Устройство для получения многослойных материалов

(19) 01)3(5 С 23 С 13/ М т д,ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ овьяк ель . ар.- вГ наук твоу одержащее .емых .матеГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ. СССР ГЮ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ 8(71) Киевский ордена Ленинаственный университет им. Тченко.два источника паров осажда. Ф риалов, цилиндрическую подложку ипрокатные ролики, контактирующие сйодложкой, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью повышения прочности материала, оно снабжено источниками дисперсных частиц упрочняющего материала. в виде подпружиненныхштабиков, контактирующих с прокатными роликами, причем прокатные ролики выполнены бочкообразными и укреплены на упругих спицах с возможностью перемещения вдоль оси цилиндрической подложки й экранированыот источника паров заслонкой, причемисточники дисперсных частиц размещены на заслонке со стороны; обращенной к прокатным роликам.1 052563 40 1Изобретение относится к порошковой металлургии и может быть использовано в .технологическом оборудовании для получения цилиндрических изделий иэ многослойных материалов.Известно устройство для получения многослойных материалов в вакууме, содержащее два источника паров наносимых материалов, перекрываемыхпоочередно заслонкой, и подложки,размещенных в технологическом объеме 11.Недостаток известного устройствахрупкость получаемого материалавследствие роста зерен, перпендикулярно поверхности подложки с образованием "столбчатой" структуры,Наиболее близким к предлагаемому является устройство для получениямногослойных материалов, которое содержит два источника паров осаждаемых материалов, цилиндрическую подложку и прокатные ролики, контактирующие с подложкой И .11 едостатком указанного устройстваявляется низкая прочность получаемого материала, обусловленная егохрупкостью в. результате образования."столбчатой" структуры конденсата.Цель изобретения - повышение прочности материала.30Указанная цель достигается тем,что устройство для получения многослойных материалов, содерхашее дваисточника паров осаждаемых материалов,цилиндрическую подложку и прокатные35ролики, контактирующие с подложкои,снабжено источниками дисперсных частиц упрочняющего материала в виде подпружиненных штабиков , контактирующих с прокатными роликами, причем .прокатные ролики выполнены бочкообразными и укреплены на упругих спицах с возможностью перемещения вдольоси цилиндрической подложки.и экранированы от источника паров заслон.45кой, причем источники дисперсных частиц размещены на заслонке со стороны обращенной к прокатным роликам.ЭПредлагаемое выполнение устрой-ства обеспечивает деформацию слоев вовремя осаждения, что предотвращает50образование "столбчатой" структурыконденсата и как следствие, повыша)ет прочность материала.На фиг. 1 схематично представленопредлагаемое устроиство для получеиия многослойныхматериалов, общийвид; на фиг. 2 - то же, фронтальная проекция. 2Устройство состоит из двух источников 1 паров осаждаемых материалов,размещенных на конце вала 2, и цилиндрической подложки 3. На валу 2находится шкив 4, подвижный в осевомнаправлении, на котором закрепленыупругие спицы 5 с прокатными роликами 6 бочкообразнойформы и заслонками 7, На каждой из заслонок 7 на сторонах, обращенных к прокатным роликам 6, размещены источники дисперсных частиц упрочняющего материала, выполненные в виде штабиков 8, контактирующих с роликами 6.Устройство работает следующим образом.Источники 1 поставляют пар осаждаемых материалов на вращающуюся против часовой стрелки подложку 3, причем разделение паровых потоков осуществляется пластиной 9. При Ьращении упругих спиц 5 по часовой стрелке от шкива 4, размещенного на неподвижном валу 2., возникающие центробежные силы прижимают ролики 6 кформируемому многослойному материалу 10 и укатывают конденсирующиесяслои. Во время вращения шкив 4 совершает также, возвратио-поступательное движение вдоль вала 2 для укатывания всех участков конденсирующихся слоев, Заслонки 7 предотвраща"ют конденсацию паров на прокатныеролики 6,Источники дисперсных частиц упрочняющего материала, выполненные в,виде подпружиненных штабиков 8,например из спрессованного порошкакарбида титана, к 6 нтактирующие с прокатными роликами 6 и размещенные наобращенных к роликам поверхностяхзаслонок, служат для ввода дисперсных частиц путем абразивного износаштабиков, которые переносятся в прокатываемый материал в процессе осаждения вращающимися роликами 6. Поскольку скорость вращения шкива 4 и,соответственно, роликов 6 полимероо на порядок превышает скорость вращения подложки 3, то упрочняющие частицы равномерно распределяются по всему материалуПрокатные ролики одновременно деформируют осаждаемые слои и вкатывают в материал упрочняющие частицы, Бочкообразная форма ролика позволяет обкатывать слои насложных по геометрии подложках. Упругие спицы обеспечивают постоянныйСоставитель С МироРедактор С. Лисина Техред И.Гергель етник то 8/20 Тираж 956 Подписно НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 035, Москва, Ж, Рауаская наб., д. 4/5ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектна 3 Л 052563 4прижим прокатных роликов к осаждае- - же упругими свойствами выдерживамым слоям формируемого материала. , ет изгиб по радиусу 5 мм).указанныеОбычно. многослойный материал тол- . характеристики дисперспоупрочненщиной до 30 мкм формируется на слое ного материала свидетельствуют об от.толщиной до 10 мкм с лизкой темпера-сутствии "столбчатой" структуры,турой.плавления (олово и др.), Пос- .разрушаемой во время прокатки мателе расплавления легкоплавкого слоя риала роликами.из подложки извлекается кольцо ис- Предлагаемое устройство позволяходного материала, Прочность на раз- ет получать изделия в фоме оболочекрыв материала, подвергнутого дефор О . вращения из композитов, которые нельмации прокатными роликами, превос- зя сваривать, причем их прочность зпа..ходит прочность недеформнрованного чительно превышает прочность слоиспримерно в 5 раз и составляет около тых материалов, получаемых напыле 70310 кг/мм, Материал обладает так-,нием в вакууме,