Дозатор парогазовой смеси

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН 3 СЮ С 01 у 11 28 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО делАм изОБРетений и ОтнРытИЙ(72) В.Н. Михайлин, В.И. Носов, В,В, Сирота и А.В. Вервыка (71) Центральный научно-исследовательский и проектно-технологический институт механизации и электрификации животноводства Южной эоны СССР (53) 543.058(088.8)(56) 1. Авторское свидетельство СССР Р 688828, кл. а 01 Р 11/28, 1977.2. Варил М.А. и др. Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. М., "Энергия", 1978, с. 15 (прототип).(54)(57) ДОЗАТОР ПАРОГАЗОВОЙ СМЕСИ,содержащий емкость, заполненную жидкостью, в верхней части которойимеетея отверстие для выхода парогазоной смеси, а внутри нее расположенконический распределитель газа сканалами для прохода, газа, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюобеспечения стабильности составапарогазовой смеси при изменении расхода газа, каналы выполнены в видерасположенных по спирали на конической поверхности распределителя отверстий, а угол конуса с(, при основании выбран в пределах 0 ( Ы ( 20Изобретение относится к дозиро ванию материалов и может быть использовано при металлировании из парогазовой фазы, а также.для получения полупроводниковых материалов,Известен дозатор паров жидкости, 5 состоящий из сосуда с отверстием для заливки диффуэанта, трубок ввода газа-носителя и вывода парогазовой смеси Г 13Но в этом дозаторе насыщение пу зырьков резко изменяется при различных расходах.Наиболее близким к изобретению является дозатор парогазовой смеси, содержащий емкость, заполненную жид костью" ,в верхней части которой имеется отверстие для выхода парогазовой смеси, а внутри нее расположен конический распределитель газа с каналами для прохода газа 2 3.20Недостатком известного доэатора является невозможность применения одного и того же доватора в установках, работающих на раэлиЧных скоростях расхода газа-.носителя.в связи с тем, что он не обеспечивает стабиль,ную концентрацию состава парогазовой смеси.Целью изобретения является обеспечение стабильности состава парогазовой смеси при изменении расхода газа.Поставленная цель достигается тем, что в доэаторе парогазовой смеси, содержащем емкость, заполненную жидкостью, в верхней части которой имеется отверстие для выхода паро-, газовой смеси, а внутри нее расположен конический распределитель газа с каналами для прохода газа, причем каналы выполнены в виде расположен них по спирали на конической поверхности распределителя отверстий, а угол конуса о При основании выбран в пределах 0 ( с 6 ( 20 О. На фиг. 1 схематически изображен дозатор; на фиг. 2 - то же, при повышенном расходе газа; на фиг.3 разрез А-А на фиг.2.Дозатор состоит из емкости 1, которая закрывается крышкой 2. Распределитель 3 цилиндрической частью вмонтирован в крышку 2 и представляет с ней единое целое. Отверстия в конусной части распределителя 3 расположены по спирали, а угол конуса о при основаниилежит в пределах 0 (К(20 О. Дозатор работает следующим образом.При установившемся расходе газаносителя уровень диффузанта 4 в распределителе 3 занимает определенноеположение, соответствующее требуемойдля данного расхода газа-носителявеличины активной зоны. В этом случае газ-носитель проходит толькочерез те отверстия, которые лежатвыше установившегося уровня диффузанта,Увеличение (уменьшение ) скоростирасхода газа-носителя приводит ксамопроизвольному понижению (повышению ) уровня диффузанта внутри распределителя 3. При этом величинаактивной эоны увеличивается уменьшается )строго пропорционально изменению скорости расхода газа-носителя, причем саморегулирование величины активной эоны происходит плавно,так как отверстия в распределителерасположены по спирали.. В связи с тем, что конечной величине скорости расхода газа-носителясоответствует вполне определеннаявеличина активной зоны, скоростьгазового потока в объеме диффуэантаподдерживается стабйльной, а составпарогазовой смеси на выходе из доэатора практически не меняется,106 Б 690 г Составитель Т. Филипповаедактор Р. Циника Техред О,вецеКорректор:Л.Пат исное кая,11 5 г. укгород, ул, П л ППП "Пат Ф ктная,9/41 ТираВНИИПИ Государпо делам иЗО 113035, москва,61 фтвенйогретений-35, Ра Подоиитета СССоткрытийкая наб д