Способ защиты поверхности изделий из диэлектрических материалов

Номер патента: 1212996

Авторы: Вискова, Гершойг, Капулкин, Павлова, Степанова

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХсОцИАлистическихРЕСПУБЛИК ЯО 1212996 сюф С Оз С 1 УОО ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ госудю ственный кОмитет сссрПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕКИЙ И ОТКРЫТИИ(56) Авторское свидетельство СССРМф 990706, кл. С 03 С 15/00, 1981.(54)(57) СПОСОБ ЗАЩИТЫ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ ИЗ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ по авт.св. У 990706, о т - л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности защиты,1Ф пленку в местах, граничащих с областью травления, поджимают к изделию.2 О Составитель О.Самохина1 Редактор И.Дербак Техред Т,Дубинчак Корректор А,Тяско Заказ 721/34 Тираж 458 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета ГССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, ЖРаушская наб д. 4/5 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 1 1Изобретение относится к способам обработки травлением изделий из неорглнических диэлектрических материалов, преимущественно стекло- изделий, может быть использовано в микроэлектронной технике и приборостроении и является усовершенствованием способа по авт. св. Р 990706Цель изобретения - повышение надежности защиты.По предлагаемому способу усилие прижатия пленки к иэделию обеспечивает надежное прилегание пленки к4 изделию в процессе травления и исключает попадание паров кислоты под пленку и возникновение подтравов. Величину усилия прижатия пленки к изделию определяют, исходя из условий прочности материала изделия экспериментальным путем.На чертеже показан вариант устройства, с помощью которого осуществляют способ.На стягивающий болт 1 устанавливают нижнюю прижимную губку 2 с предварительно наклеенной резиновой прокладкой 3 для равномерной передачи усилия. На нижнюю прижимную губку 2 устанавливают изделие 4 с предварительно наклеенными мас 2129961ками 5 иэ липкой поливинилхлоридной пленки. Затем устанавливаютверхнюю прижимную губку 6 с предварительно наклеенной резиновой прокладкой 3, резиновую шайбу 7, фторопластошайбу 8 и стягивают фторопластовой гайкой 9. После сборкиизделие покрывают восковой смесью10, за исключением мест, подлежащих 1 О травлению, и погружают устройствос изделием в кислоту, по окончаниитравления разбирают устройство иудаляют защитное покрытие с изделия.Требуемое усилие поджатия пленкик изделию создается путем предварительной деформации резиновой шайбы,степень деформации которой зависитот толщины изделия и определяетсязазором между фторопластовой шайбой. Внешний осмотр иэделий послетравления показывает полное отсутствие подтравов,Таким образом, предлагаемый спо соб; обеспечивает повышение надежности защиты изделийпри травлении и изготовлении качественных изделий за счет надежного прилегания пленки к изделию в процессе длительного травления.

Смотреть

Заявка

3759407, 05.07.1984

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3697

КАПУЛКИН НАТАН АБРАМОВИЧ, ГЕРШОЙГ МАЙЯ ЯКОВЛЕВНА, ПАВЛОВА ГАЛИНА ЯКОВЛЕВНА, СТЕПАНОВА ВАРВАРА ИВАНОВНА, ВИСКОВА НАДЕЖДА МИХАЙЛОВНА

МПК / Метки

МПК: C03C 15/00

Метки: диэлектрических, защиты, поверхности

Опубликовано: 23.02.1986

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1212996-sposob-zashhity-poverkhnosti-izdelijj-iz-diehlektricheskikh-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ защиты поверхности изделий из диэлектрических материалов</a>

Похожие патенты