Устройство для испытания интегральных схем

(22) Заявлено 190776 (21) 2385730/18-21с присоединением заявки Йо 01 (. 21/70Н 05 К 1/04Н 05 К 13/08 Государственный коинтет СССР но делам нзобретеннй н открытнй(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПЫТАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХСХЕМ 2На фиг. 1 изображено описываемое устройство, общий вид (крышка условно не показана); на фиг. 2 - то же в продольном"разрезе по оси симметрии,Внутри корпуса 1 расположены подвижная гребенка 2 с установленными в ней пружинными контактами 3 и неподвижное основание 4 с пружинными контактами 5, в котором выполнены пазы б. Параллельно гребенке 2 установлена дополнительная подвижная гребенка 7 с пружинными контактами 8.Устройство содержит также нагреватель 9 с медной теплопередающей пластиной 10, температурные датчики 11 и. 12 задания и контроля температуры, верхнюю крышку 13, уплотнительную резиновую прокладку 14, разъем 15.Устройство работает следующим образом;Интегральные схемы 16 вкладынают в пазы б неподвижного основания 4 и закрывают крышкой 13, которая прижимает выводы 17 интегральных схем 16 к пружинным контактам 5 неподвижного основания 4, к пружинным контактам 8 подвижной гребенки 7 и кпружинным контактам 3 подвижной гребенки 2, затем.с помощью внешнего Изобретение предназначено для испытания интегральных микросхем на воздействие климатических и электрических нагрузок, может быть применено на автоматических и техноло- ,5 гических линиях при массоном производстве интегральных схем.Известно устройство для испытания интегральных схем, н корпусе которого расположены подвижная гребенка с ус тановленными в ней пружинными контактами и неподвижное основание с пружинными контактами 11 .Однако это устройство ненадежно при повышенных температурах. 15Цель изобретения - повышение надежности устройства при повышенных температурах.Укаэанная цель достигается тем, что в известном устройстве для испытания интегральных схем, в корпусе которого расположены подвижная гребенка с установленными в ней пружинными контактами и неподвижное основание с пружинными контактами, внутри корпу са параллельно основной гребенке установлена дополнительная подвижная гребенка с пружинными контактами, а неподвижное основание- выполнено иэ диэлектрического материала. 3(,А,Е,Кудрявцев, В.И.Домеников и Н.В.Михайлов646709 Температура во внутреннем объемеустройства регулируется от 40 до150 фС и более нагревателями 9 и датчикамизадания температуры 11, температура контролируется датчиком 12,"медная теплопередающая пЛастина 10выравнивает" отклонение температурв полезном объеме. Неподвижное основание 4 из диэлектрического материала предохраняет контакты 3,5,8 отнепосредственного воздействия повы-шенной температуры, благодаря чемут они не выгорают,3Йрйбора; например омметра йа чер - тежеусловно не показан) проверяютналичие замкнутой цепи между контак-.тамй 5-основания 4, выводами 17 ййтегральных схем 16, контактами 8гребенки .7 и контактами 3 гребенки 2,Таким образом проверяют все выводывсехинтегральных схем. Наличие замкнутой"цепи свидетельствует о том,чтб"вйвоцы интегральяах схем"каса-"ются контактов 5, 8, 3 соответствен- но основания 4, гребенок 7 и 2После этого к разъему 15 "подключаюрегулятор температуры и блок -заданияэлектрического режима (на чертежеусловно не показаны),и испйтуемые интегральнйе схемы 16 проверяют на долговечность и беэбтказйбсть.Приизйерении статических идина" "мическихпараметров йспытательйыйэлектрический режим отключают; температурный режим остается без измейейия" ,Перед измерением проверяютналичие контакта по линии Кельвина.После этого измерительную головкуконтрольно-измерительного прибора 1(на чертеже условно не показан) ус- танаЪлйв 2 йт" непосредственно на кон-такты 5 основания 4, идушке "от выводов первой испытуемой интегральнойсхемы. После замерапараметров аналоЖййуВ"операцию"повторяют со все-"ми последуюцими интегральными схемами. Форм 1)ла изобретенияУстройство для испытания интегральных схем; в корпусе которого расположены подвижная гребенка с установленйыми в ней пружинными контактамии неподвижное основание, с пружинными20 контактами, о т л и ч а.ю щ е е с ятем, что с целью повышения его надежности при повышенных температурах,внутри корпуса параллельно основнойгребенкеустановлена дополнительная25 подвижная гребенка с пружинными контактами,а неподвижное основание выполнено из диэлектрического материала.Источники информации,30 принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССР9 479274, Н 05 К 7/12, 14.01.74,