Преобразователь механических величин

О Л И.С.А Н,И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Саеетскиа Социалмстическию Республик(22 Заявлено 05.07.76 (21) 2378805/18-10с присоединением заявки Кф(45) Дата опубликования описания 26.07,78(51 М. Кл Ог 01 Ь 1/22 Государатееенеб ааиетет Совета Иееетрее ССО ее делам ееебретееее н еткемтме(54) ИРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН Цель нзобретения - уменьшение театр;нертурной погрешности,Эта цель достигается за счет того,что в нем термоэлектрические элементы3тепла и холода выполнены в виде тонкихпленок, а терморезистор и тензорезисторрасположены между ними.На чертеже представлен преобразователь механических величин,Йреобразоватещ содержит чувствительный элемент 4, на котором сформированытермоэлектрические элементы 2 и 3 тепла и холода в виде тонких пленок, междукоторыми заключены тензореэистор 4 итермореэистор 5 изолированные друг отдруга, а также от чувствительного элемента и окружающей среды тонкими пленками диэлектрика 6-9, В цепь термоэлек- трических элементов 2 и 3 включен регулирующий элемент 10, а в цепь тенэорезистора 4 - измерительный прибор 11,Чувствительный элемент 1 воспринимает воздействие изменяющейся механической величины, От тензорезистора 4,25 расположенного в области максимальной Изобретение относится к области кон-трольно-измерительной техники, в частности к системам приборов и средств автоматизации для получения информации о величине измеряемых механических параметров, и может быть использовано для измерения давления жидкости и газа, упругихсил и вибрации на изделиях космической,авиационной и судостроительной техники.Известный тензорезистор с температурной стабилизацией, содержащий упругийэлемент, теиэореэистор и терморезистор,не обеспечивает необходимой температурной стабилизации тенэорезистора Я .Наиболее близким по технической сущности является преобразователь механических величин, содержащий чувствительный элемент, нв котором сформированытензорезистор и термореэистор, соединенный с регулирующим элементом, выходкоторого подключен к термоэлектрическимэлементам тепла и холода 12,К недостаткам известного преобразователя относятся значительные температурные погрешности,П, Н. Богатов, В, Н. Борщев, Э. Б.,Маньпцев и А. И. Яковлевпогрешность, а также увеличивают быстродействие преобразователя. формула изобретения Преобразователь механических величин, содержащий чувствительный элемент, на котором сформированы тензорезистор и терморезистор, соединенный с регулирующим алементом, выход которого под ключен к термоэлектрическим элементам тепла и холода, и измерительный прибор, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью уменьшения температурной погрешности, в ием термоэлектрические элементы тепла и холода выполнены в виде тонях пленок, а терморезистор и тенэореэистор расположены между ними. Источники информации, принятые во внимание при экспертиэеф1. Авторское свидетельство СССР М 434284 кл, б 01 Ь 1/18 1972.2. Материалы 1 У конференции по полупроводниковой тензометрии, 22-27 сентября 1969 г.,йолупроводниковая теи-. зометрия Львов, 1971, с. 123-126,Ф 3 623120деформации чувствительного элементавыходной сигнал поступает на яэмеритыьный прибор" 11. Величина сигнала зависит не только от величины деформациичувствительного элемента, но и от температуры, при которой находится тензоре-зистор.Терморезистор 5, находящийся в ана;логичных условиях с тензорезистором 4,выдает сигнал на вход элемента 10, который изменяет величину и направление 10тока в цепи термоэлектрических .элементов тепла и холода 2 и 3, поддерживаяпостоянную оптимальную температуру тенэорезистора.Миниатюрные размеры тензорезистора позволяют достичь высокой однородности поля температур в области его расположения, Малые массы термоэлектричес-/ких элементов тепла и холода, тензорезисторов, терморезнстора и тонкие иэоляционные слои обеспечивают высокое быстродействие преобразователя механических величин.Тонкопленочное йсполнение и миниатюризация размеров упрощают конструкцию, 25уменьшают вес, габаритные размеры,потребляемую мощность, температурнуюХ 496/41 Тираж 1112 Подписное ИИПИ Государственного комитета Совета Министров по делам изобретений и открытий 13035, Москва, Ж, Раушская набд. 4/5