Радиометрический манометр

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Сфюа Советских Сфцналистичвских Реслублнк(51)М. Кл 6 01 С 21/26 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(72) Авторы изобретени цов, В. В. В,в, Ю. осковский ордена Трудового Крас институт химического машиност(71) Заявитель ени,ения 54) РАДИОМЕТРИЧЕСКИЙ МАНОМЕ Изобретение относится к вакуумной технике, в частности, к вакуумной метрологии, может быть использовано для измерения степени разрежения газа и является усовершенствованием известного радиометрическогоманометра, описанного в авт.св.Р 537276.В основном изобретении по авт,св.9 537276 описан радиометрическийманометр, содержащий корпус со штенгелем и ловушкой, по оси которогов полусферическом подпятнике наигольчатой опоре установлена вертуш-.ка с многослойными приводными лопастямиз при этом одна из наружных поверхностей лопастей покрыта слоемфеоромагнитного материала, а другаяслоем немагнитного, В ловушке, заполненной жидким азотом, размещениндуктор токов высокой частоты,связанный с генератором(7),При нагреве токами высокой частоты ферромагнитных слоев приводныхлопастей из-за возникновения радиометрических сил вертушка начинает,вращаться, и число ее оборотов, яв.ляющееся функцией от количества молекул остаточного газа в объемекорпуса, характеризует уровень вакуума в объеме, соединенном штенге-лем с корпусом манометра.При высокой чувствительности иточности известного манометра на егопоказания влияют дефекты, возникающие в процессе эксплуатации (износподшипниковой пары, возникновениемикротрещин, загрязнение мест контак 1 О та опоры и подпятника),Цель изобретения - устранение ука"ванного недостатка,Эта цель достигается тем, что манометр по авт.св. Р 537276 снабжендополнительной вертушкой с игольча 15 той опорой, установленной на подпятнике основной вертушки соосно надней, пои этом число приводных лопастей дополнительной вертушки меньше,чем у основной.20 На чертеже схематично изображенпродольный разрез описываемого мансжетра.Радиометрический манометр содержит стеклянный корпус 1 со штенгелем 2 для присоединения к откачиваемому объему и ловушкой 3, заливаемойжидким азотом, По оси корпуса 1 наигольчатой опоре 4 размещен подпятник 5 вертутлки 6 с мнргослойныли30 приводными лопастями. В ловушке 3862008 дельно допустимые границы, зафиксирует выход манометра иэ строя.При измерениях предложенным радиометрическим манометром предварительно контролируют коэффициент рассогласования и, убедившись в его соот. ветствии с тарировочной величиной,производят измерение вакуума путемизмерения числа оборотов основнойвертушки и пересчета полученного результата по тарировочной кривой зависимости числа оборотов от уровня вакуума,Такое выполнение манометра позволит исключить снятие ложных пока-заний, вызванное эксплуатационньвщ15 деФектами. Пои наличии в корпусе 1 вакуума,после заливки в ловушку 3 жидкогоазота и включении генератора 9, индуктор 7, нагревая Ферромагнитные слои" приводных лопастей вертушек 6 и 11,благодаря радиомвтрическому эффектуприводит последние во вращение.При этом из-эа различного числаприводных лопастей и дефектов, обусловленных неидентичностью изготовления опор и подпятников, геометричес- ;щкими факторами и т,п., вертушка 6 приодном и том же уровне вакуума вращается с большим числом оборотов, чемвертушка 11.Отношение К =,1 ", определяемоедОК фкак коэффициент рассогласования, независит от уровня вакуума и являетсявеличиной, постоянной для данного манометра и зависящей от точности изготовления вертушек и опор,При возникновении дефектов, вы- Зозванных длительной эксплуатацией, перегревом, механическими повреждениями, коэффициент рассогласования изменит свое значение и, перейдя эа преформула изобретения ВНИИПИТираж 9 каэ 6533/37 Подписное расположен индуктор 7, связанный приводами 8 с генератором 9 токов ,Высокой частоты. В верхней части подпятника 5 на игольчатой опоре 10 установлена дополнительная вертушка 11, у которой число приводных лопастей меньше, чем у основной вертушки 6.Манометр работает следующим образом. Радиометрический манбметр поавт.св. В 537276, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью обеспечения возможности фиксации выходаманометра из строя, он снабжен дополнительной вертушкой с игольчатой опорой, установленной на подпятнике основной вертушки соосно надней, пои этом число приводных лопастей дополнительной вертушки меньше,чем у основной,Источники ннфоомации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРР 537276, кл, 4 0121/26, 1975