Способ получения вакуума

Номер патента: 958693

Авторы: Сысоев, Филатов

ZIP архив

Текст

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУпе делам изобретений и открытий(72) Авторы изобретения В. И, Филатов и А, Н. Сысоев В(:ЕСОИЗИЬ Я Московский ордена Трудового Красного Знамени инженерно-физический институт(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУУМА Формула изобретения Гееударетвевкмк кемитет(23) Приоритет - ,Изобретение относится к вакуумнойтехнике, а именно к способам получениявакуума.Известен способ получения вакуума,включающий откачку газов и охлаждениеучастка поверхности откачиваемого объема 1,Недостатком известного способа является значительное загрязнение откачиваемогообъема парами органических веществвследствие того, что при сцеплении участ ока поверхности ранее сконденсированныеорганические вещества испаряются в откачиваемый объем, загрязняя,его,Цель изобретения - уменьшение загрязнения откачиваемого объема парамиорганических веществ.Указанная цель достигается тем, чтодополнительно подвергают охпаждаемыйучасток бомбардировке заряженнымичастицами с энергией 200 - 300 эВ и плотностью потока 3 - 8 10/ ФГ А/см , где 2 оМ - масса заряженной частицы .Под действием бомбардировки междумолекулами органических веществ, сконденсированными на охлаждаемом участке поверхности откачиваемого объема, возникают устойчивые связи, подобные связям при полимеризации молекул, Таким образом, молекулы органических веществ оказываются прочно связанными как с поверхностью, так и между собой, При последующем отеплении поверхности испарения органических молекул не происходит, Диапазон изменения энергии заряженных частиц и плотности потока соответствует наибольшей эффективности процесса образования связей. При меньших энергиях и плотности потока образование связей происходит недостаточно интенсивно и часть молекул остается не связанной, при больших - происходит распыление молекул по объему. Способ получения вакуума, включающий откачку газов и охлаждение участка поверхности откачиваемого объема, отличающийся тем, что, с целью уменьшения загрязнения откачиваемого объема парами органических веществ, дополнительно подвергают охлаждаемый участок бомбардировке958693 Составитель В. Кряковкин Редактор К. Волощук Техред А. Бойкас Корректор Ю. Макаренко Заказ 6745/46 Тираж 678 Подписное ВНИИПИ, Государственного комитета СССР по делам изобретений и от крытий 13036, Москва, Ж - 36, Раушская наб д. 4/5заряженными частицами с энергией 200 - 300 эВ и плотностью, потока 3-8 10 о //М А/см, где М - масса заряженной частицы, атомная единица масса. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРМо 164919, кл. Р 04 В 37/02, 1963.

Смотреть

Заявка

3004177, 12.11.1980

МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ИНЖЕНЕРНО ФИЗИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

ФИЛАТОВ ВИКТОР НИКОЛАЕВИЧ, СЫСОЕВ АЛЕКСАНДР НИКОЛАЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04B 37/08

Метки: вакуума

Опубликовано: 15.09.1982

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-958693-sposob-polucheniya-vakuuma.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения вакуума</a>

Похожие патенты