Измерительный ртутный зонд

Союз СоветскихСоциалксткческккРеспублик ОП ИСАН ИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(ы ) м. кл. Н 05 К 1/11б 01 В 1/06Н 01 1. 21/66 Раудерстеенай комитет СССР по аелам изобретений н открытий(72) Авторы изобретения Ордена Трудового Красного Знамешт завод чистых им. 50-летня СССР, Институт физики полупроводни отделения АН СССР и Новосибирский государственн(54) ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ РТУТНЫЙ ЗО материала, ивставленнуюренным выстувдавливается о но заостнда ртуть Однако, вкапилляра иупругое препямениск на по ртутью ннкает Недостатком изве х конструкции изм ща является плохая ительного ртутного воспроизводнмость плос пдлупроводниковымкратной установке зондартути прн встряхивпередвижении зонда. Экапилляр выполняется контакта ртути кристалл много асывание кап анни, ударе или резкомо связано с тем, что из диэлектрического нда затруднено для сследуемой поверхатер ала, несмачиваемого ртутью, рные силы не способствуют капилляре. Сбрасывание ка т к плохой воспроизводимо акта, необходимости частойго устройства ртутью, т, е.аботы зонда. том удержаниюель ртути ртуп 1 вприводиди контзондов ерезарядкинизкои наде ости Изобретение относится к измерительной текнике и может быть использовано в измеритель. ных устройствах для исследования и контроля распределения электрофизическнх параметров на плоской поверхности структур на основе полупроводников и диэлектриков,Известны зонды для измерения параметров полупроводниковых и диэлектрических материалов, которые состоят из диэлектрического,не смачиваемого ртутью, рабочего объема с капилляром, заполненным ртутью, контактного метал лического вывода, введенного в рабочий объем, Рабочий объем уплотняется резиновой мембраной, при надавливании на которую ртуть выдавливается из капилляра и осушествляет контакт с объектом измерения 11.Использование данного зонепрерывного сканирования иности.Известен измерительный зонд, позволяющий осуществлять измерении электрофизнческнх параметров структур при сканировании по их поверхности, содержащий заполненный ртутью капилляр, выполненный из диэлектрического металлическую заглушк в капилляр конусообра лом. При опускании зо выступом в капилляр следствие несмачивания конусной заглушки, во тствне перемещению ртути верхностн контакта,860360 20 НИИПИ Заказ 7576/3ираж 889 Подписное Цель изобретения - повышение надежностиработы.Поставленная цель достигается тем, что изме.рительный ртутный зонд, состоящий из контакт.ного устройства с капилляром, заполненнымртутью, и механизмом для перемещения ртути,снабжен металлическим стержнем, расположен.ным внутри капилляра, диаметр которого меньше половины диаметра капилляра,Наличие металлического стержня в капилляре улучшает воспроизводимость площади ртут.ного контакта с объектом измерения при многократной установке зонда.Диаметр металлического стержня не долженбыть больше половины диаметра капилляра, впротивном случае изменяетсй форма и площадьртутного контакта, снижается воспроизводимостьэлектрических параметров при многократномопускании или перемещении зонда.На чертеже изображен измерительныйртутный зонд.Зонд состоит из контактного устройства снаконечником 1, выполненным из диэлектрического материала, в котором капилляр 2 и рабо.чнй объем 3 заполнены ртутью. Рабочий объемограничен резиновой прокладкой 4, котораяприжата к наконечнику 1 основанием зонда 5и прижимной гайкой,6. Для выдавливания рту.ти и осуществления контакта с измеряемымобъектом служит шток 7. В рабочий объем 3введен металлический электрод 8, служащийдля осуществления электрического контакта сизмерительной схемой. Внутри капилляра 2 расположен металлйческий стержень 9, выполненный из материала, смачиваемого ртутью, диаметр которого составляет менее половиныдиаметра капилляра,Филиал 11 ПП "Патент",г, Ужгород, ул, Проектная, 4 Зонд работает следующим образом.При опускании зонда шток 7 передает давление на резиновую прокладку 4 и приводитк выдавливанию ртути иэ капилляра 2, Метал лический стержень 9, смачиваемый ртутью,удерживает ртуть в капилляре за счет положительного угла смачивания на границе ртуть -металл, предотвращает сбрасывание капельртути, создает возможности дпя высокой вос производимости площади контактов при многократной установке ртутного зонда.Предлагаемые измерительные ртутные зондыс металлическим стержнем в капилляре облада.ют высокой надежностью и могут применятьсяв устройствах для экспрессного контроля внеш-.него квантового выхода электролюминесцентньир - и структур, а также в устройствах для измерения профиля концентрации примесей в зпитаксиальных структурах. Формула изобретения Измерительный ртутный зонд, состоящий иэконтактного устройства с капилляром, заполнен.ным ртутью, и механизмом для перемещения ртути, отличающийся тем,что,с целью повышения надежности работы, ои снабжен металлическим стержнем, расположенным 30внутри капилляра, диаметр которого меньше половины диаметра капилляра. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, 1. РЬуз. Ят.Яо 1. 19, 1970, М 2, с. 225.2, Авторское свидетельство СССР У 617726,кл. 0 01 В 1/06, 1976 (прототип),