Способ фотографического размножения штриховых изображений

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ. СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик о 1 199698 2(22)Заявлено .21.0780 (21) 2961053/18-10 Рм К з 0 03 С 5/08 с присоединением заявки Йо(23) Приоритет . -Государственный комитет СССР ио делам изобретений и открытийОпубликовано 150283 Бюллетень М б Дата опубликования описания 1502 ЯЗ 533 УДН 771,5+Ы,Я;т)щ;тЮ.С. Андреев и В, В. Тарновецкийф трВсесоюзный государственный научно-исследовательский:=- :-.,;";и проектный институт химико-фотографическойпромышленности(54) СПОСОБ ФОТОГРАФИЧЕСКОГО РАЗМНОЖЕНИЯ ШТРИХОВЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ Изобретение относится к фоторепродукционной технике, в частности кспособам фотограФического размноженияфотошаблонов в технологии радиопромышленности и микроэлектроники.Многократное размножение часто выполняют методом контактного копирования. При этом процесс состоит из следующих операций: проецирование оригинала на галогенсеребряный Фотоматериал, проявление, фиксирование Фотоматериала и копирование полученного таким способом Фотошаблона на регистрирующий светочувствительный материал,например галогенсеребряный, Фоторезистивный и т,п. При копировании обычноиспользуют точечный источник света,а экспонирование выполняют в узкой,спектральной области, что обеспечивает высокую когерентность излученияпри копировании,В процессе контактного копированияочень трудно избежать возникновениязазора между фотошаблоном и регистрирующим светочувствительным материалом.Он вызывается несовершенством копировальных устройств,1 неплоскостностьюфотоматериалов, наличием загрязненийв промежутке между фотошаблоном исветочувствительньи материалом. Зазор между фотошаблоном и светочувствитель.- ным материалом приводит к дифракционным искажениям изображения. Стремление уменьшить зазор и обеспечитьплотный прйжим Фотошаблона к светочувствительному материалу служит причиной быстрого износа копируемого Фотошаблона и требует его многократного возобновления, что экономически не"выгодно.Известен способ контактного копирования, при котором с целью сниженияизноса шаблона его рабочая поверхность подвергается металлизации (1.Данный способ предполагает введение дополнительных операций в процессеполучения рабочего шаблона и поэтому экономически невыгоден.Известен также способ фотографического размножения штриховых изображений путем контактного. копированияоригинала на галогенсеребряный фотоматериал, проявления, фиксированияматериала и последующего контактного 25 копирования полученного фотошаблонана регистрирующий светочувствительный материал с использованием во вре,мя копирования когерентного или час 1 тично когерентного излучения, по ко торому копирование выполняют с эазо996982 Филиал ППП "Патент",г,ужгород,ул.Проектная,4 ром между фотошаблоном и светочувствительным материалом в 25-30 мкм 21,Однако при контактном копированиисо столь малой величиной зазора, обес-печивающей допустимые искажения иэображения, установить и поддеРживатьпостоянство размера зазора довольносложно, причем уже малые колебания вразмере зазора приводят к значительным колебаниям ширины деталей изображения. При этом увеличение зазора при-(0водит к недопустимым искажениям изображения, а необходимость поддержанияплотного контакта при копированииоригинала на фотоматериал приводит кизносу оригинала.Цель изобретения - упрощение технологии получения Фотошаблонов приодновременном уменьшении искаженийизображения и уменьшении износа копи"руемых носителей изображений.Поставленная цель достигается тем,что согласно способу фотографическогоразмножения штрихоных изображений копирование оригинала и копирование фотошаблона производят с одинаковым за,зором от 30 мкм до 2 мм. 25П р и м е р 1. Оригинал - стеклянную пластинку с нанесенным методомвакуумного напыления тонким слоем металла шириной 5 мкм и оптической плотностью В = 0,3 копируют в когерентном 30свете излучения гелий"неонового лазера контактным способом с зазором30 мкм на выоокоразрешающий галогенсеребряный фотографический материал.Экспонированный материал проявляют в 35проявителе следующего состава , г:Иетол 2,2Сульфат натрия б/в 98Гидрохинон 8,8Сода кальцинированная 48Бромистый калий 5Вода До 1 лВремя проявления - 2 мин. Затемпромывают, фиксируют, промывают и высушивают обработанный Фотографический материал,Полученный фотошаблон копируют в свете гелий-неонового лазера контактным способом с зазором величиной 50 30 мкм на высокоразрешающий галогенсеребряный Фотографический материал. Экспонированныйматериал подвергают химико-фотографической обработке - проявлению, промывке, фиксированию, 55 промывке и высушиванию указанным способом, Полученное иэображение микроФотометрируют с применением Регистрирукщего микродеиситометра (например микроденситометра Джойс-Лебл) при , направлении записи перпендикулярно краю полуплоскости.ВНИИПИ Заказ 929/64 Тираж П р и м е р 2. Осуществляют аналогично примеру 1, однако величиназазора на обеих стадиях ранна 125 мкм,П р и м е р 3. Оригинал - стеклянную пластинку с нанесенной методомвакуумного напыления металла границейполуплоскости с резким краем и оптической плотностью напыленного слояО = 0,3 копируют в свете гелий-неонового лазера контактным способом с зазором 2 мм на высокоразрев.ающий галогенсеребряный фотографический материал. Химико-фотограФическую обработкуматериала ведут согласно примеру 1,Полученный фотошаблон копируют нсвете гелий-неонового лазера контактным способом с зазором величиной 2 ммна высокоразрешающий фотографическийматериал. Экспонированный материалобрабатывают аналогично примеру 1. Сполученного иэображения делают микрофотографию с увеличением 250Анализ полученных результатов покаэывает, что,применение предлагаемого способа фотографического размножения штриховых изображений путем контактного копирования оригинала на галогенсеребряный светочувствительныйматериал и последующего контактногокопирования, полученного после химико-фотографической обработки фотов.аблона на светчувствительный материалс применением одинакового зазора при копировании оригинала и копировании Фотошаблона, дает возможность получать рез-кие изображения, причем предлагаемый спо-соб позволяет беэ существенной потери .резкости увеличить размер зазора до 2 мм.Формула иэобретенияСпособ фотографического размноже,ния штриховых изображений путем контактного копирования оригинала на галогенсеребряный фотоматериал, проявления, фиксирования материала и последующего контактного копированияполученного фотошаблона на регистрирующий светочувствительный материалс зазором между ними с использованием во время копирования когерентногоили частично когерентного излучения,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью упрощения технологии полученияфотошаблонон при одновременном уменьшении искажений изображений и уменьшении износа копируемых носителейизображений, копирование оригинала икопирование фотошаблона производят содинаковым зазором до 30 мкм до 2 мм.Источники информации,.принятые во внимание при экспертизе1, Патент США Р 3507593,кл 355-87, опублик. 1970.2. Электронная техника. Сер, 2,Полупроводниковые приборы, вып. 7(71),1973, с, б 4,471 Подписное