Установка для определения прочности сцепления покрытия с подложкой

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветскнкСоциалнстнческнкРеспублик(22) Заявлено -3007. 80 (21) 2965382/25" 28 1 М. Кп.З С 01 И 19/04 с присоединением заявки М Государственный комитет СССР по делам изобретений н открытий(72) Авторыизобретения Московский институт радиотехники, электронжцю н. автоматикии Всесоюзный научно-исследовательский и пректно-трхнойтгическийинститут электроизоляционных материалов и фольгированныхдиэлектриков(54) УСТАНОВКА ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРОЧНОСТИ СЦЕПЛЕНИЯ ПОКРЫТИЯ С ПОДЛОЖКОЙИзобретение относится к испытательной технике, а именно к установкам для определения прочности сцепления покрытия с подложками методом отслаивания.Известна установка для определения прочности сцепления покрытия с подложкой методом отслаивания, содержащая основание, механизм приложения 10 отслаивающей нагрузки и регистрирую" щее устройство (1) .Недостатком этой установки является невозможность определения электроадгезионной прочности сцепления токопроводящих покрытий с полупроводниковыми подложками при создании сцепления за счет приложения к ним напряжения электрического поля.Целью изобретения является обес" печение определрния электроадгезионной прочности сцепления токопроводящих покрытий с полупроводниковыми подложками.Для достижения этой цели установка снабжена установленным на основании электродом для размещения на нем подложки и источником напряжения, один выход которого соединен с электродом, а другой предназначен для взаимодействия с покрытием.30 На чертеже изображена схема установки.Установка содержит основание 1, механизм приложения отслаивающей на" грузки с роликом 2, регистрирующее устройство 3, электрод 4, установлен; ный на основании 1, и источник 5 электрического напряжения, один вы" ход которого соединен с электродом 4 через коммутатор 6, а другой свобод" ным съемным электродом 7 соединен с покрытием.Установка работает следующим об" разом.На электроде 4 размещают полупроводниковую.подложку 8, на которой устанавливают испытуемое токопроводя" щее покрытие 9 таким образом, чтобы свободный конец покрытия 9 отгибал, ролик 2 и был закреплен в зажиме 10 регистрирующего устройства 3, а другой был соединен с источником 5 электрического напряжения через электрод 7. К электроду 4 и токопроводящему покрытию 9 прикладывают напряжение от источника 5 включением коммутатора б. При этом на границе раздела подложки 8 и покрытия 9 возникает электрическое поле и происходит накопление разноименных зарядов, взаимодействие987479 Составитель В.СвиридовРедактор В.Данко Техред О,Неце Корректор Г. Огар Заказ 10284/30 Тираж 871ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий133035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППППатент , г.ужгород, ул.И 1 ектная, 4 которых и обуславливает закреплениеи удержание покрытия 9 на подложке 8.После закрепления испытуемого токо"проводящего покрытия 9 на полупроводниковойподложке 8 перемещают ролик 2и производят отслаивание покрытия 9от подложки 8. Сигнал о сопротивленииперемещению ролика 2 через зажим 10поступает на регистрирующее устройство 3, которое показывает электроадгезионную прочность токопроводящегопокрытия 9 с полупроводниковой подложкой 8 в зависимости от величиныприложенного напряжения. Установка позволяет определить прочность сцепления токопроводящих покрытий с полупроводниковыми подлож" ками при создании между ними элект" рического поля за счет .изменения напряжения между электродом и токопроводящим покрытием. Формула изобретенияУстановка для определения прочности сцепления покрытия с подложкой ме"тодом отслаивания, содержащая осно"вание, механизм приложения отслаивающей нагрузки и регистрирующее устройство, о т л и ч а ю щ а я с я тем,что, с целью обеспечения определенияэлектроадгеэионной прочности сцепления токопроводящих покрытий с полу"проводйиковымиподложками, она снаб"жена установленным на основании элект"родом для размещения на нем подложкии источником напряжения, один выходкоторого соединен с электродом, а другой предназначен для взаимодействияс покрытием.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРР 634179, кл., С 01 Б 19/04, 1977