Измерительный ртутный зонд

(Ю (111 01 0 27 07 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ,в 46онструкторско-техспециальной электского приборострое ельство СССР 21/66, 1981. ьство СССР 1/11, 1981. экран ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯГУИ ГКНТ СССР(71) Специальное кнологическое бюророники и аналитичения СО АН СССР(56) Авторское свидеВ 974463, кл. Н 01 1.Авторское свидетелУ 860360, кл. Н 05 К Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения локальных электрических характеристик структур на основе полупроводников и диэлектриков.Цель изобретения - повышение точности измерений.На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство.Измерительный ртутный зонд содержит корпус 1 с капилляром иэ изолирующего материала, регулятор 2 объема капилляра, контакт 3 к ртути 4, металлический экран 5. Механизм перемещения ртути включает в себя эластичную мембРану 6,шток 7 для создания давления и .,) ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ РТУТНЫЙ ЗОНД ) Изобретение относится к измериьной технике и может быть испольано для измерения локальных электрофнэических характеристик структур на основе полупроводников и диэлектриков. Цель изобретения - повышение точности измерений за счет увеличения точности воспроизведения площади ртутного контакта, Для этого исключают влияние различного заполнения объема с ртутью на изменение условий работы механизма перемещения ртути. Зонд содержит корпус с капилляром для ртути и механизм для перемещения ртути.Корпус зонда снабжен регулятором объема, заполняемого ртутью, а механизм перемещения ртути снабжен ограничите" лем хода, 1 нл. ограничитель 8 хода штока, гайку 9,прижимающую мембрану 6 к корпусу 1.Регулятор объема выполнен в видепоршня, который может вводиться врезервуар с ртутью вращением его порезьбе, находящейся на е корпуса зонда,Измерительный ртутный зонд работаетследующиМ образом,Корпус у зонда 1 прижимается к исследуемой поверхности образца открытым концом капилляра. Яток 7 с ограничителем хода перемещается до упорав гайку 9,жестко связанную с корпусом1, причем расстояние перемещениявыбирается ограничителем 8 хода таким,1529093 оставитель В.Ека ехред Л.Сердюков рректор С.Ч Редактор С.Лисина ираж 789 Заказ 7633/ дписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и 113035, Москва, Ж, Раушская наб Т СССР ытиям и 4/5 зводственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 чтобы не создавать необратимых деформаций в мембране 6. Затем в объемс ртутью вводится регулятор 2 до получения электрического контакта ртутис исследуемым образцом (площадь контакта контролируют по емкости получаемых барьеров Шоттки или МПП-структур на эталонных образцах или визу.ально с помощью измерительного микро Оскопа через стекло , вставленное1 вместо образца). После получения контакта требуемой площади прекращаетсявведение регулятора 2 в объем с ртутью4. После проведения измерений шток 157 с ограничителем 8 хода возвращается в исходное положение, при этом давление на ртуть исчезает н она уходитобратно в объем. Затем образец заменяется на ртутный зонд, перемещается 20в другую точку исследуемого образца,а шток 7 с ограничителем 8 хода подаются обратно до упора, При этомплощадь ртутного контакта воспроизводится с большой точностью, так как 25рабочее положение штока также воспроизводится с большой точностью (технически не представляет труда добиться погрешности менее 1 мкм), а мембранавсегда растягивается в пределах дефор"мации (для каждого конкретного материала эти пределы легко установитьпо справочнику). Если заправить объемс ртутью до другого уровня, то этоникак не повлияет на воспроизводимость площади контакта, так как изменение объема ртути компенсируетсярегулятором 2, а условия работы мембраны не изменяются при повторныхвыдавливаниях. Режим выбирают оптимальным для данного материала мембраформула изобретения Измерительный ртутный зонд, состо-ящий из корпуса с капилляром, заполненным ртутью, механизма для перемещения ртути со штоком, контакта и металлического экрана, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерений, корпус измерительного ртутного зонда выполнен с регулятором объема капилляра, а ме. ханизм перемещения ртути снабжен ограничителем хода штока.