Способ измерения низких давлений газа

96283 Класс 42 1 с, 12333 СССР Е ИЗОБ ИДЕТЕЛЬСТ АВТОРСКОМ И. А, Левин СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ НИЗКИХ ДАВЛЕНИЙ ГАЗАЗаявлено 26 июня 952 г. за М А.76/44637 в Министерство промвшлен 33 ост 3 средств связ 3 Наиболее широкое примеиенис В электровакуумной промышленности нашли термопарные и ионизациониые манометры, помимо компрессионных манометров прерывного действия, не позвогяю 1 цик производить измерение давления конлеисируюци 1 сся паров. Олнако термопарные и ионизационные манометры допускают непрерывное измерение давлений в узком диапазоне, что препятствует ик широкому использованию, в частности, при производстве газоразряднык приборов.В изобретении описывается способ измерения разрежения в широком диапазоне давлений.Способ основан на явлении затягивания плазмы разряда вдоль положительно заряженной нити, натянутой по оси манометрической трубки, которая сооошается с откачиваемым объемом.На чертеже представлена принципиальная конструкция манометрической трубки, позволяющей измерять лавление по описываемомуспособу.По оси стеклянной тр 5 бки 1 из 70)жзтсгс 2 и ВИВОлс 3 ук 1 эспгс 13 ИГксгевяя иги могибдснОВзя 3 ить 4, натягиваемая пружиной о, В качестве истоника 11 ервичны.; элекгроиов служит система, состоящая из прямонакального или подогрев- ного катода 6 и анода возбужления 7; вспомогагельный разряд иа анод ВОЗОУЖЛЕНИ 51 СНИЖЯСТ ТО; НЗ 133 ТЬ И потсиии 53,1 зяжи 1 яни 51 )З 31)ялз ПГ 3 нить. Вс почогательный электрод датчика 8 используется при электрическом способе измерения. В отростке трубки 13 асолится капля ртути 9; пары ртути увеличивают яркость свечения разряда при низкик давлениям газа. Питание трубки лОГчокается ск пе 1 зе.еннь 1 м, тзщ, и ПОСТОЯВ ГЬТОКО 5.Возможня два спосооа измерс- шГИ лавлений с помощью описанной манометрической трубки: визуальНЫИ в-ПО СТЕПЕНИ ЗЗТ 51 ГИВЯНИЯ КОНЦЯ СВС К.1 пя ВЛОЛЬ Ннтц, ряЛОМ с КОТО- рои 1 ззсп 051 ягГстся писаля. с 1 тгрзлуировгппЗя и сл 3 иицяк ла 1 злси; я, - при этом лизпязоп 31 змеряевГык лявлспий лс 5 кит в прслелак от 0,5 лл рт. ст. ло 110 1 лл рт. ст, и элестр 1 В 1 сски 11- - по Вс шчине тока 13 ЦСГИ 1 13 СПОМОГ 3 ТС 1 ЬИОГО ЭЛЕКТРОЛЯ тГк ЯЗВВ 13 смс 1 с 1 эг 1 сктрод 1 датчика, Г 3 ричсч предел 3 Вмсрясчьк ЛЯВ- лсч 33 й и это:5 слч 1 ЯС,Гсжит между 100 лл, рт. ст, и 1.3.1 лл рт. ст,9 б 283 Предмет изобретения 5 Р г Ю 4 3 7 лЮ 77 ЖЮМюМРойгму редактор П. Ю. Маз иеч. 12 Ги. Ооьеч г),125 и. л Гира к 803. Ценз 25 кои згшарп нз, Поли,Гор. Алатырь типография2 Министерства культуры Чувашской АССР Градуировка манометра производится следующим образом: при нормальном накале катода подбирают такие тог(и па нить и ня анод возбуждения, при которых прп самом низком измеряемом давлении конец свечения наиболее близко подходит к концу нити, удаленному от анода возбуждения. У конца свечения на шкале отмечается соответствующее давление. Затем давление повышают, делая соответствующие отметки ня шкале. Аналогично градуируется и шкала микроамперметра, включенног о в цепь вспомогательного элеюг рода датчика. Причем максимальное отклонение стрелки прибора имеет место при минимальном давлешш.Такой способ градуировки позволяет исключить влияние паров ртути, обусловленных наличием и трубке капли ртути, па измерения истинного давления в откачивасмом объеме.. Способ измерения низких давлений газа при помощи электрического манометра- - разрядной трубки, подключаемой к объекту, давление в котором измеряется, о т л ич а ю ш и й с я тем, что, с целью осуществления измерений в широком диапазоне давлений - от 0,5 ллю рт. ст. до 1 0 ллю рт, ст. применяют трубку с дополнительным электродом - нитью, находящейся под полохкительным относительно катода трубки потенциалом, и величину ,г авлепия определяют визуально - по величине расстояния, на которое затягивается плазма разряда (свечение) вдоль этой нити.2. Способ по и, 1, отличаю ц и й с я тем, что для измерения давлений в пределах от 100 лгм рт. ст. до 1 10 "лглг рт. ст. применяют трубку со вспомогательным электродом, расположенным сбоку от нити, и величину давления определяют по величине тока в цепи вспомогательного электрода,