Фулрас

Номер патента: 729692

Опубликовано: 25.04.1980

Авторы: Фулрас, Шуменко

МПК: H01J 37/26

Метки: наблюдения, образцов, поверхности, процессов

...снабжено Фильтром электронов термоэмиссии, расположенным между упомянутой рабочей поверхностью и детектором вторичных электронов,На чертеже дана схема устройства.Оно состоит из блока нагрева 1,Фильтра-сетки 2 электронов термоэмиссии, детектора 3 вторичных электронов, столика 4, пушки 5 микроскопа,линии 6 откачки внутренней полостиустройства.Фильтр электронов термоэмиссиипредставляет собой латунное кольцодиаметром 80-120 мм (в зависимостиот размеров нагревателя), на которомнатянута латунная сетка с размеромячеек 2-5 мм, Сетка выполнена из латунной проволоки диаметром 0,2-0,5 ммЛатунная сетка через изолятор крепится к панели микроскопа. К сеткеприсоединен электропровод, соединенный с дополнительным регулируемымисточником...