Устройство для ориентации подложек

Союз Советских Социалистических Республик(51)М. Кл. Н 0121/70 Н 05 К 3/00 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(53) УДК 621. 382. 77, ,039 (088.8) Дата опубликования описания 23.12, 80 Р. Э. Курыло, К. М. Рагульскис и Р. П. Шаткус(71) Заявитель Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкуса(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПОДЛОЖЕК 10 ника 11,Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано в оптико-механических приборах, в координатных измерительных устройствах. 5 Известно устройство для ориентации подложек, содержащее основание, координатный стол и расположенные между ними пьезокерамические элементы, снабженное демпфирующим элементом соединяющим основание с координатным столом, а упомянутый координатный стол выполнен в виде круглой мембраны, на поверхности которОй жестко закреплены пьезокерамические элементы с образованием шестиугольНедостатком известного устройст ав является сложность конструкции, заключающаяся в трудности подбора демпфирующего элемента для исключения отражения волны.Известно устройство для ориента ции подложек, содержащее координатный стол и основание с продольными и поперечными пазами, в которых закреплены стержнеобразные пьезокерамические элементы2, 30 Недостатком этого устройства является малый возможный диапазон перемещений, сложность конструкции.Цель изобретения - расщирение функциональных возможностей.указанная цель достигается тем, что устройство для ориентации подложек, преимущественно микросхем, содержащее координатный стол и основание с продольнь 1 ми и поперечными пазами, в которых закреплены стержнеобразные пьезокерамические элементы, снабженно соединительными пластинами, каждая из которых одним концом жестко закреплена на одном из пьезокерамических элементов, д другим - с координатным столом с возможностью фрикционного взаимодействия, при этом пьезокерамические элементы подпружинены.На фиг,1 показана схема устройства; на фиг,2 - вид устройства сверху.Устройство содержит основание 1,в котором выполнено. четыре паза 2, расположенных в форме креста. В пазах 2 упруго, например, прн помощи пружин 3, установлены стержнсобразные пьезокерамические элементы 4. Электроды стержнеобразных пе .;ке790041 каз 9046/52 Тираж 844 Подписно "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ВНИИПИ филиал П рамических элементов расположены на боковых (вертикальных) плоскостях и разделены накрест на четыре зоны 5,6,7 и 8.На концах пьезокерамических элементов 4 жестко закреплены пластины 9. На пластинах 9 помещен с возможностью фрикционного взаимодействия столик 10.Устройство работает следующим образом,При подключении двух напротив- лежащих зон, например 5 и 8, стержне- образных пьезокерамических элементов 4 к источнику высокочастотного напряжения через коммутирующее устройство (не показано) пьезокерамические элементы 4 совершают продольные и поперечные (в вертикальном направлении) колебания. Пьезокерамические элементы 4 питаются на частоте продольного резонанса. Собственная частота колебаний пьезокерамических элементов 4 в поперечном направлении отличается от частоты колебаний в продольном направлении, поэтому имеется сдвиг по фазе продольных и поперечных колебаний, Концы пьезокерамических элементов, на которых закреплены пластины 9, совершают эллипсообразные движения, столик 10 совершает поступательное движение. Реверсирование осуществляется подключением двух других зон, например 6 и 7, к источнику высокочастотного напряжения посредством переключающего устройства (не показано) .Движение по одной из координат осуществляется подключением к источнику высокочастотного напряжения двух напротиволежащих пьезокерамических элементов 4, движение по другойподключением других пьезокерамических элементов 4,Устройство позволяет упроститьконструкцию, исключая необходимостьподбора демпфирующего элемента, Наилучшими динамическими характеристиками устройство обладает при соотношении продольного и поперечногоразмеров (в вертикальном направлении)пьезокерамического элемента 4,Формула изобретения Устройство для ориентации подло жек, преимущественно микросхем, содержащее координатный стол и основвание с продольными и поперечнымипазами, в которых закреплены стерж-необразные пьезокерамические элемен- ;Щ ты, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что с целью расширения функциональных возможностей, оно снабжено соединительными пластинами, каждая изкоторых одним концом жестко закреплена на одном из пЬезокерамическихэлементов, а другим - с координатнымстолом с возможностью фрикционноговзаимодействия, при этом пьезокерамические элементы подпружинены. 3 О Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССРпо заявке Р 2608445/18-21,35 кл. Н 01 (. 21/70, 21 04 . 78,2. Авторское свидетельство СССРР 541305, кл. Н 05 К 3/00, 06.01,75