Способ определения величины заряда на границе раздела в пленочных структурах
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
О П ц 786728 Союз Советских Социалистических РеспубликИ ЗО БР ЕТЕ НИ Я К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(23) Г 1 риоритст по делам изобретеии и открытийПеров, Л, А Игнатов Красного лектроник вдеев Заявитсл Знамени и АН ССС54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ ЗАРЯ НА ГРАНИЦЕ РАЗДЕЛА В ПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУРАХструктуры ее а постоянного ЕИОНЦОГО УСИЛИ е 1 а Выходе Оп. - ычисляют велиздела по фор: (о, (1+) О, +Я. гд 15 сх ния о цосИзобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для контроля структур.Известен способ измерения величины заряда на границе раздела диэлектрик-полупроводник в МДП структурах 11), основанный на измерении величины заряда, прошедшего при заряде по последователь. ной цепи, состоящей из исследуемой структуры, измерительного устрйства и истчника напряжения.Недостатками его являются низкая точнОсть и пригодность только дл 51 стръЕстур с постоянной времен ц т 10 с.Известен способ измерения величины заряда на границе раздела в илсцочшх структурах 21, основанный ца заряде исследуемой структуры от источника пбсто яцного напряжения, измерсц 1,ц напряжения на эталонном конденсаторе и вычислении подвижного и захватываемого заряда,Недостатком этого способа является низкая точность прц постоянной времени исследуемой структуры т ( 10 с, что ограничивает диапазон пригодности способа.Цель изобретения - повышение точности и расширение функциональных возможностей способа.Цель достигается тем, чт в известном после зарядки исследуемо Тереключают от источнш напряжения к входу опера тсля, измеряют напряжение рационцого усилителя ц в чину заряда ца границе ра муле;- величина подвижногоц захватываемого Я зарядов;Ь цапряжсцис ца выходеопсрациое 1 ного усилитсл 51, равное напряжению ца эталонном конденсаторе в цепи Обратно 1 связи усилителя после разряда цсслс:р смой астр Ест ры;А -- коэффицисет усиления уси.лцтсля;С 1 емкость эталонного конденсатора;Я - заряд паразцтцой емкости, 1 а чертсжс приведена функциональная Еа устройства для реализации способа. стройство содсржг блок 1 управлсизмерительный прибор 2, источник 3 ояццого напряжения, регулируемого цо786728 Л СмирновКуклина оставитс Техрсд Л(оррсктор Е. Михе ктор Е. Хейфи Подпис 1 ираж 758когиитета СССРи открытииская иаб., д. 4/5 Заказ 292 Изд. М 125 1 ИПИ Государственно по делам изобретсш 035, Москва, Ж, Ра113 Загорская типография Уприолиграфиздата Мособлисполко:а 8величине, паразптпуо емкость 4, сопротивление 5 и емкость 6 исследуемой структуры, операционный усилитель 7, сопротивление ключа 8 - 9, эталонный конденсатор 10, входное сопротивление 11 и емкость 12 операционного усилителя.П р и м е р. Исследовалась структура СдЯе - Сд 5, имеющая гетеропереход с концентрацией примеси Ж10 з см - , которая имела емкость С, 100 пф. Коэффициент усиления усилителя составлял К 10",Постоянная времени усилителя ту = = Я 1 С, = 0,1 с С,/С, = 10. При напряжении Г == 1(3 постоянная времени структуры т, = 10с У, = 6104 ВЯ+ + Я= 4,5 10 " к см . Погрешность и измерении Я, + Я , не связанная с из. мерительной аппаратурой, составляет ( 1 % .Способ пригоден д,чя исследования структур металл-полупроводник, полупроводник-полупроводник, диэлектрик-полупроводник. Формула пзобрстснпя Способ определения величины заряда на границе раздела в пленочных структурах, основанный па заряде исследуемой структуры от источника постоянного напряжения, измерении напряжения на эталонном конденсаторе и вычислении подвижного и захватываемого заряда, отл пч а ющп йся тем, что, с целью повышения точности и расширения функциональных возможно 4стей способа, после зарядки исследуемой структуры ее переключают от источника постоянного напряжения к входу операционного усилителя, измеряют напряжение на выходе операционного усилителя и вычисляют величину заряда на границе раздела по формуле: Я ц + Я = 1"-10 Со (1 + К ) Рръ1 Огде Я + Я- величина подвижного Я ии захватываемого Я зарядов;Г, - напряжение на выходе15 операционного усилителя,равное напряжению на эталонном конденсаторе в цепи обратной связи усилителя после разряда иссле 0 дуемой струк 1 уры;К - коэффициент усиления усилителя;С, - емкость эталонного конденсатора;25 Я - заряд паразитпой емкости.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Коогпсп 1. Меаввгегиеп 1 о 1 1 п 1 егУе 1 вЯа 11 з С 11 аго 1 п йс МОЪ 8181 еп 1 Яо 1 Ы - Яа 1 е30 Е 1 ес 1 гоп 1971,14, р 571.2, К, 71 ес 11 ег апс 1 Е, Капявгпапп 51 а 1181 ес 11 пщцев Меаэпгегпеп 1 о 1 вцг 1 аве 51 а 1 цз п 1МОЯ з 1 з 1 епз Арре Р 11 уз. 1.е 11 егв26, М 7,р 400, 1975.
СмотретьЗаявка
2755605, 20.04.1979
ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ИНСТИТУТ РАДИОТЕХНИКИ И ЭЛЕКТРОНИКИ
ПОЛЯКОВ В. И, ПЕРОВ П. И, АВДЕЕВА Л. А, ИГНАТОВ Б. Г
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: величины, границе, заряда, пленочных, раздела, структурах
Опубликовано: 23.04.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-786728-sposob-opredeleniya-velichiny-zaryada-na-granice-razdela-v-plenochnykh-strukturakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения величины заряда на границе раздела в пленочных структурах</a>
Предыдущий патент: Ультразвуковой толщиномер
Следующий патент: Устройство для контроля параметров
Случайный патент: Способ получения 3-арил-5-алкил(арил) азо -изоксазолинов