Способ нанесения покрытия из вольфрама

Номер патента: 657085

Авторы: Бабад-Захряпин, Лысенко

ZIP архив

Текст

ВСГсооР 4 лЯЪТЕь . "Л Союз СоветскинСоциалистическинРеспублик СВИДЕТЕЛЬСТВУ К АВТОРСКОМУ вт. саид.ву21) 1891910/18-21 ополнительноаявлено 02 03 22) М. Кл.С 23 С 11/ с присоединением заявк Государотеенный номнтет СССР по делам нзобретеннй н открьтнй(71) Заявител Атомное отношение элемента внедрения и вольфрама в рабочей паро-газовой смеси должно быть в пределах от 1/1000 до 1/10. Если это соотношение более 1/10, то образуется вольфрамовое покрытие с иной,чем (110) текстурой. Если же оно меньше 1/1000, то возникает значительная поверхностная шероховатость.Данный способ нанесения покрытия из вольфрама с текстурой (110) заключается в том, что между образцом (катодом), на который наносят покрытие, и вспомогательным электродом (анодом) зажигают тлеющий разряд в среде, состоящей из паров гексахлорида вольфрама и какога-либо соединения, содержащего элемент внедрения, например углерод.Режимы процесса: температура под оложки - 1300-1600 С, плотность тока 10-80 мА/см, давление в рабочей каме 2ре - 0,05-2 мм рт.ст, 11 еобходимый состав парогазовой смеси получают, пропуская с определенной скоростью газообразное соединение, содержащее элементФ зуюбует15 меньшеои еды,разряд,газа,(54) СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ Изобретение относится к способам получения покрытий из тугоплавких металлов и может быть использовано в элекч-ронцой и электротехнической промышленности,Известен способ получения покрытийвольфрама с аксиальной текстурой( 1 1 0) путем термического разложениягексахлорида вольфрама в тлеющем разоряде при 1300-1600 С, плотности тока50-80 мА/см и напряжении разряда1000-1300 В 1 .Недостаток известного способа заключается в том, что поверхность обрашегося покрытия шероховатая и тредополнительной обработки,1.1 елыо изобретения является уние шероховатости покры лй для исключения последующей обработки,Поставленная цель достигается исполь зованием в качестве паро-газо в которой зажигается тлеющий смеси гексахлорида вольфрама жащего элемент внедрения. ОКРЫТИЯ ИЗ ВОЛЬФРАИР.В .ф,внед 5 ения, например, метан, через нагретый до 130-200 С испаритель с гекса. хлоридом вольфрама.П р и м г р, Вольфрамовое покрытие наносится на молибденовый цилиндричес кий образец с глухим торцом. Параметры процесса-состав рабочей смеси: гексахлорид вольфрама + метан, атомное соотношение углерода и вольфрама в смеси 1/20, температура подложки - 1450 С 36 плотность тока тлеющего разряда 17 мА/см,2 напряжение горения - 1250 В, давление в рабочей камере - 0,2-0,3 мм рт.ст. При этом скорость образования покрытия составляет 3,9 мкмlмин. 35.Образованное таким образом вольфрамовое покрытие с текстурой (110) обладает ровной и гладкой поверхностью (макснмальная высота профиля волыра- Э мового покрытия0,6 мкм), Микротвердость покрытий составляет 800- 1100 кг/мм 2 и прочность на разрыв 11 кг/мм . Использование предлагаемого способананесения покрытия позволяет получатьпокрытие с шероховатостью поверхности,составляющей несколько микрон, что даетвоэможность отказаться от последующеймеханической обработки пЬкрытий.Формула изобретенияСпособ нанесения покрытия из вольфрама с аксиадьной текстурой (110)разложением гексахлорида вольфрамаов тлеющем разряде при 1300-1600 С,плотности тока до 80 мА/см и напряже 2нии разряда по 2000 В, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью уменьшения шероховатости покрытия, в составрабочей среды дополнительно вводят гаэ,содержащий элемент внедрения, причемтомное соотношение элемента внедрения и вольфрама в рабочей среде составляет от 1/1000 по 1/10,Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССРИо 449116, кл, С 23 С 11/00, 1969, Составитель А, КалюжнаяРедактор И. Коган Техред М. Петко Корректор С, ШекмарЗаказ 1738/29 Тираж 3 129 ПодписноеПН 1 ИИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, .Раушская наб., д, 4/5Филиал ППП "атент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Смотреть

Заявка

1891910, 02.03.1973

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1857

БАБАД-ЗАХРЯПИН АЛЕКСАНДР АЛЕКСАНДРОВИЧ, ЛЫСЕНКО ЛЕОНИД ТИМОНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C23C 11/00

Метки: вольфрама, нанесения, покрытия

Опубликовано: 15.04.1979

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-657085-sposob-naneseniya-pokrytiya-iz-volframa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ нанесения покрытия из вольфрама</a>

Похожие патенты