Способ одновременного измерения общего давления и парциального давления электроотрицательного газа в вакуумной системе

ОП ИКАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДИВЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистицескихРеспублик(51) и. К .001 2 осударотеенныи комитетСовета Ииниотроа СССРпо делам иэооретенийи открытий 53) УДК 5 1,788.(43) Опубликовано 25.11.775 юллетень4 (45) Дата опубликования описания 25.12,77(54) СПОСОБ ОАВЛЕНИЯ ГАЗАЛЕКТРООТРИЦАТ НОВРЕМЕННОГО ИЗМЕ ЕНИЯ ОБЩЕГОПАРЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯЛЬНОГО ГАЗА В ВАКУУМНОЙ СИСТЕ ристики, что уменьша долговечность работыЦель. изобретения измерения давления в содержания органичес ной системе и увеличе разозателя. т точность из иприоора.- повышение точности условиях повышенного их соединений в вакуумие срока службы преобмерения Однако тако ления газа и па рицательного г мерения на вак ми насосами. Эт ганических сое верхности элек электрических п й способ измеренрциального давл аза не позволяет уумных постах о обусловлено тединений покрыватродов, искажая олей, изменяя ра ия общего да в ения электроог. проводить изс пароструйным, что пары орот рабочие по- распределение бочие характес присоединением заявк(23) Приоритет 1Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано на вакуумных постах технологической откачки и обезгаживания электровакуумных приборов (ЭВП) и исследовательских установках как с электрофизическими, так и с паро-масляными насосами.Известен способ измерения общего давления в вакуумных системах с помощью магниторазрядных вакуумметров 1.Известен способ одновременного измерения общего давления и парциального давления электроотрицательного газа в системах путем измерения разрядных токов, возникающих в трехэлектродной системе магниторазрядного вакуумметра-течеискателя 211. Такой способ позволяет не только измерять общее давление, но и контролировать места негерметичности, применяя в качестве пробных газов электроотрицательные газы, т.е. газы, способные образовать отрицательные ионы. Поставленная цель достигается тем, что попредлагаемому способу одновременного измерения общего давления газа и парциального О давления электроотрицательного газа в вакуумной системе путем измерения разрядных токов, возникающих в скрещенных электрическом и магнитном полях трехэлектродной системы манометрического преобразователя, содержа- Ьщего катод, сетчатый анод и внешний коллектор, к катоду или сетчатому аноду прикладывают переменное напряжение питания, в цепи одного из электродов измеряют ток разряда за полный период напряжения питания, в цепи внешнего коллектора измеряют разрядный ток, приходящий только при отрицательной полярности напряжения питания, и по величине первого разрядного тока судят об общем давлении газа, а по величине второгоо давлении электроотрицательного газа в вакуумной системе.Переменное напряжение питания обеспечи вает зажигание в преобразователе разряда58402 формула изобретения двух типов: магнетронного и инверсно-магнетронного. Поэтому периодически все электро. ды манометрического преобразователя будут подвергаться бомбардировке положительными -ионами, что обеспечит очищение поверхностей электродов. 5На чертеже представлена принципиальная схема устройства, реализующего предложенный способ измерения давления.Устройство содержит преобразователь 1, имеющий катод 2, сетчатый анод 3, коллектор 4 отрицательных ионов, источник питания измерительные приборы 6, 7 и фазовый детектор 8, вектор В показывает направление индукции магнитного поля.На катод 2 подается переменное напряжение питания от источника 5, между катодом 2 и анодом 3 возникает газовый разряд в сокрашенных электрическом и магнитном полях.В газовом разряде образуются положительные ионы, отрицательные ионы и электроны. В зависимости от полярности напряжение питания на катоде 2 на электроды - катод 2, анод 20 3 и коллектор 4 - будут приходить разные заряженные частицы. Б момент прохождения отрицательной полуволны питания положительные ионы приходят на катод 2, электроны и часть отрицательных ионов гпределяемая проницаемостыо анода 3, - на коллектор 4, При этом измеряют ток в цепи анода 3 с помощью прибора 7, а в цепи коллектора 4 измеряют ток отрицательных ионов прибором 6. В момент прохождения положительной полуволны напря. жения питания на катод 2 идут электроны и отрицательные ионы, на анод 3 и коллектор 4 - положительные ионы. С пгчъиью фгзовогс детектора 8 прибор 6 измеряет ток только при прохождении отрицательной полуволны напря жения питания. Операции повторяются при перемене фазы питанля, В случае прихода положи. и тельных ионов на электроды, последние подвер. гаются интенсивной ионной бомбардировке, что способствует эффективной очистке поверхности электродов и десорбции газов,Величина тока положительных ионов характеризует общее давление газа в вакуумной системе, а отрицательных - парциальное давление электроотрицательных газов. Способ одновременного измерения общего давления газа и парциального давления электроотрицательного газа в вакуумной системе путем измерения разрядных токов, возникаюших в скрещенных электрическом и магнитном полях трехэлектродной системы манометрического преобразователя, содержащего катод, сетчатый анод и внешний коллектор, отличаюи 1 ийся тем, что, с целью повышения точности измерения давления в условиях повышенного содержания органичесКих соединений в вакуумной системе и увеличения срока службы преобразователя, к катоду или к сетчатому аноду прикладывают переменное напряжение пита. ния, в цепи одного из электродов измеряют ток разряда за полный период напряжения питания, в цепи внешнего коллектора измеряют разрядный ток, приходящий только при отрицательной полярности напряжения питания, и по величинепервого разрядного тока судят об общем давлении газа, а по величине второго - о давлении электроотрицательного газа в вакуумной системе.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе;1. Авторское свидетельство СССР Мо 474718, кл. С 01 1. 21/34. 197 Ъ.2. Авторское свидетельство 1 ССР М 447591, кл. 6 01 1. 21/34, 1972. 11 НИИПИ ЗакааЦттЗ /12 Тираж 110 1 одписноефилиал ППП Патент, г. Ужгород, ул Проектная, 4