Устройство автоматического регулирования плотности тока в конвейерной линии гальванического осаждения металла

В 21/1 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ 2 АРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ТОРСКОМУСВИДЕТЕЛЬСТ(56). 1. Авторское свидетельство СССР 9 565080, кл. С 25 2 21/12, 1975.2. Патент Великобритании1 Ф 1602513, кл . С 7 В, 1981.(54)(57) УСТРОЙСТВО АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ПЛОТНОСТИ ТОКА В КОНВЕЙЕРНОЙ ЛИНИИ ГАЛЬВАНИЧЕСКОГО ОСАЖ" ДЕНИЯ МЕТАЛЛА, содержащее бесконтактный д таль-свид сигналов д ки плотно щее ся ния точно снабжено мом, уста вейерной л детель р рующем ме фотошабло в виде фо тчик плотности тока, детель, блок переработки атчика и блок регулиров-ти тока, о т л и ч а ютем, что, с целью повышети регулирования, оно ранспортирующим механиэовленным параллельно конинии, причем деталь-свисположена на транспортианиэме и выполнена в виде на, а указанный датчик осчитывающего блока.Изобретение относится к гальванотехнике и может быть использованодля управления технологическимипроцессами на автоматизированных иполуавтоматизированных линиях нанесения гальванических покрытий, 5в частности при производстве печатных плат.Известно устройство для регулирования плотности тока в гальванической ванне, содержащее бескоитактный датчик плотности тока, детальсвидетель, блок переработки сигналов датчика, блок регулировки плот- .ности тока, регулируемый источниктока 1 Д,5Однако в этом устройстве детальсвидетель необходимо периодическименять, так как ее поверхность быстро обрастает слоем металла покрытия и становится рыхлой, что вноситпогрешность при поддержании заданной средней плотности тока,Кроме того, работа устройствазначительно усложняется необходимостью поддержания постоянногогарантированного зазора межпу датчиком и деталью-свидетелем, являющегося важным фактором, обеспечивающим точность измерений.Наиболее близким к изобретениюявляется устройство автоматическогорегулирования плотности тока вванне конвейерной линии гальванического осаждения металла, содержащеебесконтактный датчик плотности тока, деталь-свидетель, блок перера,ботки сигналов датчика и блок регулировки плотности тока. В качестве датчика используется подпружиненный стержень (деталь-свидетель, который перемещается по определенному копиру, изготовленномус учетом площади рисунка покрытия,по специально разработанной программе 2 .Недостатками известного Устройства являются ограниченная прецизионность процесса регулированияплотности тока из-эа дискретности.процесса управления и трудоемкостьразработки программ для каждого рисунка слоя платы и изготовления поэтим программам копиров.Цель изобретения - повышение точности регулировании.Поставленная цель достигаетсятем, что устройство автоматическогорегулирования плотности тока вванне конвейерной линии гальванического осаждения металла, содержащеебесконтактный датчик тока, детальсвидетель, блок переработки сигналов датчика и блок регулировки плотности тока, снабжено транспортирующим механизмом, установленным параллельно конвейерной линии, причем.деталь-свидетель установлена на б 5 транспортирующем механизме и выполиена в виде фотсшаблона, а укаэанный датчик - в виде Фотосчитывающегоблока.На фиг. 1 приведена схема предлагаемого устройства, вид сверху;на фиг, 2 - то же, вид сбоку.. Устройство состоит иэ неподвижнозакрепленного вне гальваническойванны фотосчитывающего блока 1,детали-свидетеля 2 в .виде фотсшаблона слоя платы, размещенной натранспортирующем механизме 3, ведущего вала 4, общего для механизма 3и конвейерной линии в ванне, блока 5 переработки сигналов фотосчитывающего устройства и блока регулировки плотности тока б.Механизм 3 сфотсшаблонами проходит через приемное окно Фотосчитывающего блока 1. Скорость движенияконвейерной линии с заготовкамислоев платы в ванне между катодоми анодом равна скорости движениямеханизма 3 с фотошаблоном. Шагразмещения заготовок слоев платы наконвейере равен шагу размещения фотошаблонов на носителе. Размер анода в плате меньше размера катодас целью получения равномерногополя. Ширина анода и приемногоокна в устройстве считывания одинаковы.При наладке устройства выставляют рисунок слоя фотошаблона назаданном расстоянии а относительноприемного окна, а рисунок слоя назаготовке на расстоянии а + Ь относительно анода, где Ь - величина, учитывающая инерционность срабатывания электронной системы регулирования плотности тока.Устройство работает следующим образом,При движении конвейера с заготовками слоя, имеющими маску из Фото"резиста, и механизма 3 с деталямисвидетеллми фотсюаблонами) 2 вкаждый момент времени в ванне междуанодом и катодом, а также в приемномокне фотосчитывающего блока 1 фиксируются идентичные Фрагменты рисункаодного и того же слоя. Фотосчигывающий блок 1 фиксирует изменение площади фрагмента ри.сунка слоя на фотошаблоне 2 в виде соответствующего изменения сигналов тока, которые поступают в блок 5 переработки сигналов, а затем в. блок регулировки плотности тока б в гальванической ванне.Изменение площади фрагмента рисунка на фотошаблоне соответствует изменению плотности тока в ванне, благодаря чему все фрагменты рисунка слоя на заготовке получаются с одинаковой толщиной.1098979 фи Составитель С.ПономареДжуган Техред А. Кикемезей Редакт ска оррект каз 432 б/23 ВНИТираж 633.Государственного комитетао делам изобретений и открыМосква, 3-35, Раушская на ПодСРйю дно П "Патент, ул.Проектная,4 у или Технико-экономические преимущества изобретения заключаются в уменьшении трудоемкости процесса регулирования плотности тока ванны за счет исключения таких работ, как составление программ обработки на каждый 5 ,индивидуальный рисунок печатной схема слоя платы, снижении стоимос ти процесса за счет исключения дорогостоящего вычислительного оборудования и увеличении прецизионностирегулирования плотности тока за счетбесступенчатости процесса управленияпо сравнению с дискретным управлением при использовании известногоустройства.