Устройство для микроперемещений объекта

о и"ЙС"ж Н и е иЗбЪФеВ н и Я Сокза Советских Социалистических Республик(11) 627311 К АВе ЮРСКОМУ СВИДИВЛЬСТВУ 1) Дополнительно т, свил-в) Заявлено 28.03.77, (21) 2468338/18-2 1) М, Кл. 0 01 В 7/00 соединением заявки Государственный комитет Совета й 1 инистроо СССР оо делам изооретений и отирытий(45) Дата опублико иия описания 14.08.7 72) Авторы изобретения И. Маринин, В. И. Ерашов и В. А. Ковален 1) Заявитель Я МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОВЬЕКТ 54) УСТРО ческого диска, установлен на другои сторонеподложки. С внешней стороны пьеэокерамического диска токопроводящий слой разделен начетыре изолированных друг от друга сектора 5 с электрическими выводами для подачи упляющего напряжения 12).Недостатком данного устройства являетсясложность изготовления Т - образного паза встеклянной подложке.О Целью изобретения является упрощениеконструкции устройства.Для упрощения конструкции в предлагаеом устройстве электростриктор жестко закреплен на мембране, выполненной в виде метал лического диска с ободом и штоком, а самэлектростриктор выполнен в виде восьмипьезокерамических дисков, закрепленных почетыре диска с обеих сто 1 юн мембраны по.парно один над другим и размещенных под уг- О лом 90. равм зображено пр г. 2 - то же,вид вид снизу. ещении со я креплени(43) Опубликовано 05.10 Изобретение относится к электротехнике,а именно с устройствам для получения прецизионных перемещений объекта и может бытьиспользовано в качестве исполнительного органа систем автоматической юстировки оптикомеханических систем,Известно устройство для получения пре.циэионных перемещений объекта, использующее электростриктор, выполненное в виде двухидентичных блоков, жестко соединенных междусобой основанием, и рабочего органа, размещенного внутри блоков 11).Недостатком данного устройства являетсято, что это устройство предназначено для создания линейных микроперемещений по однойоси, что значительно сужает область его применения,Из известных устройств микроперемещенийнаиболее близким техническим решением является устройство, состоящее из электростриктора и отражателя, содержащего подложку с отражающим покрьпием с 1-образным пазом, об.рашенным основанием к приспособлению дляперемещения зеркала - электростриктору, Электростриктор, выполненный в виде пьезокерамиНа фиг. 1 схематически гаемое устройство; на фи ерху; на фнг, 3 - то же Устройство микроперем мембрану 1, со штоком 2 д627311 Филиал ППП "Патент",г. Ужтород, ул. Проектная, 4 мещаемого объекта Обод 3 служит для крепления.устройства На обеих сторонах мембраны жестко закреплены попарно один над другим и размещены под "углом 90по четырепьезокерамических диска 4 с электродами 5 -12 для подачи управляющего напряжения. Элект. 5род 13, выведенный с обода устройства, является общим электродом для внутренней стороныпьеэокерамических дисков.Устройство работает следующим образом.Напряжение, приложенное к пьезокерами.ческому диску 4, вызывает уменьшение илиувеличение его диаметра. Мембрана 1 под воз.действием деформации цьезокерамического диска 4.прогибается и перемещает шток 2. Подача напряжения между восемью соединеннымивместе электродами 5-12 и электродом 13обеспечивает продольное перемещение штока 2,Подача разнополярного напряжения на элект.роды 5, 9 и 7, 11 создает угловое перемещение штока 2 в одном направлении, подача раэ.нополярного напряжения на электроды б,10 и8,12 обеспечивает перемещение штока 2 в ортогональном направлении,Достоинствами предлагаемого устройства яв 25ляются:высокая технологичность и простота иэго.товления;возможность применения устройства в качестве исполнительного органа в системах микЗО роперемещений по трем координатам, например, для перемещения предметного столика микро. скопа, в системах подачи станков с программным управлением;увеличение диапазона перемещения при од ном и том же управляющем напряжении. Формула изобретения 1, Устройство для микроперемещений объекта содержащее электростриктор, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью упрощения кон. струкции, электростриктор жестко закреплен на мембране, выполненной в виде металлического диска с ободом и штоком. 2, Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью увеличения диапазона микроперемещения, электростриктор выполнен в виде восьми пьезокерамических дисков, за. крепленных по четыре с обеих сторон мембраны попарно один над другим и размещенных под углом 90 Источники информации, принятые во вни.мание при экспертизе:1, Авторское свидетельство СССР И 50242 б,кл. Н 01 1. 41/08, 1974.2. Авторское свидетельство СССР ла 393790,кл. Н 01 8 3/02, 1970,