Способ обнаружения поверхностных дефектов на пластине материала

Союз СоветскикСоциалистическихРеспублик ЕТЕЛЬСТВ К АВТОРСКОМ 1) Дополнительное к авт. сви(22) Заявлено 30.12. 3 21) 25615 53)М. Кл, 0 01 Н 33/38 оединением заявки М Гесула таверн югСССРи кзебретаейеткрытей 23)Приорите Опубликовано 9 Бюллетень М0.191 Дата опубликования описания 05.11,7(72) Авторы изобретен В, Серов и С. А, Иноземце 71) Заявител НАРУЖЕ 1 эИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ДЕФЕКТОПЛАСТИНЕ МАТЕРИАЛА 54 СПОСНедос полученияходимо Изобретение относится к области электронной техники, в частности к технологии обработки поверхности стекол для фотошаблонов.Известен способ излучения топографии по. верхности твердых тел с помощью электрон.5 ной микроскопии, заключающийся в нанесении на исследуемую поверхность в процессе термического испарения угля тонкой угОльной пленки. Напыленная угольная пленка с высокой точностью повторяет рельеф поверхности и может использоваться при изучении дефектов поверхности 111 установк пленки и ния еизвест удачного вить ош сти о 1 шение производительности спосо Поставленная цель достигается тем, что в %известном способе обнаружения поверхностных дефектов на пластине материала, включающем последовательное нанесение угольной пленки и ного номера углерода имеют низкии контраст.Известен также способ обнаружения поверхностных дефектов на пластине материала, включающий последовательное нанесение утольной пленки и слоя желатина на исследуемую пластину, отделение слоя желатина вместе с уголь. ной пленкой, растворение желатина, нанесение оттеняющего материала на поверхность угольной пленки и просмотр ее в электронном микроскопе 2. отдеен слоя желатина на исследуемую пластину,ление слоя желатина вместе с угольной плкой, растворение желатина, нанесение оттщего материала на поверхность угольнойки и просмотр ее в электронном микроттеняющий материал наносят на поверх пленоскопе,ностье угольные пленки ввиду малого атком способа является то, что дляоттененной угольной пленки необ.проводить два процесса напыления ввакуумного напыления (угольнойоттеняюшего материала), угол направенения выбирается произвольно приом характере дефектов, в случае непроведения процесса оттенения испра.ибку невозможно.зобретения - обеспечение возможаружения дефектов различного видаов на больших площадях, а также696380 4потребовалось 25 рабочих дней, На аналогичные исследования старым способом потребовалось.бы 100 рабочих дней. Исходя из годо.вой потребности анализа 200 стекол экономия рабочего времени составит 750 рабочих дней, При стоимости 1 рабочего дня 7,2 руб. годо.вая экономия при работе на одном электронном микроскопе составит около 5 тыс. руб.Значительно больший эффект можно ожи 10 дать из того, что предлагаемый способ существенно сокращает сроки получений исчерпывающей информации о характере поверхности и это может быть оперативно использовано для активного воздействия на режимы обработки.15 Составитель М. Слинько Техред Л.АлфероваКорректор А. Гриценко Редактор О. Иванова Заказ 6758/45 Тираж 1073 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-.35, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная,4 угольной пленки распылением сфокусирован.ным лучом электронного микроскопа.В результате того, что нанесение оттеняющего материала происходит в колонне электронного микроскопа, отпадает необходимостьв проведении отдельного процесса оттенения,Так как просмотр оттененного участка угольной пленки происходит непосредственно послеокончания распыления навески без удаления,оттенения угольной пленки можно повторятьнеоднократно до полного распъщения всех на.весок, возможно всегда подобрать оптимальные условия оттенения для данного вида дефектов, варьируя количество распыленного материала.В виду того, что распыление навески идетпо всем направлениям, на оттененном участкевсегда существует область, где условия для от.тенения протяженных дефектов, типа царапин и 20ступеней будут оптимальными,Таким образом, возрастают эффективностьи надежность способа обнаружения дефектовна пластине, резко сокращаются сроки проведе.ния процесса и, как следствие, появляется возможность в реальные сроки анализировать состояние поверхности таких крупных объектов,какими являются, например, полированныестекла для фотошаблонов 70 х 70 мм).30Проведенные эксперименты по обследованиюпартии стекол для фотошаблонов, прошедшихразличные операции полировки показали высокую эффективность предлагаемого способа,Были выявлены дефекты с размером от 50до 1000 А и их распределение по всей поверхности стекла. Важные результаты были по.лучены при исследовании предлагаемым спосо.бом окисных пленок кремния, полученных вразличных режимах окисления. 40Для полного обследования партии из 20 сте.кол фотошаблонов предлагаемым способом Формула изобретения Способ обнаружения поверхностных дефектов на пластине материала, включающий после.довательное нанесение угольной пленки и слояжелатина на исследуемую пластину, отделениеслоя желатина вместе с угольной пленкой,растворение желатина, нанесение оттеняющегоматериала на поверхность угольной пленки ипросмотр ее в электронном микроскопе, о т.л и ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюобеспечения возможности обнаружения дефектов различного вида и размера на большихплощадях, а также повышения производительности способа, оттеняющий материал наносятна поверхность угольной пленки распылениемсфокусированным лучом электронного микроскопа,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Пилянкевич А. Н. Практика электронной микроскопии, Киев, Машгиз, 196, с, 64 - 65,2. Пилянкевич А. Н, Практика электронной микроскопии, Киев, Машгиз, 1961, с. 102 в 1.