Способ получения электропроводящего прозрачного покрытия

(1 Ю ИО ЯО,ГОСУДАРСТВЕННЬЮ КОМИТЕТ СССР ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ П ЗОБРЕТ ДЕТЕЛЬСТВ(54) (57) /СПОСОБ ПО ПРОВОДЯЩБ 1"О ПРОЗРА на диэлектриках пу напыления смеси тр двуокиси олова с и обработкой, о т л с я тем, что, с пературы термообра проводят в водном ,воое пеРманганата покрытие обрабатыв тем - в 20-30-ном киси водорода.(56) 1.Патент США В 27561кл. 427-250, 1956.,2. Крыжановский Б,П. ичение прозрачных проводящтий трехокйси индия. Пртехника экспериментаф, 1с, 176 (прототип). ЛУЧЕНИЯ ЬЛЕКТРО-ЧНОГО ПОКРЫТИЯ тем вакуумного ехокиси индия и оследукв 1 ей термо- ичающийцелью снижения темботки, послнастенном р калия при 70 ают в водераствореИзобретение относится к оптическдму и электронному приборостроениюн предназначено для получения прозрачных электродов и антистатическихпокрытий на поверхности диэлектриков, в.том числе полимеров с малойтермостойкостью, и может быть использовано в жидкокристаллических,электрооптических и фотоэлектрическихустройствах.Известен способ получения электро 10проводящего прозрачного покрытияпутем напыления на диэлектрик иодистой меди И .Однако покрытие из иодистой медиобладает неустойчивым сопротивлением,.15а также малой химической устойчивостью и механической прочностью ив большинстве случаев требует защитыспециальными пленками.Наиболее близким к предлагаемо- ;рму по технической сущности и достигаемому результату является способ получения электропроводящего прозрачного покрытия на диэлектриках путемвакуумного напыления трехокиси ин- цдия и двуокиси олова с последующейтермообработкой на воздухе при180-350 С и отличаются высокой механической прочностью(2(Однако высокая температура термообработки не позволяет получать этипокрытия на поверхности полимеровс малой тормостойкостью,Целью издбретения является сни-жение температуры термообработки,Поставленная цель достигается Зтем, что согласно способу полученияэлектропроводящего прозрачного покрытия на диэлектриках путем вакуумного напыления смеси трехокисииндия и двуокисй олова с последующей 40 образуется так называемое серебтермообработкой последнюю проводят в водном насыщенном раствореперманганата калия при 70-100 фСпокрытие обрабатывают в воде, азатем - в 20-30-ном растворе пере 43киси водорода.Срособ реализуется следующим образом.На поверхность диЭлектриков,например стекла К,полиметилмета- Якрилата, поликарбоната, полиэтилентерейталатавакуумным испарением наносят смесь трехокиси индия ЯпОс легиоующей добавкой (10 вес,ч)двуокиси олова (ЯпО с интегоальным усветопропусканием ь, е 10-55 (в,зависимости от толщины напиленнойсмеси) . ро (микротрещины) и возможна его деформация. Дпя силикатного стекла, поликарбоната и другиХ более термостойких материалов процесс предпоч . тительнее вести при 100 пС, так как при этом наблюдается более, вЫсокая прозрачность и проводимость.Обработка в растворе перманганата калия при температуре выше 100 С не приводит к получению покрытий с более лучшими характеристиками.Предлагаевим способом были по лучены покрытия на. поверхности. стекла К-.8, органического стекла из полиметилметакрилата, поликарбоната и полиэтилентерефталатной пленки (см.таблицу) . Светопропускание(фЦи удельное поверхностное сопротивлениеЯзависит от толщины (светопропускания) осажденного в вакууме слояВ таблице приведены данные удельного поверх" нбстного. сопротивления(Я и интегрального светопропусканиями) для окцсленных предлагаемым способом покрытий с различным светопропусОсажденную смесь термообрабатывают в водном насыщенном растворе пер- ффманганата калия (КМлЩпри 70"100 Св течение 1 ч, промывают в проточнойводе, а затем обрабатывают в .2030-ном растворе перекиси водородапри 15 - 25 фс в течение 0,5 ч. Про" 65 цесс заканчивают сушкой детали с покрытнем.При уменьшении времени обработкив растворе КМп 04 светопропусканиепадает, а удельное сопротивление возрастает. Время термообработки 1 ч,является оптимальным, так как приувеличении продолжительности термообработки последняя не влияет на оптические и электрические свойствапокрытия. Водная промывка после обработки в растворе КМпО служит дляудаления следов маргайца, которыйкаталитически действует на разложениеперекйси водорода (НО), а обработка врастворе перекиси водорода служит для окисления светопоглощающихследов марганца, который может остать 1 ся в Барах окиси индия после термообработки.Изменение концентрации перекисиводорода в пределах 20 - 30 и темпе"ратуры обработки в пределах 15 -25 оС практически не влияет на конечные характеристики покрытий,Интервал температур в пределах70 - 100 оС для обработки в раствореперманганата калия указаны потому,что ниже 70 С ие удается получитьпокрытия с достаточно высокой проз-,рачностью, окисление при этом идетнедостаточно полно. Повышение температуры обработки от 70 до 100 Свызывает увеличение прозрачности ипроводимости слоев (см. таблицу),однако выбор. температуры обработкиопределяется термостойкостью подлож.ки. Стекло из полиметилметакрилата,например, ие позволяет проводитьпроцесс при температуре выше 70 С,;так как при этом на его поверхности1053908 Светопропусканиеподложки с покрытием после вакуумного нанесения После обработкив насыщенном р-реКМп 04 при 70 Си в р-ре Н ОПодложка После обработкив насыщенном р-реКИп 04 прн 100 Си в р-ре НО 2 Р 5 ОМ л4, зОм 310 7 "101 1,5 10 20 22 38 61 70 73 Оргстекло иэполиметилмет акрилаталс без покрытия 90 9,5 18 35 60 Зр 210 67 .6 10 72 1,5 10 2,5 10410 8 10 Оргстекло изполикарбонатабеэ покрытия 80 62 70 75 61 67 75 Полиэтиленаер ефталатная пленка10 20 35 СоставиТельВ, ПолосухинРедактор Т.Митейко Техред И. Гайду Корректор 1 О, Билак Заказ 8972/8 Тираж 689ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий.113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Подйисное Филиал ППП Патент 1, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 канием после нанесения в вакууме. По механической прочности покрытия относятся ко 2 группе по ОСТ 3-1901- / 73 и устойчивы к условиям 100 относительной влажности при 70 С.ф Предлагаемый способ позволяет снизить температуру окисления электропроводящего покрытия с 180 - 350 до 70 - 100 С, что расюиряет возможностиприменения малотермостойких подложек, Так, в частности, применение .предлагаемого способа позволяет заменить прозрачные электроды из силикатного стекла (бьющегося и тяжелого) в различного рода жидко. кристаллических индикаторах, напри,мер, в электронных часах, на прозрачные электроды из органического стекла и т,п,