Способ изготовления изделий из оптической керамики

ОПИСАНИИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик 7050(51)М, Кл. с присоединеииела заявки Мо С 04 В 41/06 С 04 В 41/14 Государственный комитет СССР оо делам изобретений и открытий(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ ИЗ ОПТИЧЕСКОЙ КЕРАМИКИИзобретение касается технологии электронного и оптического приборостроения, в частности получения тонких пленок высокочастотным распы 5 лением диэлектрических мишеней.Известно получение оптических пленок способом высокочастотного катодного распыления мишеней из поли- кристаллических диэлектрических материалов, прозрачных в оптическом диапазоне спектра -оптической керамики (иртранов) 1) .Для распыления диэлектрических мишеней в высокочастотном поле необходимо нанести на их обратную сто рону электропроводный,металлический слой для стока зарядов,припайки к держателям и лучшего охлаждения.Металлизация, используемая для обычной керамики как метод вжигания металлосодержаших паст 2), для оптической керамики неприемлема вслед" ствие потери оптической прозрачности мишени и получаемойпри распылении этой мишени пленки,25Наиболее близким к предлагаемому является способ получения керамических изделий методом горячего прессования 3 . Известным методом полу- . чают заготовки методом холодного прессования, а затем заготовки устанавливают в пресс-формы из ни- келевого сплава, которые предварительно термообрабатывают в окислительной среде при Т=1000 С в течение 15 минОднако таким методом невозможно получить электропроводное покрытие на керамике вследствие образования окисной пленки.Целью изобретения является получение электропроводного покрытия на оптической керамике,Это достигается тем, что в способе изготовления иэделий из оптической керамики путем холодного формования заготовок с последующим горячим прессованием в пресс-Формах иэ хромоникелевого сплава, которые перед формованием заготовок подвергают предварительной термообработке, на поверхность пресс-Формы предварительно наносят слой углерода, термообработку осуществляют при температуре 200-450 С в течение 30-60 мин.Предварительная подготовка прессФормы позволяет получать на одной иэ поверхностей заготовки оптической687050 Формула изобретения Составитель С. ШахиджановаРедактор М. Рогова Техред Н.Ковалева КорректорГРешетник Заказ 5652/23 Тираж 702 Подписное ЦНКИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж"35, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП Патент., г. Ужгород, ул, Проектная, 4 керамики высокопрочный электрог ро -,водный слои, :)тот слой образуется вв акууме благодаря в з аимодейс тв июв присутствии углерода элементов ни -келя и хрома, входящих в состав сплава для пресс-Формы, с цинком сернистым.П р и м е р 1, На образующие поерхности пресс-формы из хромоникеевого сплава следующего состава, %:К основа, Сг 17-20, Х 4,0-5,0, ОМо 4,0-5,0, Т 1 2 ю 2 2 т 8 АЕ 1 сО 1 к 5Р к 4,0 (по ГОСТ 5632-61) наносят слойуглеродаВ качестве углеродсодержащего покрытия используют лак, насыщенный сажей. Пресс-Форму помещают в печь, нагревают до 200+20 С,выдерживают при этой температуре втечение 60 мин и охлаждают.В подготовленную таким образомпресс-форму засыпают порошкообраз Оный цинк сернистый. Холодное прессование проводят при давлении 0 1 -2Р. 0,3 т /см, Предварительно запрессованный компакт подвергают горячему прессованию в вакууме (1-3) х 25х 1 Фмм от.ст.при температуре 830+20 фС,давлении 2 т/смв течение 30-60 минс изотермической выдержкой при 400 -500 С в течение 60 - 120 мин.П р и м е р 2. На образующие поверхности пресс в фо 1 из хромоникелевого сплава состава,айалогичного приведенному в примере 1, наносят слойуглеродаВ качестве углеродсодержащего покрытия используют битумный лак.З 5Пресс-форму помещают в печь, нагревают до 450+10 С, выдерживают приэтой температуре в течение 30 мин,охлаждают. Процесс холодного брикетирования и горячего прессования цинка сернистого ведут аналогично примеру 1,Полученные таким образом заготовки мишени из цинка, сернистого имеютплотность 4,09 г/см , механическуюЭхпрочность б кгс/см =7,9 при комнатной температуре (по методу центрального кольцевого изгиба), Прозрач,ность в диапазоне 2-14 мкм, Полученное покрытие имееет толщину 1-5 мм,высокую прочность сцепления с заготовкой оптической керамики. Покрытие электропроводно и имеет при комнатной температуре электросопротивление 10 ом.Предлагаемый способ экономичен,так как позволяет получать заготов -ки мишеней для высокочастотного катодного распыления без дополнительнойтехнологической операции - металлиза ии поверхности мишеней путем испарения в вакууме, процесс металлизацииповерхности мишени происходит непосредственно в процессе прессованиязаготовки мишени,Предлагаемый способ позволяетполучать заготовки мишеней для работы в условиях нагрузок и температур.Благодаря прочному сцеплению электропроводного покрытия с заготовкой керамики, отслаивание покрытия не происходит, что позволяет увеличить скорость распыления до 10 А/сек. Заготов -ки мишеней, полученные предлагаемымспособом, применяются при высокочастотном катодном распылении для получения пресветляющих и пассивирующихпленок . Способ изготовления изделий из оптической керамики путем холодного формования заготовок с последующим горячим прессованием в пресс-формах из хромоникелевого сплава,которые 1" перед формованием заготовок подвергают предварительной термообработке, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью получения электропроводного покрытия на керамике, на поверхность пресс-Формы предварительно наносят слой углерода, термообработку осуществляют при температуре 200-450 ОС в течение 30-60 мин. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Арре . Ор 1., 1977, 16, 9 51214.2 Патент США Р 2969570,кл. 428-336, опублик. 1976.3, Авторское свидетельство СССРпо заявке 92329995, кл.С 04 В 35/00,1976.