Термомолекулярный вакуумный насос
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1076632
Автор: Зотов
Текст
Изобретение относится к вакуумнойтехнике, а именно к молекулярнымвакуумным насосам,Известен термомолекулярный вакуумный насос, содержащий снабженныйнагревателем рабочий элемент с осевым каналом для прохада откачиваемого газа Я .Недостатком известного насоса являются невысокие 1 откачные характеристики, в частности степень сжатия наодной ступени насоса не превышает1,32.Цель изобретения - улучшение откачных характеристик.;Указанная цель достигается тем,что в термомолекулярном вакуумномнасосе, содержащем снабженный нагревателем рабочий элемент с осевымканалом для прохода откачиваемогогаза, канал выполнен с переменнымпоперечным сечением, монотонноувеличивающемся в направлении откачки,Кроме того, насос снабжен охлажда.емым элементом, имеющим осевой каналс переменным поперечным сечением,монотонно уменьшакщимся в направленииоткачки,.и установленным последовательно с рабочим элементом.На фиг.1 представлен рабочийэлемент насоса с нагревателем; нафиг.2 - комбинация рабочего элемен-.та с охлаждаежм; на фиг.З " многоступенчатый термомолекулярный вакуумный насос,Термомолекулярный. вакуумный насос содержит снабженный нагревателем 1 рабочий элемент 2 с осевым каналом 3 для прохода откачиваемого газа причем канал выполнен с переменным1 споперечным сечением монотонно увеличивающимся в направлении откачки.Кроме того, насос снабжен охлаждаемым элементом 4, имеющим осевой 5 канап 5 с переменным поперечнымсечецием, монотонно уменьшающимся внаправлении откачки, и установленнымпоследовательно с рабочим элементом2. Охлаждение элемента 4 осуществляется при помощи холодильника б, а вкачестве хладагента используется,например, жидкий азот.Насос работает следующим образом.При условии равенства температур 15 газа и стенок рабочего элемента 2вдоль канала 3 устанавливается двапотока - прямой и обратный, равныепо величине. Если температура стеноквьппе температуры газа, то молекуль 1 20 газа при столкновении со стенкойполучают дополнительный импульс,в.результате чего угол отражения молекул от стенки в среднем становитсяменьше угла падения, Вследствие этого поток газа, входящий через меньшееотверстие в канал 3, открываетсябольше, чем поток газа, покидающийполость рабочего элемента 2,чтоприводит к возникновению эффекта 30 откачки газа. Аналогично для охпаждаемого элемента 4 при температурегаза, превышающей температуру стенок, поток газа в направлении меньшего отверстия в.канале 5 оказываетсяменьше обратного потока, входящего вэтот канал через указанное отверстие.ЭФфект откачки тем выше, чем большеразница температур газа н стенок,Установка последовательно большого О количества чередующихся холодных итеплых ступеней позволяет добитьсязначительной степени сжатия насоса.1016632 ИИПИЗаказ 705/32 аж 624 Подпионое тент Филиал ППП г. Ужгород л, Проектная, 4
СмотретьЗаявка
3484522, 17.08.1982
ЗОТОВ ВИКТОР ВАСИЛЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: F04D 19/04
Метки: вакуумный, насос, термомолекулярный
Опубликовано: 28.02.1984
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1076632-termomolekulyarnyjj-vakuumnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Термомолекулярный вакуумный насос</a>
Предыдущий патент: Насосный агрегат
Следующий патент: Компрессорная установка
Случайный патент: Резервированное запоминающее устройство