Акселерометр
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(1 1) 670795 Союз Советских Социалистических Республик(61) Дополнительное к авт. свид-ву 53551 (22) Заявлено 03.02.77 (21) 2449318/25-28 01 В 7/О ением заявкиприс сударстееннын комитетБюллетень24исания 30.06.79 3) Опубликовано 30.06,795) Дата опубликования УДК 531,781ии 72) Авторыизобретения71) Заявитель В. Ф. Сергеев и В. Е, Мельников Московский ордена Ленина авиационный институт им. Серго Орджоникидзе(54) АКСЕЛЕРОМЕ я к области измериспользованием элекизме ения тол ины Изобретение относитстельных устройств с итрических средств для р щ напыляемой пленки.По основному авт. св.535513 известен акселерометр, содержащий консольный чувствительный элемент, несущий металлизированные кварцевые струны, систему возбуждения колебаний струн и систему регистрации частоты колебаний струн.Недостатком данного акселерометра является невозможность его применения для измерения толщины напыляемой пленки в связи с незащищенностью струн от напыления.Целью изобретения является измерение также и толщины напыляемой пленки.Указанная цель достигается тем, что предлагаемый акселерометр снабжен съемным конденсационным наконечником, установленным на свободном конце консольного чувствительного элемента, и экраном с калиброванным отверстием, перекрываемым конденсационным наконечником.На чертеже показан предлагаемый акселерометр.Консольный чувствительный элемент 1 закреплен в корпусе 2 и несет металлизированные кварцевые струны 3, расположенные в зазоре между магнитами 4 системы возбуждения колебаний струн, Для измерения частоты колебании струн предназнач на система регистрации частоты колебани струн (на чертеже не показана).Струны защищены экраном 5 с калиброванным впускным отверстием 6. На консольном чувствительном элементе 1 закреплен съемный конденсационный наконечник 7.Акселерометр работает следующим обра зом.При конденсации определенной массынапыляемого материала через отверстие 6 в экране 5 на съемный конденсационный наконечник 7 возникает дополнительный из гибающий момент силы тяжести от напыленной пленки, деформирующей консольный чувствительный элемент 1 и приводящий к изменению частоты колебаний струн, что измеряется системой регистрации час таты струн, По изменению частоты судят омассе осажденного материала, а при знании площади осаждения на конденсационный наконечник 7 и удельной массы осажденного материала можно определить толщину 25 пленки. Экран 5 защищает струны 3 от напыления, а калиброванное отверстие 6 позволяет получить пятно осаждаемой пленки с заданной площадью.Применение данного акселерометра для 30 измерения усилий позволяет измерять толщину осаждаемой в вакууме пленки.Заказ 1147/2 Изд.392 Тираж 866 ПодписноеНПО Поиск Государственного комитета СССР по, делам изобретений и открытий113 О 35, Москва, Ж, Раушская ваб., д, 4/5 ография, пр. Сапунова Акселерометр по авт. св.535513, отличающийся тем, что, с целью измерения также и толщины напыляемой пленки, он снабжен съемным конденсационным наконечником, установленным на свободном конце консольного чувствительного элемента, и экраном с калиброванным отверстием, перекрываемым конденсационным наконечником.
СмотретьЗаявка
2449318, 03.02.1977
МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА АВИАЦИОННЫЙ ИНСТИТУТ ИМ. СЕРГО ОРДЖОНИКИДЗЕ
СЕРГЕЕВ ВЛАДИМИР ФИЛИППОВИЧ, МЕЛЬНИКОВ ВАЛЕРИЙ ЕФИМОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 7/06
Метки: акселерометр
Опубликовано: 30.06.1979
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-670795-akselerometr.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Акселерометр</a>
Предыдущий патент: Измеритель длины проката
Следующий патент: Преобразователь линейных перемещений
Случайный патент: Чернильно-струйное перо