает с синхроимпульсом, а задний - с импульсом от блока 5, Длительность сформированных импульсов после блока 6, соответствующая углу наклона интерференционных полос, .измеряется в блоке 7. В момент вьщеления блоком 5 максимального значения сигнала с линейки 2 фотоэлементов начинает работу блок 9, подключенный к одному независимому фотоэлементу линейки 2, максимальный сигнал которого вьщеляется блоком 10. В блоке 11 Формирования вырабатывается импульс, передний фронт которого совпадает с импульсом от блока 5, а задний - с импульсом от блока 10, характеризующим следующий максимум освещенности после вьщеления максимума в блоке 5. Длительность сформированных импульсов после блока 11, соответствующая расстоянию между интерФеренционными полосами, измеряется в блоке 12.180696 Составитель Е. ГлазковаРедактор Л. Гратилло Техред М.Лароцай Корректор.О. Луговая Тираж 650 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Заказ 5910/38 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,4 Сигналы- с блока 7, характеризующие угол наклона интерференционных полос, с блока 12, характеризующие расстояние между интерференционными полосами, с элемента 19, характеризующие координаты просвечиваемой точки на спекл-фотографии, после согласования в блоке 8 поступают на 4регистратор 13, где происходят кодирование и набивка на перфоленту всех измеряемых параметров спекл-интерферограммы с целью дальнейшего просчета на ЭВМ зафиксированных на спеклфотографии двойной экспозиции перемещений контролируемого объекта.