Способ определения подвижности носителей заряда
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1168019
Авторы: Ждан, Омельченко, Рыльков, Синкевич
Текст
. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕОИХ РЕСПУБЛИК 9 (11) 01 Ь 21/66 СССР ОТНРЬППФГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕ ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ПИСДНИЕ ИЗ 0 В ЕтЕния 21) (22) (46) (71) ники (72) Бюл. У 17адиотехники и электро.В.53)(56) эфф19 пдпоез Еог ггешвровг р зо 1 Ыз. - Л 1969, 127. (54)(57) СП НОСТИ НОСИТ на создании СОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОДВИЖЛЕЙ ЗАРЯДА, основанныйдвух электродов на иссл К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ 3630187/24 "2502.08.8307,05.86.Институт рАН СССРА.Г.Ждав, В.И.Омельченко,ыльков и В.Ф.Синкевич621.382(088.8)Кучис Е.В. Методы исследованията Холла. М.: Советское радио,с9еаг Я.Е. ЭгдЕс - шоЬд 1 дгу гесЬгЬе вгику оЕ е 1 есггдса 1горегсдез дп дпзц 1 агдп 8оЕ Копсгузг. Яо 1. 1,дуемом образце, один из которых является коллекторным, а второй инжектирующим, приложении к электродам импульсов напряжения, регистрации переходного инжекционного тока и определении дрейфовой подвижности носителей заряда расчетным путем, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с Цельюповышения точности, оперативности иобеспечения неразрушающего контроля,второй электрод выполняют в видедвухслойной структуры, состоящей издиэлектрического слоя толщиной от0,1 до 1 мкм, покрытого пленкой металла, к электродам прикладывают постоянное напряжение, имеющее величину и полярность, обеспечивающую создание слоя обогащенного носителямизаряда у границы раздела полупроводник - диэлектрик.11Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для контроля параметров полупроводников, в частности для определения дрейфовой подвижности носителей заряда.Цель изобретения - повышение точности, оперативности и обеспечение неразрушающего контроля.На фиг. 1 приведена схема реалиэа ции способа; на фиг. 2 показаны зонные диаграммы структуры полупроводник - диэлектрик для случая Ч т 01 на фиг. 3 " для случая 7 (О наЯУ фиг. 4 показана зависимость переходного тока 1 от времени 1.На фиг. 1 приняты следующие обозначения; генератор 1 импульсов, выходное сопротивление 2 генератора импульсов, источник 3 постоянного смещения, металлический электрод 4, диэлектрик , полупроводник 6, коллекторный электрод 7, входное сопротивление 8 измерительного прибора.На фиг. 2 и 3 приняты обозначениями напряжение смещения Ч , дно эоны проводимости Ес, дно валентной зоны - Е, уровень Ферми Р.П Р и м е р. Определяли дрейфовую подвижность электронов в структуре Ме - БЮ - 8 на основе высокоомного кремния с удельным сопротивлением2 10" Ом.см. Толщина 810 составляла 0,2 мкм. Толщина кремниевойДрейфовую подвижность носителейзаряда вычисляли по формулеЬ 21= а-- ,7 д пр.а - коэффициент, равный 1 длятоков, не ограниченныхпространственным зарядом,и а0,78 для токов, ограниченных пространственным зарядом;- время прихода переднегофронта пакета носителейзаряда к коллекторномуэлектроду;Ь - толщина полупроводника.При а = 0,78 вычисленное значениедрейфовой подвижности носителей заряда равно 4,1 = 1320 см /В с. 20где 25 30 68019, 2подложки 210 мкм, площадь структуры 3 10см. Напряжение смещения/ варьировалось от 3 до 6 В.На фиг. 4 приведена эксперимен тально полученная зависимость переходного тока от времени при подачеимпульсов напряжения. В начале переходного процесса имеется острый пик,обусловленный емкостным возмущением.1 О Второй пик соответствует времениприхода переднего фронта пакета носителя заряда к коллекторному электроду (26 нс). Дальнейший медленныйспад обусловлен истощением заряда 5 в обогащенном слое кремния.168019 Корректор Л. Пат едактор О.Кузнецов ред О.Гортв 4/1 Тирак 643 НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 13035, Москва, Ж-З 5, Раушская наб
СмотретьЗаявка
3630187, 02.08.1983
ИНСТИТУТ РАДИОТЕХНИКИ И ЭЛЕКТРОНИКИ АН СССР
ЖДАН А. Г, ОМЕЛЬЧЕНКО В. И, РЫЛЬКОВ В. В, СИНКЕВИЧ В. Ф
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: заряда, носителей, подвижности
Опубликовано: 07.05.1986
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1168019-sposob-opredeleniya-podvizhnosti-nositelejj-zaryada.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения подвижности носителей заряда</a>
Способ определения подвижности неосновных носителей заряда
Номер патента: 1056316
Опубликовано: 23.11.1983
Авторы: Болгов, Малютенко, Пипа, Яблоновский
МПК: H01L 21/66
Метки: заряда, неосновных, носителей, подвижности
...вектора напряженности электрического поля и вектора индукции магнитного поля было перпендикулярно поверхности образца, инжекции пакета, ННЗ путем освещения .поверхности образца импульсом сильно поглощаемого свбта, регистрируют сигнал Фотолюминесценции с поверхности образца противоположной освещаемой поверхности, измеряют время задержки максимально-. го сигнала фотолюминесценции относительно максимума интенсивности импульса сильно поглощаемого света и вычисляют подвижность ННЭ по формулегдЕ 0 оси внос " поДвижности оснозныхи неосновных носите-.лей заряда соответст;венно, рВсд - толщина образца внаправлении переносапакета ННЗ, м;- напряженность электрического поля, В/м;И - индукция магнитногополя, Т;те - время задержки сигнала...
Способ определения подвижности неосновных носителей заряда (его варианты)
Номер патента: 1160484
Опубликовано: 07.06.1985
Авторы: Болгов, Ботте, Липтуга, Малютенко, Пипа, Яблоновский
МПК: G01R 31/26, H01L 21/66
Метки: варианты, его, заряда, неосновных, носителей, подвижности
...величины магнитного поля, находят максимальный сигнал отражения, рассчитывают подвижность неосновных носителей заряда по формулеС,Рнеосн,=где р - подвижность неосновныхГнеоснносителей заряда;В - индукция магнитного поляТ(соответствующая максимальному сигналу отражения);с - скорость света,причем величину электрического поля3 выбирают соответствующей линейномуучастку вольт-амперной характеристики образца в отсутствие магнитногополя.На фиг. 1 представлена схема изме 1 Ь рительной, установки, первый вариант;на фиг. 2 -.то же, второй вариант;на фиг. 3 - кривая, отвечающаяпространственному распределению но- ".сителей заряда в образце; на фиг. 4 -кривая зависимости интенсивностирекомбинационного излучения Р/Рот величины магнитной индукции В;на...
Способ определения подвижности неосновных носителей заряда
Номер патента: 1403914
Опубликовано: 27.12.1995
Автор: Варданян
МПК: H01L 21/66
Метки: заряда, неосновных, носителей, подвижности
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОДВИЖНОСТИ НЕОСНОВНЫХ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА, основанный на помещении полупроводникового образца в магнитное поле и инжекции неосновных носителей заряда путем освещения поверхности образца, отличающийся тем, что, с целью упрощения и обеспечения определения подвижности в образцах большей толщины, создают выпрямляющий контакт на поверхности образца, вектор индукции магнитного поля направляют перпендикулярно поверхности образца, измеряют значения фототоков при отсутствии, а также при наличии магнитного поля и вычисляют подвижность неосновных носителей заряда по формулегде B индукция магнитного поля;Iф фототоки через выпрямляющий...
Способ записи цифровой информации на подвижный магнитный носитель
Номер патента: 1001167
Опубликовано: 28.02.1983
МПК: G11B 5/02
Метки: записи, информации, магнитный, носитель, подвижный, цифровой
...3 реализован на элементах И 10.)12; 13 формирователь несущих битна элементе И 13, модулятор 5 собранна элементах 14-18.Выход высокочастотного генератора подсоединен к входу четырехразрядного двоичного счетчика 9, первыйразряд которого образует высокочастот.ные размагничивающие колебания, поступающие на вход формирователя несущей нулевых бит 13, второй, третийи четвертый разряды соединены с входами элемента 10, образующего первый широкий раэмагничивающий импульс,третий и четвертый разряды также соединены с входами элемента 11, формирующего информационную полочку, выходы элементов 10 и 11 соединены свходами элемента 13, четвертый разряд счетчика 9 соединяется со счетным входом триггера на элементе 14 и первым входом элемента 12, на вто-...
Способ цифровой записи и воспроизведения информации на подвижный магнитный носитель
Номер патента: 1015427
Опубликовано: 30.04.1983
МПК: G11B 5/09
Метки: воспроизведения, записи, информации, магнитный, носитель, подвижный, цифровой
...и воспроиэвецения информации на подвижный магнитный носитель,15 На диаграммах О и О приведеныизменениянамагниченности носителяна первой и второй дорожках при записи цифрового кода и сигналов паузмежду кодовыми группами, на диаграмме 8 - сигнал определения кодовойгруппы, г и д - выходные импульсы"1" и "О" соответственно,а на 6изменение разницы количеств импульсов "1" и "Оф в паузах.Способ осуществляется следующимобразомСигнал паузы записывается путемодновременного перемагничивания носителя на обеих дорожках, конец паузы - в виде отсутствия перемагниЗ 0 "чиваний тактов на первой дорожке,а "1" и "О" - двумя перемагничиваниями носителя на обеих дорожках, причем при записи "1" изменение перемагничивания на первой дорожке опережает...
Предыдущий патент: Устройство для выбора величины тормозного усилия канатного подъемника
Следующий патент: Устройство аварийного торможения кабины лифта
Случайный патент: Устройство для управления паровой турбиной