Способ улавливания высокодисперсных частиц

СОЮЗ СОВЕТСКИХОЯИцМРеекиииРЕСПУБЛИН злу В 01 Р 47/05 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯн двтоесн свищи и:.льствм ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМЙТЕТ СССРПО ДЕЛА ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЦТИЙ(56) 1. Авторское свидетельство СССРУ 210319, кл. В 01 П 47/04, 1963,2. Авторское свидетельство СССРВ 546364, кл. В 01 0 47/05, 1975.(54)(57) 1. СПОСОБ УЛАВЛИВАНИЯВЪСОКОДИСПЕРСНЪИ ЧАСТИЦ, включающийнасыщение газового потока парами водыс последующим укрупнением и осаждени 80.1103 8 А ем частиц в зоне с температурным гра" диентом, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения степени улавливания частиц двуокиси кремния с размерами менее 0,05 мкм, в очищаемый поток перед подачей в зону с температурным градиентом вводят хлористый водород и температурный градиент поддерживают в интервале 3- 8 град/м.2. Способ по п.1, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что температурный градиент поддерживают в интервале 5- 7 град/м и насыщение парами водыведут до 150-200 г/м.888 имение рныйе 5-7 диентад/мо 150 поддерживи насыщени200 г/мэ . интервал ами водь и еду Увеличиваются особа о нии в о гличие этог звестно 4 аемыйсто о вв арит поток хлори чей его в з ого водорода у с температ вале 3-8 гра ит в том, чт эуют равным арами воды в перед пода- рным гради/м. Другое этот ин сград/м5 дут до 150 стано и том в инт отличие со 6 50 тервал испои насыщение200 г/м . 0 уокисионный слой 5 ыи какшая смачиремния. Пр 0 1 1103Изобретение относится к очистке.газов от дисперсных частиц двуокисикремния и может быть использовано вметаллургической промьппленности припроизводстве полупроводниковых мате" 5риалов.Известен способ улавливания пыли изгазового потока, включающий инжекционное контактирование жидкости с газом с последующим образованием пены 10газожидкостннщ потоком 1"11.Способ не применим к улавливаниювысокодисперсных частиц,Наиболее близким к предлагаемомуявляется способ улавливания высоко- цдисперсных аэрозолей путем насыщениязапыленного газового потока парамиводы с последующими конденсационнымукрупнением и осаждением аэрозольныхчастиц в зоне с температурным градиентом 14-20 град/мм ,2 ,Известный способ обеспечивает997-ную степень улавливания частицдвуокиси кремния с размерами0,05 мкм, однако степень улавливанияболее мелких частиц снижается до 207.Цель изобретения - повьдпение степени улавливания частиц двуокиси кремния с размерами менее 0,05 мкм.Поставленная цель достигаетсясогласно способу улавливания высокодисперсных частиц, включающему насыщЕение газового потока парами воды споследующим укрупнением и осаждениемчастиц в зоне .с температурным градиентом, в очищаемый поток перед нода 35чей в зону с температурным градиентомвводят хлористый водород и температурный градиент поддерживают в интервале 3-8 град/м.Оптимально температу гра На поверхности частицремния образуется адсорбхлористого водорода, котоы притягивает влагу, улучаемость частиц двуокиси пропускании газового потока в поле стемпературным градиентом, куда одно"временно подают пары, происходит конденсация влаги на поверхности частици их укрупнениеПри температурном градиенте более8 град/м и менее 3 град/м падает степень улавливания,П р и м е р, При паровом гидролизе в низкотемпературной плазме получили газовый поток, содержащий части"цы двуокиси кремния, 757 которых имели размер0,02 мкм.После создания в атмосфере потока150 г/и и выдержки в атмосфере хлористого водорода загрязненный потокподавали в трубопровод с температурным полем, имеющим градиент6 град/м. На этом участке частицыукрупнялись. Когда их размеры достигали более.5 мкм, газовый поток подавали в антициклон.В табл.1 и 2 приведены результатыопытов с иными значениями температурного градиента и влажности.Как следует из табл.1 и 2 предлагаемый способ позволяет повысить степень улавливания мелкодисперсных частиц до 40-927 против 207 в известномспособе. При оптимальных режимахстепень улавливания составляет 89927,Таблица 1дарственного коизобретений иа, Ж, Раушск дела Моск 1303 3 1103888 .Таблица 2 Составитель Г,Винокуроведактор Е.Папп Техред А,Бабинец Подписномитета СССРткрытийя наб д.4/5 Филиал ППП "Патент", г,ужгород, ул.Проектная,Происходитконденсация влагив объеме,аппаратзахлебывается