Способ изготовления блочных керамических плат

1 ц 880748 Союз СоветскикСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(28) Приоритет Гееударстеенньй квинтет СССРОпубликовано 15.11.81, Бюллетень42Дата опубликования описания 15,11.81 ио делам нзабретеннй н открьпнй(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БЛОЧНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении блочных керамических плат из алюмооксидной керамики.Известен способ разделения полупроводниковых пластин методом срайбирования алмазными резцами, заключающийся в том, что алмазным резцом наносят на поверхность пластины с приборами риски для концентрации внутренних напряжений в материале и образуют линии 1,Наиболее близким к предлагаемому является способ изготовления блочных керамических плат, включающий установку заготовки на горизонтальное приспособление, ппампование на ней заданного рисунка с одновременным нагреванием с разделением ее на отдельные платы (21.Однако известными способами йевозможно нанести канавки глубиной более 1/2 толщины керамической заготовки. пленки, так как при вдавливании приспособления образуются скоз. ные трещины, которые не обеспечивают качественный разлом керамической заготовки-нленки на отдельные. элементы после спекания керамики,Цель изобретения - повышение качества;Поставленная цель достигается тем, что вспособе изготовления блочных керамическихэ плат, включающем установку заготовки на го.ризонтальное приспособление, штампованиена ней заданного рисунка с одновременнымнагреванием и разделением ее на отдельные платы, заготовку устанавливают в приспособле.о1 В ние на дополнительную заготовку, ипампованием прорезают канавки на всю глубину верх.ней заготовки, затем заготовки склеивают,после чего осуществляют разделение их на. отдельные платы,Сущность способа заключается в следующем,На штыри приспособления с заданным рисунком и высотой выступов заданных разме.ров укладывают сначала одну керамическуюзаготовку. пленку, потом вторую и закрываютап верхней плитой приспособления. Собранноеприспособление устанавливают на нижнюю пли.ту гидравлического пресса Под давлением 2030 кг/см и при температуре верхней и ниж880748 го Составитель А. ОсиповаТехред О.Дюлай Корректор А, Ференц Редактор Н, Воловик Тираж 632 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Заказ 9824/24 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 3ней плит 50 - 55 С и выдержке 1 мин рисунокприспособления прорезает канавки на всюглубину большей по толщине заготовки пленки,затем происходит процесс склеивания призамоноличивании заготовок. пленок друг с дру.гом за один цикл подачи давления. Из замоноличенной керамической заготовки-пленкис нанесенными канавками вырубают блочныеплаты заданной конфигурации по габаритам.Блочную плату обжигают в водородных электрических печах при температуре 1530+10 Сс интервалом обжига 30 мин. После обжига1керамическая блочная плата представляет собойспекшийся монолит с нанесенными канавками,Керамические блочные платы после обжигаразделяют на элементы по нанесенным канавкам путем механической ломки.П р и м е р, На штыри приспособленияс заданным рисунком и высотой выступов0,6 мм укладывают керамическую заготовкупленку 75 х 75 мм, толщиной 0,6 мм, затемна эту заготовку. пленку укладывают вторуюзаготовку. пленку 75 х 75 мм, толщиной 0,5 мми закрывают верхней плитой приспособления.Собранное приспособление ставят на нижнююплиту гидравлического 63-тонного прессамарки П. Под давлением 22 кг/см притемпературе верхней н швалей плит 55 С ипри выдержке 1 мин рисунок приспособленияпрорезает канавки на всю глубину верхнейзаготовки-пленки, т.е. на 0,6 мм, затем проис.ходит процесс склеивания при замоноличивании верхней заготовки-пленки с нижней заодин цикл подачи давления, Канавки снижаютместную прочность материала за счет образова.ния концентраций напряжений по канавке.Склеенную замоноличиванием заготовку пленку с нанесенными канавками укладывают паштыри матрицы вырубного штампа,Пуансоны для оформления габаритов блочной платы имеют острые кромки, которые 4ари надавливании штампа на заготовку-пленку режут ее, Выталкиватели отделяют блочную плату от отходов пленки. Блочные платы укладывают на корундовую лодочку и обжигают в водородных печах типа ОКБ - 8097 при 1500 С, Интервал толкания 30 мин. Платы затаривают на обжиг в один ряд на плоскость через подставки 42 х 35 х 4 мм, После обжига блочная плата хорошо отделяется от подставки.После обжига плату подвергают разделению на элементы путем механической ломки вдоль канавок с обеспечением габаритных размеров,Использование данного способа позволяет исключить образование сквозных трещин на керамических заготовках-пленках при нанесении канавок глубиной более 1/2 суммарной толщины заготовок. пленки и создать блочные платы с последующим разделением на злемен. Формула изобретения Способ изготовления блочных керамическихплат, включающий установку заготовки на го.25ризонтальное приспособление, штампованияна ней заданного рисунка с одновременнымнагреванием и разделением ее на отдельныеплаты, отличающийся тем,что,, с целью повышения качества, заготовку уста 30навливают в приспособление на дополнительную заготовку; штампованием прорезают канав.ки на всю глубину верхней заготовки, затемзаготовки склеивают, после чего осуществляютразделение их на отдельные платы.35 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Электронная техника, 1971, Сер. 10,вып. 1/41, с. 12.2, Патент Японии У 52147605, кл. 20 (3) В 36,40 опублик. 1977,