Конвейерная электропечь

(51)4 Р 27 В 22 ц ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(54)(57) КОНВЕЙЕРНАЯ ЭЛЕКТРОПЕЧЬ преимущественно для вжигания паст в подложки при изготовлении толстопленочных микросхем, содержащая многозонную секционную камеру нагрева с нагревателями и муфелем, газовый эжектор, холодильник и средства отбора 801177630 А продуктов возгонки, о т л и ч а ю -ш а я с я тем, что, с целью созданияуниверсальной печи путем обеспеченияразличных температурно-газовых режимов, печь снабжена дополнительным холодильником, камера нагрева выполнена в виде секций, имеющих возможностьперемещения вдоль муфеля, дополнительный холодильник - в виде разьемных секций с воэможностью размещенияего между, секциями камеры нагрева,а средство отбора продуктов возгонки " в виде двух коаксиальных труб,при этом внешняя труба заглушена содного торца и имеет перфорацию повсей длине, а внутренняя соединенас эжектором и установленас возможностью продольного перемещения.Изобретение относится к оборудованию для термообработки изделий иможет быть использовано в электронной технике для вжигания проводниковых и диэлектрических паст в подложки при изготовлении толстопленочныхмикросхем.Цель изобретения - создание универсальной печи путем обеспеченияразличных температурно-газовых режимов.На фиг. 1 представлена электропечь,общий вид на фиг.2 - сечение рабочейкамеры с холодильником.Конвейерная электропечь преимущественно для вжигания паст в подложки при изготовлении толстопленочныхмикросхем состоит из многозонной нагревательной камеры 1, представляющей собой легкоразборную конструкцию,включающую муфель 2, выполненный в виде трубы прямоугольного сечения изжаропрочного материала и размещенныйвнутри нагревательной камеры на теплоизоляционных опорах 3,Внутри муфеля 2 расположено средство отбора продуктов возгонки в видедвух коаксиальных труб: внешней 4,заглушенной с одного торца и имеющейперфорацию 5 по всей длине, и внут- З 0ренней 6, соединенной гибким шлангом7 с эжектором 8 и имеющей отверстие9 и возможность продольного перемещения.Обе трубы выполнены из жаропроч- З 5ных материалов. Эжектор 8 расположенвнутри каркаса электропечи со стороны загрузки изделий и состоит изнагнетательного вентилятора 10 и тру.бы 11. Конвейер 12 предназначен для 40перемещения обрабатываемых изделийвдоль муфеля 2 и представляет .собоймелкоячеистую замкнутую сетку, выполненную из жаропрочной проволоки.Конвейер 12 приводится в движение 45приводным устройством, состоящим изэлектродвигателя 13, ведущего барабана 14 и натяжных роликов 15,Камера 1 нагрева выполнена в видесекций нагревателей 16, имеющих возможность перемещения вдоль муфеля 2,Нижние нагреватели расположены натеплоизоляционных плитах 17, а верхние - на теплоизоляционных опорах 18.На концах муфеля 2 внутри него расположены газовые завесы 19, представляющие собой ряд пластин 20, свободно подвешенных на крючках 21. Завесы предназначены для предотвращенияпопадания кислорода воздуха внутрьмуфеля во время технологического цикла, Конец муфеля 2 со стороны выгрузки иэделий имеет водяную рубашку 22,предназначенную для охлаждения обработанных изделий, На концах электропечи расположены столы загрузки 23и. выгрузки 24, предназначенные длязагрузки и выгрузки изделий. Дополнительный холодильник 25 состоит издвух разъемных Г-образных полых секций 26, соединенных между собой(фиг.2), с отверстиями для входа ивыхода воды. Секции 26 прикрепляютсяк муфелю 2 при помощи кронштейнов 27(фиг.2) и могут быть размещены в любом нужном месте нагревательной камеры на муфеле 2 вместо нагревателей16 и теплоизоляционных плит 17.При этом, за счет кронштейнов 27,секции 26 соединяются одна с другойвстык и плотно притягиваются к муфелю 2, обеспечивая с ним надежный тепловой контакт,Конвейерная электропечь преимущественно для вжигания паст в подложки при изготовлении толстопленочныхмикросхем работает следующим образом,По заданной температурно-временнойкривой устанавливаются режимы длякаждой секции нагревателей 16 (в секцию входят один верхний и один нижнийнагреватели). Одновременно включается электродвигатель 13 и конвейер 12начинает непрерывное движение внутРи1 муфеля 2. Выход на заданный режим иотключение секций нагревателей 16происходит автоматически. За несколько минут до выхода печи на заданныйрежим и начала обработки изделий вмуфель 2 и в газовые завесы 19 подается инертный газ газовой системы.После выхода печи на заданный режимна конвейер 12 загружаются обрабатываемые изделия. Одновременно с подачей инертного газа включается эжектор 8 и подвижная труба 6 устанавливается в неподвижной трубе 4 так,чтобы отверстие или отверстия подвижной трубы 6 располагаются противотверстий неподвижной трубы 4, расположенных в зоне максимального выделения газообразных компонентов с целью их полного удаления из объема муфеля 2Обрабатываемые изделия перемещаются конвейерам 12 вдоль муфеля 2 и,30 ЗО оставитель Г.Назарова ехред С.Мигунова Корректор Л.Бес едактор Е.Па 5537/39 Тираж 570 ВНИИПИ Государственного коми по делам изобретений и о 113035, Москва, Ж, Раушсксно По тета ССкрьггии я наб4/5 илиал ППП "Патент", г,Ужгород, ул.Проектна з 1177 б пройдя водяную рубашку 22, выгружаются из нагревательной камеры 1.С целью получения на одной электропечи различных температурно-временных кривых используется дополнительный холодильник, который размещается на муфеле, например, на месте снятых с определенной зоны нагревателей и теплоизоляционных плит. Это позволяет получить не только любую 1 О сложную температурную кривую, т,е. расширить функциональные возможности электропечи, но также повысить качество обрабатываемых изделий и увеличить процент выхода годных за счет 15 поддержания температурных перепадов по зонам. Размещение в муфеле средства отбора продуктов возгонки в виде двух 20 коаксиальных труб, внутренняя из которых может перемещаться вдоль наружной трубы и соединяется гибким шлангом с эжектором, расширяет функциональные возможности электропечи, т.е. 25 позволяет отбирать газообразные компоненты паст, наносимых на изделия из любой точки муфеля, в том числе из зоны максимального выделения газообразных компонентов.При помощи труб полностью удаляются газообразные компоненты паст, наносимых на иэделия, среда в муфеле становится чистой, что приводит к повышению качества изделий и процента выхода годных.Таким образом, в предлагаемой универсальной электропечи, можно производить большое количество технологических процессов; вжигание медных проводников и диэлектриков в керамические и металлические глазурованные подложки, сушку, спекание глазурование и т.д.Универсальность "лектропечи достигается за счет точного воспроизведения любой температурно-временной (заданной) кривой при помощи дополнительных холодильников, размещаемыхв любом месте муфеля, и полного вывода из любой точки муфеля газообразных компонентов паст, наносимых наизделия, за счет средств отбора продуктов возгонки, выполненных в видедвух коаксиальных труб, внешняя изкоторых заглушена с одного торца,имеет перфорацию по всей длине и закреплена на крышке муфеля, а внутренняяимеет возможность перемещаться вдольнаружной трубы, соединена гибкимшлангом с эжектором и имеет по крайней мере одно отверстие. Достигаетсятакже герметичность рабочего пространства муфеля за счет заполненияего инертным газом при создании газовых завес на входе и выходе муфеля.