Устройство для наблюдения процессов на поверхности образцов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социалистических РеспубликОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯХ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 29692 1) Дополнительное к авт, сви Заявле. Кл. 01 Т 37/26 ем заявки Но -но 250480. Бюллетень М 1кования описания 280480 с присо нен арствеииый комитСССРелам изобретеиийи открытий 23).Приорит лик ДК 621, 38(72) Авторы изобретени рас. и В.Н, Шуменко 1) Заявитель Московский о ена Трудового Красного Знамени институтстали и сплавов 4 ) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАБЛЮДЕНИЯ ПРОЦЕССОВ НА ПОВЕРХНОСТИ ОБРАЗЦОВИзобретение относится к технике электронной микроскопии и может быть использовано при разработке устано- вок для наблюдения поверхности образ цов в металлургии, металловеленни, при физических и химических исследованиях.Известны устройства для наблюдения поверхности образцов с помощью электО ронных микроскопов 11Однако в этих устройствах температура рабочей поверхности образца, как правило, ограничена. Вместе с тем в целом ряде исследований необходимо иметь образцы с повышенной температурой поверхности.Наиболее близким к изобретению яв" ляется устройство для наблюдения поверхности образцов, содержащее сканирующий электронный микроскоп, детектор вторичных электронов и блок нагрева с рабочей поверхностью для размещения образца 2), Это устройство также не обеспечивает широкого диапазона температур наблюдаемой поверхности из-за того, что разогретая поверхность образца является источником термоэлектронов, маскирующих нужное изображение. Целью изобретения является расширение диапазона возможных температурнаблюдаемой поверхности образца,Это достигается тем, что устройство снабжено Фильтром электронов термоэмиссии, расположенным между упомянутой рабочей поверхностью и детектором вторичных электронов,На чертеже дана схема устройства.Оно состоит из блока нагрева 1,Фильтра-сетки 2 электронов термоэмиссии, детектора 3 вторичных электронов, столика 4, пушки 5 микроскопа,линии 6 откачки внутренней полостиустройства.Фильтр электронов термоэмиссиипредставляет собой латунное кольцодиаметром 80-120 мм (в зависимостиот размеров нагревателя), на которомнатянута латунная сетка с размеромячеек 2-5 мм, Сетка выполнена из латунной проволоки диаметром 0,2-0,5 ммЛатунная сетка через изолятор крепится к панели микроскопа. К сеткеприсоединен электропровод, соединенный с дополнительным регулируемымисточником напряжения.Работает устройство следующим образом.729 б 92 44 Подпис ное ИПИ Эакаэ 1295/4 иал ППП Патентф, г. Ужгород, ул.Проектная После установки образца настолик начинается его разогрев до необходимой температуры, после чеговключается пушка электронного микроскопа, а на фильтр-сетку подаетсяотрицательный по отношению к образцу потенциал. Величина его подбирается таким образом, что обеспечиваетсязапирание всех термоэлектронов. Приэтом достаточно энергичные вторичные электроны проходят через фильтри, попадая в детектор вторичныхэлектронов, формируют изображение.Как показали испытания., предложенное устройство позволяет наблюдатьповерхности образцов вплоть до 2500 фС,т.е. его использование существенно 15расширяет диапазон возможных температур наблюдения,формула изобретенияУстройство для наблюдения процессов на поверхности образцов, содер жащее сканирующий электронныи микрбскоп, детектор вторичных электронов иблок нагрева с рабочей поверхностьюдля размещения образца, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с цельюрасширения диапазона возможных температур наблюдаемой поверхности образца, оно снабжено фильтром электронов термоэмиссии, расположенныммежду упомянутой рабочей поверхностьюи детектором вторичных электронов. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Шиммель Г. Методика электронной микроскопии. М.,ф Мир", 1972,2, Сцйепац Не 1 пг 1 сп - Х 11 пе 1 т,Вцскпагб Х 1111-Сцпгег. 2 цяа 1 яце 1 а 1гцп Наяег-Е 1 ес 1 гопевЖгояор ш 1бег Мо 911 спке 1 бег НосЬепп 1 гцпс 3цвай СаяЬеЬапй 1 цп 9 фЯпаЫ цпд ЕХяеп,1977, Р 20, 996-998 (прототип) .
СмотретьЗаявка
2709130, 17.11.1978
МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ИНСТИТУТ СТАЛИ И СПЛАВОВ
ФУЛРАС РИЧАРД, ШУМЕНКО ВЛАДИМИР НИКОЛАЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 37/26
Метки: наблюдения, образцов, поверхности, процессов
Опубликовано: 25.04.1980
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-729692-ustrojjstvo-dlya-nablyudeniya-processov-na-poverkhnosti-obrazcov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для наблюдения процессов на поверхности образцов</a>
Предыдущий патент: Способ катодолюминесцетного анализа твердых тел
Следующий патент: Модулируемый газоразрядный источник света
Случайный патент: Устройство для хирургического лечения смешанного астигматизма