Устройство для стабилизации температуры резистивных испарителей

И С-А,Н И БРЕТЕНИ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик 1)618729 ВПвЛС РСКО Н ое к авт, свил в н(22) Заявлено 01.08.7 й 2 3922 1)М. К с присоединен Государственный камнтет Совета Мнннстрвв СССР вв делам нзворетеннй н вткрытнй(72) Автори иаобретени И. Веспальчик и В. Н, Глебо ни авиационный рдена Трудового Красного институт им. А. Н, Туполе(аза 1) Заявитель 4) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СТАВИЛИЗАЦИИ ТЕМПЕРАТУР РЕЗИСТИВНЫ Х ИСПАРИТЕЛЕЙ ретения является повышеройства,игается тем, что соИзобретение относится к приборостроению, в частности, к устройствам стабилизации температуры нагретых тел в вакууме, например, резистивных испарителей, применяемых в вакуумной технологии для получения пленочных покрытий.Имеются объекты, находящиеся в вакууме, которые нагревают, пропуская через них ток накала, причем температура их должна поддерживаться постоянной с высокой точностью (например, реэистивные испарители). Однако применение контактных датчиков температуры на этих объектах не всегда возможно. В таких случаях стабилизируют температуру косвенным образом, например, с помощью стабилизатора тока накала,Известно устройство для стабилизации температуры резистивных испарителей, имекхцее источник тока накала испарителя 111 .В мкуумной технологии получения пл -ночных покрытий широко применяются резистивные испарители. Температура испарения (особенно для сложных вещес гв) должна стабилизироваться с погрешностью не более 1%, Устройства для стабилизации температуры, стабили зирукщие ток накала, часто не соответ ствуют этим требованиям, особенно вдинамике, так как имеют место различные возмущающие воздействия на температуру непосредственно в испарителе (погрешность установки испарителя, изменение количества испаряемого вещест м и т. и.).Целью изобние точности устЭта цель достдержит устройство источник постоянного напряжения и металлический элект-. род, подключенный к положительному полюсу источника постоянного напряжения, отрицательный полюс которого подключен к резистивному нспарителю, являющемуся вторым электродом.На чертеже изображена функциональная схема предлагаемого устройства тля стабилизации температуры резнстявтого испарителя.618720 Составитель Л. Птенцоваедактор Г. Марховская Техред О. АндрейкоЗаказ 4260/40ЦНИИПИ Госу Гриценко Корректо Тираждарственногопо делам и035, Москва 1033 комитета Совета Мизобретений и открытий Ж, Раушская наб одписноеров СССР/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 Устройство содержит реэистивный испаритель 1, источник 2 тока накала испарителя, металлический электрод 3 и источник 4 постоянного напряженияМеталлический электрод 3 в сочетании с источником 4 постоянного напряжения представляет собой параметрический стабилизатор температуры.Действие параметрического стабилизатора температуры заключается в том,. что при отборе электродом 3 эмиттированных испарителем 1 электронов происходит охлаждение поверхности испарителя 1, также и эмиссия, электронов.Таким образом, проявляется параметрическая отрицательная обратная связь, Поскольку степень охлаждения зависит от отбираемого токаа ток, в свою очередь, зависит кроме температуры от напряжения на электроде 3, уровень стабилиэируемой температуры может быть установлен в некоторых пределах с помощью изменения величины постоянного напряжения на электроде.Рассмотрим работу устройства в установившемся режиме.Предположим, что некоторые процессы на поверхности испарителя 1 привелк к увеличению его температуры. Тогда увеличится ток эмиссии электронов, что приведет к увеличению отбора тепла и, следовательно, к охлаждению испарителя 1, в результате температура испарителя 1 будет стремиться к исходному состоянию.Предлагаемое устройство способно эффективно обрабатывать возмущения как по источнику тока накала испарителя так и возмущения температуры непосредственно внутри испарителя. 10 формула изобретения Устройство для стабилизации температуры резистивных испарителей, имеют шее источник тока накала испарителя,отличающееся тем, что,с целью повышения точности устройства, оно содержит источник постоянного напряжения и металлический электрод, под ключенный к положительному полюсу источника постоянного напряжения, отрицательный полюс которого подключен к резистивному испарителю, являющемуся вторым электродом.25 . Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе:1. Ткачев А, А, и др. Устройстваэлектропитания мощных радиосистем М 1972.