Способ изготовления резистивных датчиков влажности

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветснняСоцналистическнкРеспублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 03. 02. 81 (21) 3246981/18-21 И) М. КЯ.З с присоединением заявки Нов Н 01 С 17/00Н 01 С 7/00 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий,8(088.81 Опубликовано 231282. Бюллетень йо 47 Дата опубликования описания 23.12,82-Дф"дд,(72) Авторыизобретения Р. С. Закиров, В. Г, Строков и А. И. Петров Ташкентский ордена Трудового Красного Знамени иггстнтутинженеров железнодорожного транспорта(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕЗИСТИВНЫХ ДАТЧИКОВВЛАЖНОСТИ Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в технологии изготовления влагочувствительных резисторов - датчиков влажности.Известен способ изготовления влагочувствительных резисторов, включающий нанесение на изолирующую подложку резистивного слоя, сушку и чанесение защитного покрытия 1 .Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ изготовления резистивных датчиков влажности, включающий нанесение на изолирующую подложку резистивного слоя на основе водного раствора метилцеллюлозы и прокаленной сажи, сушку и нанесение защитного покрытия 21.Недостатки известных способов изготовления влагочувствительных резисторов заключаются в низкой влагочувствительности и нестабильности электрических характеристик.Цель изобретения - повышение влагочувствительности и стабильности электрических характеристик.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления резистиких датчиков влажности, включающему нанесение на изолирующую подложку резистнвного слоя на основеводного раствора метилцеллюпозы ипрокаленной сажи, сушку и нанесениезащитного покрытия, в качестве защитного покрытия на поверхность оезистивного слоя наносят смесы 36-42 мас. Вацетонформальдегидной смолы,2-4 мас. 35-ного водного раствораедкого натра и 54-62 мас,Ъ дистиллированной воды при 20-25 С, выдерживают при этой температуре в течение6-8 ч и проводят повторную сушку при70-80 фС в течение 10-12 ч.Способ осуществляют следующим образом.На керамические подложки наносятрезистивный слой, состоящий из 6,010,0 мас.Ъ метилцеллюлозы, 2,03,0 мас.% тонкодисперсной прокаленной сажи, остальное - дистиллированная вода. Выдерживают подложки навоздухе при комнатной температурев течение 5-6 ч с последующей сушкой г 5 в сушильном шкафу по ступенчатомурежиму, предусматривающему выдержкупри 60 С в течение 3 ч, подъем температуры до 105 С в течение 1 ч, выРдержку при этой температуре в тече" ЗО ние 5 ч и охлаждение подложек до983767 Формула изобретения Составитель Е. Кукина Редактор Н. Лазаренко Техред З.Палий Корректор И, НатрушкинаЗаказ 9934/61 Тираж 761 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 20-25 фС в течение 12 ч. Затем на поверхность резистивного слоя методом окунания наносят защитное покрытие в виде смеси 36-42 мас.% ацетонФормальдегидной смолы, 2-4 мас.% 35-ного водного раствора едкого 5 натра и 54-62 мас.Ъ дистиллированной воды при температуре 20-254 С и выдерживают подложки при этой температуре в течение б ч. Далее осуществляют повторную сушку подло жек в сушильном шкафу при темпера" туре 70-ВОС в течение 10-12 ч.Изготавливают резистивные датчики влажности, имеющие электрическое сопротивление от (3-4),108 до (1-2)ф 15 10 Ом, температурный коэффициент содпротивления +0,050 1/град. При этом изменение электрического сопротивления после воздействия воды составляет от (3-4) 10 ф до 8 106 Ом в течение 1 ч и от (1-2) 10 до 2 ф 10 Ом9 + 20 в течение суток. Влагочувствительные резисторы характеризуются малым разбросом электрического сопротивления, постоянным температурным коэффициен-25 том сопротивления и незначительным плавным изменением электрического сопротивления при воздействии влаги в течение суток.Изобретение позволяет повысить влагочувствительность резистивных датчиков влажности, стабильность их электрических характеристик и обеспечивает .возможность изготовления влагочувствительных резисторов с быстрой или замедленной чувствительностьюк воздействию проникающей влаги. Способ изготовления резистивныхдатчиков влажности, включающий нанесение на изолирующую подложку резистивного слоя на основе водного раствора метилцеллюлоэы и прокаленнойсажи, сушку и нанесение защитногопокрытия, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повыаения влагочувствительности и стабильности электрических характеристик, в качествезащитного покрытия на поверхностьреэистивного слоя наносят смесь 3642 мас.% ацетонформальдегидной смолы,2-4 мас.Ъ 35-ного водного раствораедкого натра и 54-62 мас,й дистиллированной воды при 20-25 фС, выдерживают при этой температуре в течение6-8 ч и проводят повторную сушкупри 70-80 С в течение 10-12 ч,- Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Патент Японии 9 36157,кл, Н 01 С 17/00, 1978.2. Авторское свидетельство СССРпо заявке Р 2868296/18-21,кл. Н 01 7/00, 1980.