Камера образцов рентгеновского микроанализатора

) КАМЕРА ОБРАЗЦОВ РЕНТГЕНОВСКОГО РОАНАЛИЗАТОРА в достаточн камере анализа ввысока,направиток мал является палиИзобретение относится к рентгено-спектральным и электронно зондовым микроаналиэаторам локального, качественного и количественного анализа состава образцов, а именно к входящим в состав этих приборов камерам об зцов, обеспечивающим необходимые перемещ ния исследуемого объекта и эталонов.Известен микроанализатор, снабженный камерой образцов, в вакуумном корпусе кото. рой,размещен столик для образцов и этало. нов и прецизионные механизмы, обеспечивая щие этому столику перемещения по трем ко. ординатам (х и М в плоскости образца, с, - вдоль оси электронно. оптической системы) 11.Известна также камера образцов для электронно зондового микроанализатора, содержь щая столик для образцов и эталонов с механюмами, обеспечивающие этим столиком дифференцированные перемещения, благодаря тому, что столик снабжен двумя независимыми каретками, одна - для образца, другая - для эталона, Каретка для образца перемещается нрецнзионным винтовым механизмом, карет. ка для эталонов - толкателем, Оперативность но вследствие использования упругихиющих, диапазон перемещения каре, н в результате нельзя исследовать образцы болыпой площади Щ.Наиболее близкой к предлагаемой камера образцов ренттеновского микроа затора, содержащая вакууьепай корпус, сто. лик с держателем образцов, установленный в нем с воэможностью поступательного нерв мещения по трем координатам, и приводы, передающие столику движение ю вне вакуум ного объема 3.Недостатком этих камер является сложность а вследствие этого потеря точности анализа крупногабаритных объектов.Цель изобретения - повышение точности микроаналюа крпуногабаритных образцов.Поставленная цель достигается тем, что в камере образцов ренпеновского микроаналиэатора, содержащей вакуумный корпус, столик с держателем образцов, установленный в нем с возможностью поступательного перемещения по трем координатам, и приводы, пере.873071 3дающие столику движение из вневакуумного объема, столик смонтирован на торце полого вала, введенного одним концом внутрь ваку. )щого корпуса с возможностью осевого пере. мещения и вращения вокруг своей,оси, совпа 5 дающей с осью электронно. оптической систе. мы микроаналиэатора, при этом механизмы привода столика смонтированы в полости вала.,На чертеже изображена камера образцов рентгеновского микроанализатора.Камера образцов имеет высоковакуумный корпус 1, столик 2 с держателем 3 образцов, установленный в направляющих каретки 4, которая, в свою очередь, движется по направляющим 5, закрепленным на торце полого вала 6, введенного в вакуумный корпус через гильзу 7 и вакуумное уплотнение 8. Ось полого вала 6 совпадает с осью электронно оптической системы 9, На невакуумном конце полого вала смонтирован блок 10 с "рукоятками пе20 ремещений столика 2, Держатель 11 эталонов с эталонами 12 установлен в направляющих 13 корпуса 1, при этом держатель 11 эталонов связан тросиком 14 со шкивами 15 и 16, закрепленными также в корпусе 1.25Предлагаемая камера образцов является устройством, позволяющим производить рентгеновский микроанализ больших образцов и образ цов с негладкой поверхностью, что особенно 4актуально для современной микроэлектроники.например, в производстве сверхбольших интегральных схем, где необходимо исследоватьпластины диаметром 100 -50 мм.Формула изобретенияКамера образцов рентгеновского микроанализатора, содержащая вакуумный корпус, сто.лик с держателем образцов, установленныйв нем с возможностью поступательного перс.мещения по трем координатам и приводы,.передающие столику движение из вневакуумного объема, о т л и ч а ю щ а я с ятем, что, с целью повышения точности микро.анализа крупногабаритных образцов, столиксмонтирован на торце полого вала, введенного одним концом внутрь вакуумного корпусас возможностью осевого перемещения и вращения вокруг своей оси, совпадающей с осьюэлектронно оптической системы микроанализатора, при этом механизмы привода столикасмонтированы в полости вала.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1,"бСплтбп ЕИСВго МсосхоРВ ЯиаИЪ 2 Егф гРобпЕКТ фиРмы АЯЬ, 1975, Р.Е,2. Авторское свидетельство СССР Я 397827,кл. 6 01 й 2320, 1973.3, Авторское свидетельство СССР У 633095,кл. Н 01 Ю 37/20, 1978,ПИ Заказ 9020/67аж 910 Подписное филиал ПП 11 "Патент",