Способ изготовления высокотемпературных тензодатчиков

Номер патента: 636473

Автор: Васильев

ZIP архив

Текст

Союз Соватскин Социалистическин Республик1636473 ВТОее СКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 6) Дополнительное к авт, свид ву22) Заявлено 05,04.76 21) 2343866/25-28 г(5) М, Кл, й 01 В 7/1 1 ием заяв с присоеди (23) Приор Гвсудврственнва намнтет Совета Инннстрев СССР не делам нзевретеннй н етнре(тнй) Да Л, Васил 72) Автор. изобретени 7 ) тель СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫСОКОТЕМПЕРЛТУРНЫХ ТЕНЗОДЛТЧИКОВ м. Ме антал подложку ляционног додиффузи кого скис можнос л. Изобретение относится к измерительной технике а именно к. технологии пэготовления высокотемпературных тензсьметрических датчиков, и может бытьиспользовано при изготовлении датчиковна металлических подложках. 5Известен способ изготовления высокотемпературных тенэодатчиков, заключающийся в том, что металлическую подложку датчика подвергают фосфатированиюи наматывают на нее тензочувствительную проводку 1,Однако этот способ не применим длятензодатчиков, в которых тензочувствнтельный элемент в форме решетки. Крометого, сопротивление изоляции.фосфатнойпленки может изменяться вследствиепробояи механических повреждений, чтоснижает метрологические характеристики датчиков.Наиболее близким по технической сущ-фности и достигаемым результатам к данному изобретению является способ изготовления высокотемпературных тенэодатчиков, заключающийся в том, что на металлическую Основу цалыляют изоляци 01 т"ф ный слой и закрепляют на нем тензоре- (1(етку одним из извест 1 п(х спосооов 2Однако и этот способ не обеспечивает высоких метрологических характеристик датчиков вследствие нарушения иэолирукьщего слоя при различных температурных коз(ф 1 пп 1 ентах линейного расширения металла н напыленного окисла.Белью изобретения является повышение метрологических характеристик высокотемпературных тенэодатчиков,Эта цель достигается тем, что перед напыле 1 шем изоляционного слоя окисляют металл Основы до образования дополнительного изоляпионного слоя.Способ осуществляют следующим обрааллическую основу, напрмер пленкуокрывающую металлическуюокисляют до образования из слоя, имеющего плавную псеиную границу атомов жаросто а. При этом исключается возвозникновения температурных636473 что на металлическую основу напыляют изоляционный слой и закрепляют на нем тензорещетку, отл ич ающ ийс я тем, что с целью повышения метрологиу ческих характеристик датчика, перед напылением изоляционного слоя окисляют металл основы до образования дополнительного изоляционного слоя. напряжений на границе окисел-металл.Затем на полученную поверхность изоляционного слоя напыляют следующий изоляционный слой, например, иэ боросиликатного стекла и закрепляют на нем тензорешетку одним иэ известных способов.Применение способа, основанного на формировании двойного изоляционного слоя позволяет существенно повысить качест во изоляции между основой и тензорешеткой, а следовательно метрологические характеристики датчика и его надежность.Ф о р м у л а изобретенияСпособ изготовления высокотемператур-ц ных тензодатчиков, заключающийся в том,Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе: 1. Авторское свидетельство СССРСоставитель Н. ТимошенкоРедактор А. Мурадян Техред 3. Фанта Корректор Л. ВеселовскаяЗаказ 6926/31 Тираж 830 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП фПатент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Смотреть

Заявка

2343866, 05.04.1976

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6668

ВАСИЛЬЕВ СЕРГЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 7/16

Метки: высокотемпературных, тензодатчиков

Опубликовано: 05.12.1978

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-636473-sposob-izgotovleniya-vysokotemperaturnykh-tenzodatchikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления высокотемпературных тензодатчиков</a>

Похожие патенты