Свч плазмотрон

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 19,80 1 А 1/18" Н 05 В 7/18 ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯПРИ ГННТ СССР ОПИСАНИЕК АВТОРСКОМУ СВИ ИЗОБРЕТЕН И ЕЛ 1(56) Авторское свидетельсР 810055, кл. Н 05 В 7/1801 ипачев В.П. и др. Кинмодинамика химических реанизкотемпературной плазмеНаука, 1965, с. 234-235. ескуюерезирокой илиндродящуюно егощ и й его оси, камеру, иперпендику т л и ч а енным пазряднуюолновод Р 8 Г,В,Л е тен со ия электродинамиразряда, волноширокой стенкио средним диаметз условия 1лина волны в с целью улучше й стабилизации о о СССР1979,с плоскости е вод вып цевым анным олнен коль"срвыбр /й 9 , где нокоде, а ожена на волновода ргии. тика иций в- М л(54) (57) СВЧ ПЛАЗМОТРОН, содержащий волновод с вводом энергии, располоне эн вводо электро" шением, содержащии волноводэнергии, расположенным по егцилиндрическую разрядную камходящую через волновод перпелярно его широкой стенке,Так как энергия в такомне подводится к разряду с ороны, то в силу эАФектанения разрядов в сторонполя, разряд смещаетсяной камеры и греет ееприводит в конечном счеее из строя.Целью изобр в о оси .иеру, продикум низ быть о о к ге технике, а имен котемпературной использовано, н технологическихИзвестен СВЧ аэмы и мож пример, в хипроцессах,плазмотрон,котоинамиплазмотро дной стором с целью улучческой стабилизаразмещена на ос ения элект ииразряда радиальной амераинин,ной л распрострау возрастания с оси разряд- стенку, что те, к выходу оторая запи от коакси метра к центру,я линия воэбужда это аксиаль пр ет от прямоуг ляется улу ой стабили з коаксиально-вол етения я инамичес како в азимут том плаз ьная нешение электр ции разряда. Для дост СВЧ плаэмотр с вводом энеои цели ижения указоне, содер ргии, расп и цилиндричес проходящую чер кулярно его ши в плоскости е да, такадиальнуволну ти к тракт ем волков оженным по лин а Ннает на ую разряднуюз волноводокой стенке,я возни ег е тракта ВЧ плазм амеру,ерпендиолновод отрон, чвким рео. широк хничес Изобретение относитс нии по схеме от пе ся, в свою очере ного волновода чер новодный переход. мотроне наблюдаетс равномерность разр включающий в себя не отФильтровывает коаксиальную, кото коаксиальном участ Известен также ляющийся ближайшимразрядная камера расупомянутой оси на сторо противолежащей вводустенки выполнен кольцевым со средним, диаметром Ввыбранным из условия 0 =2/ ф где- длина волны вср бввволноводе, а разрядная камера расположена на упомянутой оси на стороне волновода, противолежащей вводу энергии.На фиг,1 представлено схематичное изображение плазмотрона; на фиг,2 плазмотрон в изометрии.Корпус 1 выполнен в виде кольцевого волновода, лежащего в плоскости широкой стенки. Ввод энергии 2 представляет собой симметричный 15 Н-тройник, т,е. тройник, плечи которого развернуты относительно другодруга на угол 120 в плоскости, совпа. дающей с широкими стенками волновода. Разрядная камера 3 расположена перпендикулярно широкой стенке волновода на стороне, противоположной вводу энергии, на его оси, проходящей также через центр корпуса.Работа плазмотрона начинается с 2 подачи плазмообразующего газа в камеру 3, после чего включается подача СВЧ энергии в плече 2, и одним из известных способов в камере 3 инициируется разряд. 30Конструкция СВЧ плазмотрона обеспечивает подвод энергии к разряду с двух противоположных сторон в одииаковой фазе и с одинаковой амплитудой волны, В этом случае все высшие составляющие, возникающие от встречных волн на разряде, как на неоднородности, имеют противоположные знаки и, следовательно, их суммарный вклад равен нулю. Этим обеспечивает О ся равномерный подвод энергии к разряду с двух противоположных сторон и, следовательно, повышается его электродинамическая стабилизация.бранная конструкция плазмотрона будет также оптимальной и в отношении габаритных размеров и простоты исполнения.Во-первых, выбранный здесь диаметр волноводного кольца не может быть уменьшен, так как с его уменьшением нарушится условие распространения волны по прямоугольному волноводу, которое в нашем случае может быть записано в виде где- длина волны в свободномпространстве;Э и д - наружный и соответственновнутренний диаметры кольца, измеренные по внутренним поверхностям узкихстенок волноводов.Во-вторых, возникающие в Н-тройнике, как на неоднородности, высшие типы волн затухают при распространениин сторону разряда, так как расстояние от этой неоднородности до разрядной камеры, выбранное равным Я , яляется минимально допустимым,В-третьих, увеличение диаметраволноводного кольца нарушает симметрию Н-тройника, что приводит кухудшению его характеристик как 3-хдецибельного делителя мощности.Таким образом, данная конструкцияплазмотрона является оптимальной дляреализации СВЧ разряда, характеризуемого высокой злектродинамической устойчивостью и, следовательно, перспективна н использовании в различных технологических процессах,1061690 рректор М.Максимишинец Письма Техред М.Диды едак 870 Тираж 485 ПодписноеИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ С 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Зака 1 11роизводственно-издательский комбинат Патент , г. од, ул. Гагари