Устройство для контроля герметичности герметизированных изделий

о 1"и с д ни и ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистицеских Республик(51) М, Клф С, 01 М 3/04 рвсоединеннем заявке-Гасударственный нюмнте СССР па делам нзобрете н аткрютнйПриоритет -Опубликовано 15. 02.7 9. БДата опубликования опи флетень М 6 ннй УДК 620 1 9(08 8. 8) ния 15,02 Д. фропиков Ю. ф.Соподовник В. Е. Иноземцева(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТ ГЕРМЕТИЗИРСВАННЫХ ИЗДЕЛИЙ ТИ Изобретение относится к области маши.построения и может быть использовано при контроле герметичности герметизированных изделий.Известно устройство для контроля герметичности герметизированных изделий, состоящее из вакуумной камеры, системы вакуумирования и течеискателя.. У таких устройств большая погрешность в определении величины течи в герметизированном изделии.тоБлижайшим по технической сущности к предлагаемому изобретению является уст- ройство для контроля герметичности герметизированных изделий, содержащее вакуумную камеру для установки испытываемого. изделия и соединенные с ней систему ваку. 15 умирования и течеискатель..При контроле герметичности герметизированных изделий, особенно при повышенной температуре, утечка нз изделия определяется с большой погрецтностью, так как герметизнрованные изделия заполняются контрольным газом до помещения их в нспытательнло камеру, и при контроле герметичности течеискатель регистрирует суммарньш поток контрольного газа, включающий как поток, вы-,текающий через микронейлотности в испы-тываемом изделии, так и поток за счет десорбции контрольного газа с внутренних поверхноСтей стенок вакуумной камеры. Так как при испытании герметизированных изделий невозможно определить величину потока контрольного газа за счет его десорбции со стенок камеры, то этот поток приходится включать в величину утечки испытываемого изделия, внося значительную погрешность в определение ее истинной величины.Цель изобретения - повысить точность определения величины течи.Цель достигается тем, что предлагаемое устройство снабжено нагревателем, установленным внутри камеры, и элементами для охлаждения стенок последней; в качестве элементов для охлаждения стенок камеры использованы криопанели.При охлаждении стенок камеры жидким азотом, пропускаемым через криопанели, происходит уменьшение десорбции молекул газов, в том числе и контрольного газа, с внутренних стенок вакуумной камеры, в результате чего снижается поток контрольного газа за счет лесорбции газа со стенок камеры и, следовательно, повьпцается точ.647570 С целью получения заданной температуры изделия, производят его нагрев с помощью нагревательных элементов 3, напримеринфракрасных ламп, Гелий, вытекающий 3 через микронеплотности. в изделии 4, попадает в вакуумную камеру 1 и затем регистрируется масс-спектрометрическим течеискателем 7,Предлагаемое устройство для контролягерметичности позволяет повысить точностьопределения величины течи в герметизированном изделии за счет снижения фона конт-.рольного газа в камере.формула изобретения, Устройство для контроля герметичностигерметизирова нных изделий, содержащее вакуумную камеру для установки испытыва емого издмия и соединенные с ней системувакуумирования и течеискатель, отличающееся тем, что, с целью повышения точйости.определения величины течи, внутри камеры установлены нагреватель и элемент для охлаждения. ее стенок. 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в качестве элементов для охлаждения стенок камеры использованы криопанели,3= НосгЬ МресделЕния ъеличйнй-:теФи вгермети-зированпом изделии. Заданная температура изделия при этом поддерживается с помо щью нагревателей.На чертеже представлена принципиальная схема устройства для контроля герметичности герметизированных изделий.Устройство для контроля герметичностигерметизированных изделий состоит из вакуумной камеры 1, у стенок которой расположены элементы 2 для охлаждения стенок камеры - криопанели, На криопайелях уста- " новлены нагревательные элементы 3 с отрая 4 ателяМи для созданная направлейного теплового потока в сторону изделия, В камере 1 размещено испытываемое герметизированное изделйе 4, Вакуумные насосы 5 и 6 -служат для "создания вакуума в камере, Для определения величины течи в иэделии служит течейскатель 7, присоединенный к линии предварительного разрежения.Контроль герметичности герметизированных изделий с помощью устройства производят в следующей последовательности.Герметизированное иэделие 4, заполненйое контрольным газом например гелием, помейайт ввакуумную камеру 1, В вакуумной камере создают разрежение с помощью вакуумных насосов 5 и 6. Стенки камеры .охлаждали Жидким- азотом, пропускаемымчерез криопанели,.Тираж 089 арственного комитета изОбретений н отк Ж, Раушская н ент, г. Ужгород, ул, Марголис 5ШИИПИ Госудпо делам3035, Москва нал ППП Пат каровКорректор А. ГГодписное