Номер патента: 947919

Автор: Селимов

ZIP архив

Текст

ОП ИКАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик пп 947919(22) Заявлено 04.07,80 (21) 2948117/18-21 11 м кп 3 .Н 01 С 7/00 с присоединением заявки Мосударственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(71) Заявител 54) РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ 2 Для иэгот резисторов н резистивного 9 образцов р максимальным содержанием талла и хромтонкопленочныхпредлагаемогоа приготовленого материалаьным и средниякремния, си-. овленияа основематериалезистивнминималмоноокис куумного напылеподложки иэ каждотовленных образцов нала изготовлены ночных резисторов. площадь напыленМетодния наГо иэ дрезистипо 100 шПри это ом термов италловые вяти подго ного матер т тонкопле толщина татки незвестныея напылерезистоальных ми Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных резисторов.5Известен резистивный материала (1), содержащий, вес.Ъ: моноокись кремния 2-6, ситалл 40-80 и хром - остальное.Недостатком резистивного матерна1 ла является большой отрицательный температурный коэффициент сопротивления (ТКС) - порядка (7-10) 104 1/градус - и низкая стабильность сопротивления - 1-2 за 1000 ч работы при температуре около 75 оС.15Наиболее близким по технической сущности решения является резистивный материал для высокоомных резисторов с малым значением ТКС 23, содержащий, вес.Ъ: также моноокись кремния 15-30,ситалл 15-30 и хром- остальное.Однако он, являясь высокоомным, имеет низкую временную стабильность сопротивления.25Отмеченные недоспозволяют использовать и резистивные материалы дл ния стабильных высокоомных ров при изготовлении интегр кросхем. ЗО Цель изобретения - повышение стабильности сопротивления тонкопленочных.резисторов при сохранении высокого удельного сопротивления и низ- " кого значения ТКС.ПоставЛенная цель достигается тем, что резистивный материал, содержащий моноокись кремния, ситалл и хром, содержит компоненты в следую. щем количественном соотношении, вес.Ъ:Моноокись кремния 30-40.Ситалл 30-40 Хром ОстальноеПримеры конкретного выполнения.947919 ной пленки для всех изготовленных резисторов по всем девяти образцам были выбраны одина- ковыми Составы резистивного материала и полученные электрические характеристики тонкопленочных резисторов приведены в таблице. Компоненты, вес.% Образец Удельное поверхностноесопротивление, кОм/кв. Стабильностьза 1000 чпри +75 С, % Хром Моноокись Ситаллкремния 30 30 40 100 1,0.100 0,2 Как видно из таблицы,изменение 35 формула изобретения процентного содержания моноокисикремния и ситалла влияет на стабиль-Резистивный материал, содержащий ность тонкопленочных резисторов. моноокись кремния, ситалл и хром, При этом ТКС резисторов не ревьви- .о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с ет значения 2-8 10 .1/градус. 40 целью повьааения стабильности сопротивления тонкопленочных резисторовОптимальные пределы изменения мо- при сохранении высокого удельногосопроноокиси кремния и ситалла составляют.тивления и низкого значения темпе- одинаковое значение 30-40 вес,В, При. ратурногокоэффициента сопротивле-, уменьшении граничных значений моно ния, он содержит исходные компоненты окиси кремния и ситалла уменьшается в следующем количественном соотношестабильность, а при увеличении - ухуд- ний, вес.Ф:шается ТКС резисторов; . Моноокись кремния 30-40,Ситалл 30-40Использование предлагаемого резис- Хром Остальное тивного материала обеспечивает воз- Источники информации,можность изготавливать интегральные принятые во внимание при экспертизе схемы, содержащие высокоомные ста, Авторское свидетельство СССР бильные резисторЫ, Технология напы- Ю 442516, Н 01 С 7/04, 26,01.73ления резисторов не меняется по срав, Авторское свкдетельство СССР нению с используемой при напылении 55 Ю 509896, Н 01 С 7/04, 15.05.74 (произвестными материалами. тотип).Составитель Н. КондратовРедактор Е. Кинив Техред Л. Пекарь Корректор В. БутягаЭакаэ 5663/76 Тираж 761 ПодписноеНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035 Москва, ж, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП фПатент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Смотреть

Заявка

2948117, 01.07.1980

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4158

СЕЛИМОВ НАЗИМ АГАХАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01C 7/00

Метки: материал, резистивный

Опубликовано: 30.07.1982

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-947919-rezistivnyjj-material.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Резистивный материал</a>

Похожие патенты