Устройство для контроля вакуумной плотности изделий

(51)4 С 01 М 3 02 Ф, .: гф ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ. 1 бдысакое налржнениа начна Пробный(21) 4012385/25-28 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВАКУУМ- (22) 24,01,86 НОЙ ПЛОТНОСТИ ИЗДЕЛИЙ (46) 07.06.87. Бюл. В 21 (57) Изобретение относится к устрой- (72) А.Г.Кужман, В.А.Морозов,ствам для контроля вакуумной плотнос- А.А.Горюнов и А.И.Казаков ти изделий электронной техники. Целью (53) 620,165.29(088.8)изобретения является повышение надеж- (56) Авторское свидетельство СССР ности контроля скрытых дефектов неме- У 569910, кл. 6 01 К 15/08, 1977.таллических,изделий путем их обнару 11315846 жения при пробое изделий высоким напряжением, Две полукамерыи 2 обращены друг к другу своими открытымиторцами и герметично соединены с изделием 3 через уплотнитель 4, а электроды 5 и 6,отжаты от изделия 3 пружинами 7 и 8. Посредством керамических шайб 9 и 10 электроды 5 и 6 герметично установлены внутри полукамер1 и 2 и соосно друг другу с возможностью перемещения вдоль оси, перпендикулярной плоскостям, в которых лежат открытые торцы полукамер 1 и 2.Электроды 5 и 6 имеют полости соответственно 11 и 12, сообщающие полос 1Изобретение относится к исследованию вакуумной плотности изделий электронной техники в процессе их производства,Целью изобретения является повыше ние надежности контроля скрытых,цефектов неметаллических изделий путем их обнаружения по объему изделия при пробое его высоким напряжением.На чертеже схематично показано О предлагаемое устройство.Устройство для контроля вакуумной плотности изделий содержит две полу- камеры 1 и 2, обращенные друг к другу своими открытыми торцами. Полукамеры 1 и 2 герметично соединены с иэделием 3 через уплотнитель 4, а электроды 5 и 6 отжаты от изделия 3 пружинами 7 и 8, Посредством керамических шайб 9 и 10 электроды 5 и 6 20 герметично установлены внутри полукамер 1 и 2 и соосно друг другу с возможностью перемещения вдоль оси, перпендикулярной плоскостям, в которых лежат открытые торцы полукамер 1 и 2.25 Электроды 5 и 6 имеют полости 11 и 12, сообщающие полости полукамер 1 и. 2 соответственно с системой 13 откачки, газоанализаторами 14 и источником 15 пробного газа. Электроды 5 30 и 6 соединены с источником 16 высокого напряжения.Устройство работает следующим образом.С помощью устройства контролируют 35 вакуумную плотность, например, волоти полукамер 1 и 2 соответственно ссистемой откачки 13 и газоанализато- .ром 14, и источником 15 пробного газа. Электроды 5 и 6 соединены с источником 16 высокого напряжения. Снача.а внутрь полукамеры 2 подают пробный газ под давлением. При отсутствии сигнала о неплотности изделия 3к нему подводят электроды 5, 6, к которым прикладывают напряжение, Приотсутствии электрического пробоя потолщине изделия 3 оно считается годным, а при возникновении пробоя бракованным. 1 з,п. ф-лы, 1 ил. 2конно-оптических пластин (изделий 3) для фотоэлектронных приборов.Изделия 3, заключенные в круглые кассеты (не показаны), с уплотнителем 4 поступают в зону контроля по транспортеру. К изделию 3 с помощью дистанционно управляемого механизма перемещения (не показан) подводят полукамеры 1 и 2, которые герметизируют изделие 3 по образующей с помощью уплотнителя 4. Электроды 5 и 6 при этом отжаты от изделия 3 пружинами 7 и 8.Разрежение 10 Па в полостях полу" камер 1 и 2 через полости 11 и 12 со" ответственно получают системой 13 откачки с форвакуумными и высоковакуумными насосами. Затем полость полукамеры 1 подсоединяют к находящейся в рабочем состоянии аналитической части течеискателя. Внутрь полукамеры 2 через полости 12 подают пробный газ (гелий) под давлением 10 Па.При наличии сигнала течеискателя о вакуумной неплотности изделия 3 полости полукамер 1 и 2 отсоединяют от системы 3 откачки и внутрь полука" мер 1 и 2 подают воздух атмосферного давления. Далее полукамеры 1 и 2 отводят от изделия 3, и транспортер подает в зону контроля следующую кассету с изделием 3.При отсутствии сигнала течеискателя о вакуумной неплотности изделия 3 к ней с двух сторон с помощью кулачкового механизма, управляемого дисФормула изобретения 1. Устройство для контроля вакуумной плотности изделий, содержащее две полукамеры, обращенные друг к другу своими открытыми торцами, систему откачки и газоанализаторФ Составитель О.ЛанкоТехред А.Кравчук Корректор И.Муска Редактор О.Юрковецкая Заказ 2352/44 Тираж 776 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 3 31 танционно, .подводят электроды 5 и 6, к которым прикладывают напряжение 35 кВ, При отсутствии электрического пробоя по толщине изделий 3 оно считается годным, а при возникновении пробоя бракованным, так как в изделии 3 есть скрытые неплотности. Затем внутрь полукамер 1 и 2 подают воздух атмосферного давления, полукамеры 1 и 2 отводят от иэделия 3 с помощью механизма перемещения, и по транспортеру на контроль поступает следующее изделие 3. 5846 4соединенные с одной из полукамер, иисточник пробного газа, соединенныйс другой полукамерой, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения надежности контроля скрытых дефектов неметаллических изделий, оноснабжено источником высокого напряжения и соединенными с ним двумяэлектродами, герметично установлен О ными внутриполукамер соосно другдругу с возможностью перемещениявдоль оси, перпендикулярной плоскостям, в которых лежат открытые торцыполукамер.15 2. Устройство по п.1, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что электроды имеют полости, сообщающие полости полукамер соответственно с системой от качки и газоанализатором, и источником пробного газа.