Ионизационный манометрический преобразователь

, СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ ,РЕЩУБЛИН(ИОННЫЙ . ИАНОХЕТРИЕЛЬ, содержащийа токоподводахный катод и выпол(54)(57)ЧЕСКИЙ Пкорпус,закрепле ИОН ОБРАЭ котор пров А А ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ ОПИСАНИЕ(прототип). 801012058 ненные в виде петель Ф-образной формы анод и коллектор ионов, о тл и ч а ю щ и й ся тем, что, с целью расширения области применения, в нем корпус выполнен в виде рамки, а катод, анод и коллектор ионов расположены последовательно в плос кости рамки, параллельнодруг и другу внутри нее.2. Преобразователь по.п.1, о т - л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности, он снабжен дополнительнищ .анодом и коллектором П-образной формы, кото-, рые расположены аналогично основннк с противоположной етороны катода.Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к измерениюдавления разреженного газа с помощьюионизационных манометров, и можетнайти применение при измерении давления в малом ограниченном объеме,Известен электронный иониэационный преобразователь давления ПМИ,состоящий из осевого катода, цилиндрической анодной сетки и сплошногоцилиндрического коллектора ионов, 10Габариты электронной системы преобра"зователя определяют коллектор ионовдиаметром 28 мм, катод длиной 36 ьач,ее объем 22 см 111,Большой объем электродной системы 15вызван необходимостью получения относительно большой чувствительности0,15 Па " . Путь эффективного пробега электрона, прежде чем он попадет,на анод, составляет около 2 см. В0результате преобразователь обеспечивает контроль давления от 1 до10 5 Па.Наиболее близким к изобретениюпо технической сущности является ионизационный манометрический преобра-.зователь, содержащий корпус, в котором на токоподводах закреплены проволочный катод и выполненные в видепетель П-образной формы анод и коллектор ионов" 2.30Однако известное устройство харак-.теризуется невозможностью измерениявысокого вакуума в ограниченном пространстве, что связано с относительно большими габаритами преобразователя.1целью изобретения является расширение области применения преобразователя, в частности возможность измере ния вакуума в щелевом зазоре.Эта цель достигается тем, что вионизационном манометрическом преоб-.разователе, содержащем корпус, в ко-тором на токоподводах закреплены про"волочный катод и выполненные в видепетель П-образной формы анод и коллек-,тор ионов, корпус выполнен в виде рамки, а катод, анод и коллектор ионоврасположены последовательно в плос-.кости рамки, параллельно друг другувнутри нееПричем с целью повышения чувствительности преобразователь может бытьснабжен дополнительными анодом и коллектором ионов и -образной Формы, которые расположены аналогично основеным с противоположной стороны катода,На чертеже приведена принципиаль-,ная.схема преобразователя, 60Преобразователь содержит проволочный катод 1, п "образный анод 2 из тон,кой проволоки и такой же формы коллектор ионов Э.Все электроды находят-,ся в одной плоскости и растянуты на 65 выводах, закрепленных на корпусе 4,выполненном в виде рамки.Возможны два варианта построенияпреобразователя. Один из них: вцентре анод, по краям катод и коллектор ионов. В другом, преследующемцель повышения чувствительности, вцентре расположен катод, рядом сним симметрично две петли анода иснаружи две петли коллектора ионов.В последнем варианте, показанном начертеже, петли анодов и коллекторовионов взаимно соединяются электри-чески,Наиболее практично для изготовления электродов применение вольфрама, молибдена и других прогреваемых материалов.Такая конструкция электродов позволяет обеспечить их прогрев, а скатода и получение необходимой эмиссии, при относительно небольшоймощности. Последнее обстоятельствопозволяет также свести к минимумусорбционно-десорбционные явленияна поверхностях, между которыми устанавливается преобразователь.Длина рабочих участков катода,анода и коллектора ионов обычно непревышает 10-40 мм. Малая длина нитей и их небольшой диаметр не приводят к их существенному провисаниюпри нагреве и появлению продольныхусилий на вводы. Все это делает.возможным йсключить применение растягивающих пружин.ПетлеОбразная конструкция анодапозволяет по сравнению с одиночнойпрямой увеличить положительный потенциал пространства, т.е, улучшитьвытягивание электронов с катода иувеличить зону ионизации газа ими,а следовательно, и чувствительность.Этой цели служит применение двухпетель анода вокруг. катода, показанное на чертеже. Петлеобразная конст=рукция коллектора ионов облегчаетвытягивание ионов из зоны ионизации.Расстояние между электродами выби.рается исходя из требования диапазона измеряемых давлений. Чем болеевысокие давления должен контролировать преобразователь, тем эти размерыдолжиы быть меньше, и наоборот.1Корпус 4, на котором закрепленывыводы для монтажа электродов, изготавливается из высокоизоляционногоматериала., например иэ керамики. Вслучае недостаточно высокой изоляции по материалу между выводамианода и коллектора ионов устанавливаются эануленные холостые выводы илина керамцке наносятся узкие электро,проводные пояски, также зануленные.Весь преобразователь, а,толщинаего может быть сведена до 1-2 мм,Заказ 2747/50 Тираж 871 . Подписное,ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, М, Раушская наб д.4/5Ъв Филиал ППП ффПатентф, г.ужгород, ул.Проектная,4 устанавливается в свободной зонеприбора или устройства, давление вкоором необходимо измерять. Прйбор работает в традиционном для электронных иониэационных преобразователей давления режиме. На . анод подается напряжение +(100-300)В, с ктода отбирается электронный ток 10 -10, А, в цепи коллектора измеряется ионный ток, пропорциональ" ный давлению разреженного газа.ГУадуаровка прибора по давлению проводится в рабочих условиях его прйменения.предлагаемый преобразЬватель позволяет обеспечить контроль давления от 10"Ф до Х Па, - в 10 раз бЬлеениз" кие"давления, чем .известные малогабаритные коиструкцин.