Способ тарирования пьезокварцевых весов

п 117 87 8 О ПИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Соеетскик Социалистическихелам изобретен и открытий 45) Дата опубликования оп ания 28.02.80(7 витель ПОСОБ ТАРИРОВАНИЯ ПЬЕЗОКВАРЦЕВЫХ ОВ соизмеритель- лсокочувствиНа чертежике предст 5 ства для реализации с В камеру 1 номе резонатор 2, установ 3, нагреваемая сетка 5, подключенный к п 0 су источника 6 постоавлена схема устроипособа.щены пьезокварцевый ленный на держателе4 и противоэлектрод оложительному полюянного тока, отрицаИзобретение относится к веной технике, в частности к вьтельным микровесам.Известны способы тарирования пьезокварцевых весов, заключающиеся в нагружении их разновесами 1.Эти способы не обеспечивают требуемую точность.Ближайшим по технической сущности к изобретению является способ тарирования пьезокварцевых весов путем нанесения на подложку пьезокварца определенного весового количества вещества 21.К недостаткам известного способа относятся невозможность проведения тарирования с теоретического порога чувствительности пьезокварца и неудовлетворительная точность,Цель изобретения - повышение точности и расширение диапазона тарирования,Поставленная цель достигается тем, что подложку пьезокварца включают в цепь постоянного тока и осаждают на нее ионы заданного химического элемента, причем о массе нанесенного вещества судят по интегральному значению тока,Описываемый способ тарирования заключается в том, что пьезокварц помещают в оптически прозрачную камеру, где находятся пары какого-либо химического элемента, и подают на него отрицательныи потенциал. Положительный потенциал подают на противоэлектрод, расположенный в этой же камере. Излучение от источника света, 5 содержащего эмиссионный спектр химического элемента, атомные пары которого находятся в камере, направляют на эти пары и ионизнруют атомы только этого элемента, Под действием электрического поля обра зовавшиеся ионы оседают на пьезокварцсвую подложку, и по току в замкнутой цепи пьезокварц - противоэлектрод судят о массе нанесенного слоя.Таким образом, тарировку можно прово дить с теоретического порога чувствительности пьезокварца. Она сводится к нанесению на подложку пьезокварца пленки определенной толщины из какого-либо химического элемента. Нанесение такой пленки, а 0 следовательно, и тарнровку можно осуществлять как локально, так и на всю поверхность подложки пьезокварца,718718 4 208 3 1 Ои 11,02.102 Фор м ул а изобретения а 1,6 1 О 1 Г ставитсль В. Ширшов Тех с- В, Се якова Редактор И. Грузова р Р 1(оррскторьп Т. Трушкина и А. СтепановаЗаказ 141/10 Изд.183 Тираж 729 НПО Попок Государственного комитета СССР по делам изоб 113035, Москва, Ж, Рампсная иаб., и. 4,5 Подписки сиий и открятии 1ипография, пр. Сапунова,тельный полюс которого соедшсн с рсзссчтором 2.В электрическую цепь источник 6 - противоэлектрод 5 - резонатор 2 включен пптсгрпрующий прибор 7.Камера 1 снабжена оптически прозрачным Оком 8, штуцером 9 для подклочсния вакуум-насоса (на чертеже не показан) п оростком 10, в который помещается раоочее вещество 11,Устройство содержит также источник 12 света, излучение которого направлено в окно 8 камеры 1,Пьезокварцевый резонатор 2 состоит из кварцевой пластины 13 и подлоккп 14.Процесс тарирования производят слсдуОщим ооразом.Рабочее вещество 11, например ртуть, помещают в отросток 10 камеры 1, в которой образуются пары ртути с давлением прп комнатной температуре 1 10 -мм рт, ст.На эти пары фокусируется излучение источника 12 света, например спектральной лампы. В камере 1 при этом происходит селективная ионизация паров ртути,Число У ионов ртути, выделяюп,ейся ия подложке резонатора 2 за 1 с, составляст где 1 - ток в цепи;д - заряд электрона.Масса М ртути, выдсляюлцейся на подложке резонатора за 1 с, определяется выракснием г;1 с А - атомный вес осаждаемого химического элемента;- исло Авогадро.Изменение массы резонатора в результатес осаждш 1 пя на его ГОдлокку ионов ртути ПриВОдит 1." ИЗМСПСиО 1 яетоть КОЛЕСаний рсзонатора,Процесс тарирования можно проводитьдо граничной массы для резонатора данного тшла,ПО интегрирующему прибору 7 определяют массу осажденного всщссгва, частоту15резонатора 2 наолюдают по частотомеру(1 а чсртеже пе показан). 20 Способ тарирования пьезокварцевых весов путем нанесения на подложку пьезокварца определенного весового количествавещества, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью повышения точности и расширения25 диапазона тарирования, подложку пьезоквар;а включают в цепь постоянного токаи осаждают на нее ионы заданного химического элемента, причем о массе нанесенного веп;ества судят по интсгральному значенн 10 тока,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Сарахов А. И, Весы в физико-химичс.ских исследованиях, М., Наука, 19 б 8,35 2. Патснт Великобритании М 130209 б,кл. 1-1 КИ С 1 Х, опублик. 1973 (прототип).