Способ газовой обработки сапфира

Номер патента: 795961

Авторы: Батыгин, Куликов

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Сафа Советскик Сецнаанстичеаек Республик(22) Заявлено 101178 (21) 2686305/29-33с присоединеиием заявки ЙУ(23) ПриоритетОпубликовано 150181, бюллетень Й 9 2Дате опубликования ойисаиия 180181 м Кйз В 28 0 5/00 ГосударственныЯ комитет СССР но дедам нзобветеииЯ н. открытнЯ(54) СПОСОБ ГАЗОВОЙ ОБРАБОТКИ САПФИРА Изобретение относится к обработкекристаллов, а именно к способам газсвой обработки сапфира.Известен способ обработки сапфира, включающий травление в нарах буры 5при 1000-1200 С Ш .Недостаток этого способа заключается в образовании на поверхностикристалла инородных включений и пленок, что вызывает увеличение трудоемкосты за счет введения дополнительнойочистки.Наиболее близким к предлагаемомуявляется способ газовой обработкисапфира, включающий нагрев в среде 15сухого водорода и выдержку при заданной температуре (2 .Недостаток указанного способа заключается в необходнмос.,и использования остроосушенного водорода, влажкостью по точке росы -80 С и температуре нагрева свыше 1900 С, что по.вышает трудоемкость и снижает производительностьЦель изобретения - снижение трудоемкости и повышение производительности,Поставленная цель достигается тем,что в способе газовой обработки сапфира, включающем нагрев в среде сухо О 2го водорода и выдержку при заданной температуре, перед нагревом вводят в среду сухоговодорода графитовые элементы, нагрев осуществляют до 1500-1600 С со скоростью 500 град/ч, а выдержку - в течение 25-30 мин.Такое выполнение способа обработки сапфира обеспечивает снижение темо пературы обработки на 300-400 С и возможность использования сухого водорода с влажностью по точке росы -50 С,ф что снижает трудоемкость и повышает производительность обработки в 1,5- 2 раза.П р и м е р. Термическая обработка сапфировых изделий осуществляется в промышленных водородных колпаковых печах типа ЦЭПс реэистивным на-, гревом. Образцы сапфира помещают в реакционный объем на специальной молибденовой этажерке. Графнтовые элементы в форме пластин, вводимые в реакционный объем, располагаются на расстоянии 5-10 мм от сапфировых изделий. Допустимо использование графитового кольца или стакана, окружающего сапфировые изделия. Термообработку проводят в сухом водороде (влажность по точке росы -50 ОС), Скорость подъема и снижения температуры795961 Составитель В. ХолоповРедактор Л. Лежнина Техред Е.Гаврилешко Корректор С. Шекмар Тираж 638 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113 д 35, Москва, й, Раушская наб., д. 4/5Заказ 9565/22 филиал ППП фПатвнт", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 составляет 500 град/ч. Выдержка при 1500-1600 С в течение 25-30 мин.Исследования качества структуры поверхности сапфировых подложек на электронном микроскопе УЕИА показали, что поверхностный слой после термообработки в водороде преобразо-. ван в,монокристаллический, а размер микронеровностей поверхности не превышает 0,025 мкм, что соответствует 14 классу чистоты. Введение графитовых элементов обеспечивает при температуре выше 1000 С поглощение иэ водорода примеси кислорода и кислородсодержащих соединений, способствуя тем самым глубокому осушению водорода, причем при температуре выше 1200 С выделяется окись углерода - активный восстановительный по отношению к сапфиру газ, что позволяет снизить температуру обработки. Формула изобретенияСпособ газовой обработки сапфира,3 включающий нагрев в среде сухого водорода и выдержку при заданной температуре, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью снижения трудоемкости и повнаения производительности,Щ, перед нагревом вводят в среду сухого водорода графитовые элементы, нагрев осрцвствляют до 1500-1600 фС соскоростью 500 град/ч, а выдержку -в течение 25-30 мин.И Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент СШ 9 3753775,кл, 117/213, 1973,.2. Патент СИА Р. 4038117,кл, 156-2, 1977,

Смотреть

Заявка

2686305, 10.11.1978

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1067

БАТЫГИН ВИТАЛИЙ НИКОЛАЕВИЧ, КУЛИКОВ ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: B28D 5/00

Метки: газовой, сапфира

Опубликовано: 15.01.1981

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-795961-sposob-gazovojj-obrabotki-sapfira.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ газовой обработки сапфира</a>

Похожие патенты