Ргностранец
Четырехзондовая измерительная головка для определеиия удельного сопротивления полупроводниковых материалов
Номер патента: 322008
Опубликовано: 01.01.1971
Авторы: Арбайтесштелле, Иностранное, Ргностранец
МПК: G01R 27/00
Метки: головка, измерительная, определеиия, полупроводниковых, сопротивления, удельного, четырехзондовая
...обсс- ЗО печиваюгцее пласпине с направляющими отВОрсти 51 ми 2 касание с ОбразцОм 3 или маскпруюп 1 им его слоем 14. Прп этоРм места зажима зондо 1 В 5 и пх токовые вводы находятся Вце по;1 я зрения мпкроокопа. Показанные на чертежах загнутые зонды являются лишь возможяым ВадпънтОм иополн 01 и 1 я; можно также располагать зонды под подходящим углом отНОСР 1 телыно гор 1 Р 1 зоР 1 тали и Р 1 х концы зажимат 1 в держателях, подвижных в вертикальном направлеРи 111 с сохранением требоваРнпй о нахождецРпи мест зажРц 1 ов зондов вце поля зрсцп 151 и совпядОниР 1 цш 1 тра спстсмы зондов с оптической осью микроскопа. С целью повышения точности юстР 1 ровки gа маленьких симметричных Образцах па стороне пластины или линзы, обращенноР 1...