Вертикальный турбомолекулярный насос

СОЮЗ СОВЕТСНИХВВВПВПВВВВРЕСПУБЛИК за 0 04 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЭОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТ 1 9ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯН АВТОРОНОНУ ОВНДВВВЪОТВУ(56) 1. Авторское свипетельство СССРУ 737657, кл, Р 04 2 19/04, 1976,80, 121506 А(54) (57) ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС по авт.св. 9 737657,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью повышения надежности работыпутем стабилизации динамической урав.новешенности ротора, последний снабжен дополнительным подшипником сподвижным и неподвижным кольцами,последнее из которых установлено вовтулке с возможностью осевого перемещения, а каждое шарнирное соединение снабжено демпфирующим вкладышем.1 11215Изобретение относится к вакуумной технике,По основному авт.св, Р 737657 известен вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус и расположенный в нем ротор с внутреннейполостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное и неподвижноекольца, причем на внутренней поверхности корпуса закреплен стакан, состороны, противоположной подшипнику,на неподвижном кольце последнего -втулка, а вдоль оси внутренней полости ротора установлен при помощиупругих опор невращающийся стержень,концы .которого снабжены шаровымиопорами, образующими шарнирные соединения с втулкой неподвижного кольца и со стаканом 1 .Недостаток известного насоса про.является в нарушениях стабильностидинамической уравновешенности ротора при внешних ударных и вибрационных нагрузках, что приводит к Необходимости .прерывания технологического процесса.Отказы и аварийные состояния турбомолекулярных насосов при воздействии внешних динамических нагрузоквызываются нарушением контактови необходимого трения между поверхностями шаровых опор и втулок ипоявлением люфта в подшипнике ротораЦель изобретения - повышение надежности работы путем стабилизациидинамической уравновешенности ротора- З 5Указанная цель достигается тем,что в вертикальном турбомолекулярномнасосе, содержащем корпус и расположенный в нем ротор с внутреннейполостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное и неподвижноекольца, причем на внутренней поверхности корпуса закреплен стакан, состороны, противоположной подшипнику,на неподвижном кольце последнего - 45втулка, а вдоль оси внутренней полости ротора установлен при помощиупругих опор невращающийся стержень,концы которого снабжены шарнирнымиопорами, образующими шарнирные соеди. Онения со втулкой неподвижного кольца и со стаканом, ротор снабжен дополнительным подшипником с подвижными неподвижным кольцами, последнееиз которых установлено на втулкес возможностью осевого перемещения,06 2а каждое шарнирное соединение снабжено демпфирующим вкладышем.На чертеже изображен предлагаемый, насос, продольный разрез.Вертикальный турбомолекулярныйнасос содержит корпус 1 и расположенный в нем ротор 2 с внутреннейполостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное и неподвижноекольца 3 и 4, На внутренней поверхности корпуса 1 закреплен стакан 5,со стороны, противоположной подшипнику, на неподвижном кольце 4 последнего - втулка 6, а вдоль оси внутренней полости ротора 2 установленпри помощи упругих опор 7 невращающийся стержень 8, концы которогоснабжены шаровыми опорами 9 и 10,образующими шарнирные соединенияс втулкой 6 неподвижного кольца 4и со стаканом 5, Ротор 2 снабжен дополнительным подшипником с подвижными неподвижным кольцами 11 и 12,последнее из которых установленово втулке 6 с возможностью осевогоперемещения, а каждое шарнирноесоединение снабжено демпфирующимвкладьппем 13. Для выборки осевыхлюфтов в подшипниках и созданияконтактных усилий в шарнирном соеди.кении втулки 6 с невращающимисястержнем 8 между шарнирным соединением и втулкой 6 устанавливаетсяпружина 14,Насос работает следующим образом.При вращении ротора 2 стержень 8позволяет занять ему устойчивое положение. Введение в подвеску ротора2 дополнительного подшипника, неподвижное капьцо 12 которого опирается на шаровую опору 9, и снабжениешарнирных соединений демпфирующимивкладышами 13 позволяет сохранитьплотность контактов как в подшипникахротора 2, так и в шарнирном соединении невращающегося стержня 8 совтулкой 6,Таким образом, предлагаемая конструкция насоса позволяет обеспечитьпостоянство контактных усилий итрения шарнирных соединений невращающегося стержня с втулкой и стака=ном и усилий аксиального нагружениянеподвижных колец подшипников относительно вращающихся как в отсутствии внешних сил, так и при их действии.1121506 оставитель О.Ти а хред Т.Фанта Тираж б 23 Государственного лам изобретений и а, Ж, Раушская 53/29ВН Зак сно 5, Мос Патент", г,од, ул. Проектна ли актор М.Келемеш омитета СССРоткрытийнаб., д. 4/5 ектор А,Обруч