Катодный узел
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(61) Дополнительное к авт. свнд.в 22) ЗаЯвлено 30,12.76 (21) 24377 2 прнсоедин ) Приори еннем заявкиосударстоеннои комитетСовета Мииистроо СССРпо делам изобретенийи открытий ковано 25.08.78,БюллетеньОпу публикования описания 12,07,7 5) а 72) Авторы изобретения Б. И, Андреев,в и Е, Ю, Музалев 71) Заявител) КАТОДНЫЙ УЗЕ обретение относится к области ная покрытий в вакууме и может применение при изготовлении тонИ распыл ени мое основ щенями и м, содержащего во ние с размещенны; основного и легир мишень из осново охлвждае -нв цем мнесе ти цих ма к очных покрьтий сложного состериалов,5 выполнеца Я лв ва,виде двух перфоацовлеццых с воро всни ых вестна к ция ка дног; узла, соответстасти зложностьюг друга надеривлв,з сплавИ перем еще мишенью и ця относ з легиру.чьно лр ео мат Недостатком т ся то, что не в ого устрогда можн ства являпри отовить х матеНа чертсже предсатодного узла,енв конструкц сп из необходи исход риало Наиболее близким к предлтехнической сущности являетузел преимуцественцо для цгокомпонентных покрьтикапылением, содержащий водоооснование с разлещеныминями из основного и легирую ень 1 емому покато н Ми април ном ос ы из з легирующе размещена 2, мишени 3 о материала нць 1 е в швх.я д ьи песеця мно одным рас- лаждаемое осовце асполож тверстя, мишен 1 и 3 неподвижны,перемещаться зв сченного к ней стержня а нем лисе - цих матерна з ми пень 4 О жесткого при 5 Д я угтрв цец 4 ца со ся кварцевый Стержень 5 25 таллическимож реп ени сця - обес роасо тся тл;цс.чецс возтана покрьтячто в катодд я цацесеця й катодцым ляция границ м т используетпок ь отверстие рв:пь лени мушествео тцых покры ишен отрвном 7 кногоколп где катод вьполне вующих материалов Цельзобр можцости рег Это дост ном узле ирен620513 Составитель А. ХахловН. Хлудова Техред 3, фанта Корректор С, Патрушева еда кт 99/20 Тираж 1177ИИПИ Государственного комитетпо делам изобретен113035, Москва, Ж-Э ПодписноеСовета Министров СССРн открьтийРаушская наб д, 4/5 аказ иал ППП Пвт ород, ул,1 роектная, 4 Устройство работает следующим образом,Когда отверстия в мишенях 3 и 4полностью совпадают, идет совместноераспвщение основного и легирующегоматериалов, При атом содержание легирующего материала в покрытии является наибольшим, По мере движения мишени 4 отверстия в мишени 3 закрываются,Площадь распыления мишени 1 из легирующего материала уменьшается, соответствен 10но уменьшается содержание легирующегоматериала в покрытии, Когда мишень 4сместится, все отверстия в ми шекии 3 будут полностью закрыты ибудет распыляться только мишень изосновного материала,Предлагаемый катодный узел можетнайти применение при изготовлении различных тонкопленочных приборов, например,, в микроэлектронике при соэдднии полупроводниковых приборов, когда необходимо иметь покрытия сложного составас изменением процентного содержания легируюшей примеси по толщине покрь- тия.формула изобретения Катодный узел, преимущественно для нанесения многокомпонентных покрытий катодным распылением, содержащий водоохлаждаемое основание с размещенными на нем мишенями из основного и легирующих материалов, о т л и - чаю аийся тем, что,сцелью обеспечения возможности регулирования состава покрытия, мищень из основного материала выполнена в виде двух перфорированных пластин, установленных с возможностью перемещения относительно друг друга над мишенью иэ легирующего материала. Источники информации, принятые во внимание-при экспертизе; 1, Авторское свидетельство СССР М 491734, С 23 С 15/00, 1975,2, Патент фРГ М 1515314,кл, С 23 С 15/00, 1973.
СмотретьЗаявка
2437753, 30.12.1976
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2763
АНДРЕЕВ БОРИС ИВАНОВИЧ, ЕФИМОВ ВЛАДИМИР ПАНТЕЛЕЕВИЧ, МУЗАЛЕВ ЕВГЕНИЙ ЮРЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: C23C 15/00
Опубликовано: 25.08.1978
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-620513-katodnyjj-uzel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Катодный узел</a>
Предыдущий патент: Способ цементации стальных деталей
Следующий патент: Электролит кадмирования
Случайный патент: Батанный механизм ткацкого станка