Способ защиты поверхности изделий из диэлектрических материалов

ОП ИСАНИЕИЗОВРЕТИНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТИЗЬСТВУ и 990706 Сюз СоветскикСоциапистическикРеспублик(51)М. Кл,С 03 С 1/00 Гесударстееюп 4 камвтат СССР ае евам ваебратаявй н фтарытяй(54) СПОСОБ ЗАЦИТЫ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ ИЗ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВИзобретение относится к способам обработки травлением изделий из неорганических диэлектрических материалов, преимущественно стеклоизделий, и может быть использовано в микроэлектронной технике и приборостроении.Известен способ обработки, предусматривающий защиту участков,. не подлежащих травлению восковой смесью.е На изделие наносят защитный слой, затем изделие погружают в травильную ванну 1 3.Однако этот способ обеспечивает кратковременную защиту поверхности. В тех случаях, когда необходимо производить размерную обработку на глубине более 100 мкм, происходит отслоение восковой защиты по границе травления и кислота проникает на за- ро щищаемую поверхность.Наиболее близким к изобретению является способ защиты изделий из диэлектрических материалов; включающий 2э предварительный нагрев изделия до 80- 150 ОС, укладку на прогретую по" .верхность одного или нескольких июев полиэтиленовой пленки толщиной 0,08-0,15 мкм, разглаживание ее металлическим катком, нагрев до оплав" ления (1 ОООС) с охлаждением до комнатной температуры, травление в кислотной ванне, промывание в горячей воде, снятие пленки и ополаскивание изделия в воде 23Однако применение пленочной защиты для изделия из кварца не обеспечива" ет защитыпо боковым поверхностям В этом случае наблюдается отслоение пленки по истечении 10-15 мин, т.е, при травлении на глубину 40-60 мкм.Цель изобретения - обеспечение воз" можности травления поверхности изделий из кварца на глубину свыше 100 мкм.Цель достигается тем, что согласно способу защиты поверхности изделий из диэлектрических материалов приФормула изобретения Составитель О. СамохинаТехред Ж.Кастелевич КорректорРошко Редактор Г. Безвершенко е жТираж 484 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Заказ 41/31 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная,39907травлении в кислотахпутем нанесенияпленки на участки, не подлежащие травлению, с последующим отделением защитного покрытия, на участки, неподлежащие травлению, наносят липкуюполивинилхлоридную пленку, которуюпокрывают восковой смесью.Кислотостойкая пленка с липкимслоем обеспечивает надежную связьсо стеклом, а восковая смесь выпол фняет роль механического прижима.На защищаемую поверхность наклады"вают маску из липкой поливинилхлоридной пленки (ГОСТ 5. 1984-73). Затем иэделие вместе с маской обвола зкивают восковой смесью (за исключением мест, подлежащих травлению ипроизводят химическое травление в707.-ном растворе плавиковой кислотына глубину 800 мкм.Съем защитного слоя после травления производят путем погружения в воду комнатной температуры, нагрева воды до температуры кипения с последующим охлаждением. 25Анализ качествЪ обработанных изделий показал надежность защиты участков, не подвергающихся травлению,и отсутствие подтравов,для снижения трудоемкости разработана и внедрена специальная оснастка, позволяющая изготавливатьмаски иэ пленки путем вырубки наштампе, а также оснастка, снижающая 06 4трудоемкость при нанесении маски с двух сторон на объект обработки.Использование изобретения позволя ет повысить качество обработки при длительном травлении (2,5 ч) на глубину свыше 500 мкм изделий иэ диэлектрических неорганических материалов, преимущественно из кварцевого стекла, путем исключения подтравов. Способ защиты поверхности изделий из диэлектрических материалов при травлении в кислотах путем нанесения пленки на участки, не подлежащие травлению, с последующим отделением защитного пдкрытия, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью обеспечения возможности травления поверхности изделий из кварца на глубину свыше 100 мкм, на участки, не подлежащие травлению, наносят липкую поливинилхлоридную пленку, которую покрывают восковой смесью.Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе1. Бахтик С. и Поспихал В, Облагораживание стекла. М., Стройиздат,1970, с. 164- 1692. Авторское свидетельство СССРй 557066, кл. С 03 С 15/02, 1973