Способ определения кристаллографической ориентации
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
сГ 845578 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСсссо Советских СоГГГапистГеск 1 х Республик,02. 82 бликс;валс) 2 о делам изобретений юл "стен ткоытий 11 Та опублцкова;Гця оцСапця 23.02.8(72) Авторы изо орете: ц;1 Б. А, Матвеев, Н, М. С Ордена Ленина физико сь и Г. Н. Тал ал а к и(5-1.) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯТАЛЛОГРАФИЧЕСКОЙ ОРИЕНТАЦИ 1 Изоорстснцс отцосится к сиосооам оп рсдслсция кристаллографцчсской орцснта. ццц монокристаллов. Оно может быи использовано в полупроводниковой тсхцологцц для получения орисн-цроваццых моно криста;1;П 1 сскик ПГГйб.Извес гсн сцОСОО )предсгсиц 51 крис1,.О графической ориентации плоскости па по;ерхносси кристалле, 1 кло чающий освсшс. цис кристалла направленным цу ком света, НОС "Гснис свстового изооражсния От повср);ности, оораоотанцой в сс,сктцвцом трави. тслс 11.Предельна)1 точность этого способа из-за нечеткости светового цзооражсция нс ирсвышаст 1- 2 угловык минут, что цсдоста Г 1 О. Целью изобретения является поьышснисто ности определения крцсталлографической ориентации плоскости на поверхностикристалла,Поставленная цель достигается тем, чтоскалывают кристалл по двум схСжным плоскостям сцайности, определяют кристаллографическую ориентацию этих плоскостей,затем последовательно освсцгаю г товер);.О ности сколов цаправлснцыч пучком света,ц по П 0,10 жсцию Отраженны; лу чей 01 рсдс.ляют ,Оордпнать поверхостей Сколов,Гакжс координаты исковОй плоскости в ла.бораторной системс координат, а кристал 5 лографичсскую ориентацию последней определяют матрц шым црсооразованцсм лабо.раторцык координат.Г 51 20 н а т в о п выс луч лов, явл зеркалах кого пар 25 редели и ностью,ПОР 51 ДОК собов.11 а фиг. 1 изооражсно положение монокристаллической пластины; ца фиг. 2 - цла 11 аиоссгсс Олизкит тс.нцчсскцм 1)сшсци сч является способ оцредс. снця крСтасЛографц сской ориентации цлоскос ц ца цо. веркности кристалла оптическим методом, вклГочакмий Освещенс кристаа цаправлсццыч пучком света, получгцшс светового цзооражсци 51, НГ)и ОсмГисствлсцци которо 0 освсшасмуо повсркГГость прсдваритсгц цо ПГСНГф к)т кр ццозсрПст 1,1:, аора 31 вцьх По. роцком 12.Его тоность невысока 1=1=), что нс т дов,1 стГОряст т)соованп 5 х Оогьшцнства ирактисеки.; задач. определения лабораторных коордицсанцом способе используют свсто, отраженные от поверхностей скояюшцхся идсальцымц природными 1 и, поэтому при использованцц тоц аллельного луча лазера можно оп лабораторныс координаты с точравной =10 ", что оолсс чем на превышает точность из 1)сетияк сцо
СмотретьЗаявка
2862148, 25.12.1979
ОРДЕНА ЛЕНИНА ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. А. Ф. ИОФФЕ
МАТВЕЕВ Б. А, СТУСЬ Н. М, ТАЛАЛАКИН Г. Н
МПК / Метки
МПК: G01N 21/21
Метки: кристаллографической, ориентации
Опубликовано: 23.02.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-845578-sposob-opredeleniya-kristallograficheskojj-orientacii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения кристаллографической ориентации</a>
Предыдущий патент: Способ определения действительной части относительного показателя преломления вещества в дисперсной фазе
Следующий патент: Способ получения высооктанового бензина
Случайный патент: 162173