Способ изготовления фокусирующего электрода вторично электронного умножителя

Союз СоветскихСоциалистицескихРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1 Ц 639048) Допол ) Заявл нительное к авт, св но 06,07.77 (21)25 некием заявки-1) М 44/1801 Ю 43/ с и исо осударстеенный комитетСовета Министров СССРео делам изобретенийн открытий( 54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ф ОКУСИРУЮЩЕГО ВТОРИЧНО-ЭЛЕКТРОННОГО УМНОЖИТЕ ТРО Изобретение относится к электроннои технике, в частности, к способу изготовления фокусирующего электрода вторично-электронного умножителя.Известен способ изготовления фокусирую- щего электрода в виде кольца, заключаюцийся в штамповке и химической очистке поверхности 111. Недостатком данного способа является частичная коррозия поверхности электрода и вследствие этого ухудшение параметров прибора в .целом.Известен способ изготовления фокусируюО щего электрода вторично-электронного умножителя, заключающийся в штамповке электрода с последующей химической обработ. кой электрода 2, В этом способе отштампованный электрод из А 1 или А 1 - Мд - Ад сплава подвергают обработке в водном раст воре серной, хромовой или углекислоты, что предотвращает коррозию электрода,Однако при изготовлении известным способом фокусирующего электрода имеет место увеличение фона вторично-электронного умножителя при его работе в условиях интенсивного освещения, так как кванты света после отражения от поверхности исследуемого объекта или непосредственно от источника света попадают на фокусирующий электрод из тройного сплава А 1 - Мд - Ад или изА 1, вызывая фотоэлектронную эмиссию. Высокий фон вторично-электронного умножителя при работе в условиях интенсивного освещения снижает его качество, в частности,понижается чувствительность (разрешающая способность), что ограничивает областьего применения.Целью изобретения является уменьшениефона вторично-электронног умножителяпри его работе в световых потоках.Это достигается тем, что заготовку фокусирующего электрода после химическойобработки покрывают слоем металла, затемэлектрод прогревают в воздухе при 300 -500 С в течение 2 - 3 ч.В качестве указанного металла можетбыть применен металл из группы АЧ 11, например Ф, Мо, Та, а также Сц,Ори,нер, Отштампованную заготовку элек-,.трода из А 1 или сплава А 1, - Мд - Ад помещают в вакуумную камеру при Р = 10- -10 4 торр, подвергают ее очистке в газовомразряде, затем на заготовку при 1 О 4 -10 торр напыляют слой металла, например,Сц, Заготовку фокусирующего электрода с"Составитель Ю. КутенинРедактор Т. Клюкина Техред О. Луговая Корректор П. МакаревичЗаказ 7293/42 Тираж 98 Подписное1 ИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССРпо делам изобретений и открыл ий113035, Москва, Ж 35, Раугнская наб., д. 4/5Филиал Г 111 П Патент, г. Ужгород, ул 1 роектная, 4 напыленныюч слоем металла затем прогревают на воздухе в течение 2 - 3 ч при 300 - 500 С.Обработанный таким образом электродготов для монтажа в приборе.Покрытие заготовки можно производитьне только напылением вышеперечисленных металлов, но и гальваническим путем.Как показали прямые измерения фонового тока, при температуре прогрева ниже 300 С или времени прогрева меньше 2 ч не удается получить заметного уменьшения фона. Прогрев при температуре выше 500 С или длительнее 3 ч не приводит к заметному улучшению характеристик и не оправдан технологически. 15Электроды, изготовленные по приведенному способу, позволили резко уменьшить фон вторично-электронного умножителя при работе в условиях интенсивного освещения. Если ранее серийно выпускаемый вторично- электронный умножитель ВЭУ - 1 А имел при работе в световом потоке ртутно-кварцевойлампы (7, ) 250 нм) фоновь 1 й ток 10 в А, топосле изготовления электрода по предлагаемому способу фоновый ток прибора уменьнился до 2 10-А.25Вторично-электронный умножитель приэтом сохранил высокий коэффицие 1 т усиления (10), эффективность счета электронов 50 - 70/о и темновой ток до 10А, к томурасширилась область его применения. 1. Способ изготовления фокусируюшего электрода вторично-электрон ного умножителя, заключающийся в штамповке электрода с последующей химической обработкой, отличающийся тем, что, с целью уменьшения фона вторично-электронного узножителя, заготовку фокусирующего электрода после химической обработки покрывают слоем металла, затем электрод прогревают в воздухе при 300 - 500 С в течение 2 - 3 ч.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве указанного металла применен металл из группы АИ 1.3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве указанного металла применена медь.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. Соболева Н. А. и др. Фотоэлектронные приборы. М Наука, 1965, с. 239 - 249.2. Авторское свидетельство СССР Мв 268554, кл. Н 01 1 43/10, 1970.